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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR KALIBRIERUNG UND ZUM BETRIEB EINER MESSZELLENANORDNUNG
    • WO2009012605A3
    • 2009-01-29
    • PCT/CH2008/000256
    • 2008-06-09
    • INFICON GMBHBERG, ChristianSTRIETZEL, Carsten
    • BERG, ChristianSTRIETZEL, Carsten
    • G01L27/00
    • Zur Kalibrierung einer Vakuummesszellenanordnung wird folgender Verfahrensaablauf vorgeschlagen: a) Verbindung der Messzellenanordnung (1) mit einer Kalibriereinrichtung (10), mit anschliessen des Messanschlusses (5) an ein Vakuumvolumen (58) und anschliessen des Messzelleninterface (8) über eine Signalleitung (20) an eine Kalibrierablaufsteuerung (11); b) Einstellung einer ersten Heiztemperatur an der Messzellenanordnung auf einen vorgegebenen konstanten Wert; c) Durchführung eines ersten Kalibrationsschrittes der Messzellenanordnung (1) durch Erzeugung von mindestens einem vorgegebenen Druck im Vakuumvolumen (58) bei gleichzeitiger Erfassung der Vakuummessignale der Messzellenanordnung (1) und mindestens einer Referenzmesszelle (6), sowie Speicherung der erfassten Druckwerte in einem Kalibrierdatenspeicher (13), d) Ermittlung von Ausgleichswerten mit einem Kalibrierprozessor (14) aus den ermittelten Differenzwerten der Messzellenanordnung (1) und der Referenzmesszelle (6), sowie Zwischenspeicherung dieser Differenzwerte in einem Kalibrierdatenspeicher (13) der Kalibrierablaufsteuerung (11). e) Justage der Messzellenanordnung (1) durch Übertragung der ermittelten Ausgleichswerte zum Messzellendatenspeicher (6) für die bei den verschiedenen vorgegebenen Arbeitspunkte ermittelten abweichenden Werte für Drücke und Temperatur in Bezug zur Referenzmesszelle (60).
    • 4. 发明申请
    • VAKUUMMEMBRANMESSZELLE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DERARTIGEN MESSZELLE.
    • 减压膜传感元件并用于制备这种测量池。
    • WO2008058406A1
    • 2008-05-22
    • PCT/CH2007/000493
    • 2007-10-05
    • INFICON GMBHSTRIETZEL, CarstenBJÖRKMAN, PerBERNER, Walter
    • STRIETZEL, CarstenBJÖRKMAN, PerBERNER, Walter
    • G01L9/00G01L19/06
    • G01L9/0079G01L9/0075G01L19/0627
    • Vorgestellt wird ein Verfahren zur Herstellung einer Membranvakuummesszelle, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, und dass auf der anderen Seite der Membran (2) beabstandet eine zweite Gehäuseplatte (4) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, und dass die zweite Gehäuseplatte (4) eine Öffnung aufweist an der ein Anschlussmittel (5) mit Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist zur Verbindung der Messzelle (8) mit dem zu messenden Medium, wobei die Membran (2) und die beiden Gehäuseplatten (1, 4) aus einem Metalloxid bestehen. Die Messzelle wird in einer Vakuumkammer (64) mit einem ALD - Verfahren beschichtet insbesondere durch die Öffnung der Messzelle derart, dass die Innenwandung des Messvakuumraumes (9) und die Öffnung mit den Anschlussmittel (5) mit einer Schutzschicht (13) bedeckt wird, derart dass mindestens das Verbindungsmittel (3) für die Membran (2) korrosionsschützend abgedeckt wird.
    • 一种方法,提出了一种用于制造膜的真空测量单元,其中所述膜的一侧(2)间隔开的第一壳体板(1)与连接装置(3)的边缘区域被密封地设置,并且在所述膜的另一侧(2)间隔开的 第二壳体板(4)密封地设置在边缘区域具有连接装置(3),并且所述第二壳体板(4)具有开口,以其中一个连接装置(5)与连接装置(3)被密封地设置于所述测量池的连接(8 )用培养基进行测量时,其中所述膜(2)和两个壳体板(1,4个)的金属氧化物构成。 的测量池是在真空室(64)与ALD - 通过测量单元的开口尤其这种涂覆方法中,所述测量真空室(9)中,用具有保护层(13),所述连接装置(5)的开口部的内壁上覆盖以这样的方式 至少所述连接装置(3),用于在隔膜(2)良好的腐蚀保护被覆盖。