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1. 发明申请

WO2009020029A1 感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：无机树脂组合物
公开(公告)号：WO2009020029A1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：PCT/JP2008/063702
申请日：2008-07-30
申请人： JSR株式会社 , 大塚昇 , 川上峰規 , 西村幸生 , 杉浦誠
发明人：大塚昇 , 川上峰規 , 西村幸生 , 杉浦誠
IPC分类号： G03F7/039 , C08F220/12 , H01L21/027
CPC分类号： C08F220/12 , G03F7/0397 , G03F7/2041
摘要：　本発明の目的は、レジストとしての基本物性に優れるとともに、コンタクトホールパターンを形成する際における円形性及びＣＤ　Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙに優れる感放射線性樹脂組成物を提供することである。本感放射線性樹脂組成物は、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂（Ａ）と、酸発生剤（Ｂ）と、溶剤（Ｃ）とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記樹脂（Ａ）は、下記一般式（１）及び（２）で表される各繰り返し単位を含むものである。〔Ｒ１及びＲ２は、各々、水素原子又は炭素数１～４の置換基を有してもよいアルキル基、Ｒ３は炭素数１～４の置換基を有してもよいアルキル基、Ｘは水素原子、ヒドロキシル基又はアシル基を示し、ｍは１～１８の整数、ｎは４～８の整数である。〕
摘要翻译：不仅优异的抗蚀剂的基本性能，而且在形成接触孔图案中的放射敏感性树脂组合物的圆形度和CD均匀性均优异。放射敏感性树脂组合物是含有酸解离基团的组合物，其含有树脂（A）通过酸，酸产生剂（B）和溶剂（C）在碱中溶解，其中树脂（A）含有任何的通式（1）的重复单元和通式（2）的任何重复单元。（1）（2）式中，R 1和R 2各自为氢原子或任意具有C 1〜C 4取代基的烷基; R3是任选具有C1-C4取代基的烷基; X是氢原子，羟基或酰基; m为1〜18的整数。 n为4〜8的整数。

2. 发明申请

WO2006121096A1 新規化合物および重合体、ならびに感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：新型化合物，聚合物和辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2006121096A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/JP2006/309446
申请日：2006-05-11
申请人： JSR株式会社 , 永井智樹 , 米田英司 , 江畑琢磨 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 下川努 , 志水誠
发明人：永井智樹 , 米田英司 , 江畑琢磨 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 下川努 , 志水誠
IPC分类号： C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C309/20 , C07C381/12 , C07D209/76 , C08F20/38 , C08F28/02 , C08F220/12 , C08L33/04 , C08L41/00 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C09D133/14 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C309/20 , C07C381/12 , C07D209/76 , C08F20/38 , C08F28/00 , C08F28/02 , C08F214/18 , C08F220/12 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F220/28 , C08F228/02 , C09D141/00 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397
摘要：　放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に高解像度でＤＯＦが広くＬＥＲに優れる感放射線性樹脂組成物、その組成物に利用できる重合体およびこの重合体合成に用いられる新規化合物を提供する。新規化合物は、下記式（２）で表される。　式（２）において、Ｒ 4 はメチル基、トリフルオロメチル基、または水素原子を表し、Ｒfの少なくとも１つはフッ素原子または炭素数１～１０の直鎖状もしくは分岐状のパーフルオロアルキル基を表し、Ａは２価の有機基または単結合を表し、Ｇはフッ素原子を含有する２価の有機基または単結合を表し、Ｍｍ＋は金属イオンもしくはオニウム陽イオンを表し、ｍは１～３の自然数を、ｐは１～８の自然数をそれぞれ示す。
摘要翻译：公开了一种对辐射高度透明而对抗蚀剂的基本物理性质如灵敏度，分辨率和图案形状优异的辐射敏感性树脂组合物。该辐射敏感性树脂组合物的分辨率特别高，DOF大，LER优异。还公开了适用于这种组合物的聚合物和用于合成这种聚合物的新型化合物。该新化合物由下式（2）表示。（2）式（2）中，R 4表示甲基，三氟甲基或氢原子; Rf的至少一个表示氟原子，或具有1-10个碳原子的直链或支链全氟烷基; A表示二价有机基团或单键; G表示含有氟原子或单键的二价有机基团; M + H +表示金属离子或鎓阳离子; m表示1-3的自然数; 而p代表1-8的自然数。

3. 发明申请

WO2009104717A1 高分子化合物审中-公开
标题翻译：聚合物化合物
公开(公告)号：WO2009104717A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2009/052971
申请日：2009-02-20
申请人：株式会社クラレ , JSR株式会社 , 中山修 , 福本隆司 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 楠本士朗
发明人：中山修 , 福本隆司 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 楠本士朗
IPC分类号： C08F20/38 , C07D339/08 , H01L21/027 , G03F7/039
CPC分类号： C07D339/08 , G03F7/0395 , G03F7/0397
摘要：　酸に対する反応性および熱安定性に優れ、現像時の膨潤が小さく、波長１９３ｎｍにおける屈折率が好ましくは１．７２以上のフォトレジスト膜を形成し得るフォトレジスト組成物であって、フォトレジスト膜としてパターンニング可能なフォトレジスト組成物を得るための、下記化合物を少なくとも原料の１つとする高分子化合物を提供する。
摘要翻译：提供一种聚合物化合物，其是能够形成具有优异的酸反应性和热稳定性，显影期间溶胀最小，193nm波长的折射率优选为1.72以上的光致抗蚀剂膜，并且用于获得光刻胶组合物能够被图案化为光致抗蚀剂膜，并且具有以下化合物作为起始材料中的至少一种。

4. 发明申请

WO2008133270A1 感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2008133270A1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/JP2008/057839
申请日：2008-04-23
申请人： JSR株式会社 , 志水誠 , 成岡岳彦 , 大泉芳史 , 川上峰規 , 松村信司 , 大塚昇
发明人：志水誠 , 成岡岳彦 , 大泉芳史 , 川上峰規 , 松村信司 , 大塚昇
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0045
摘要：　一般式（１）（２０モル％以上）、（２）及び（３）の繰り返し単位を有する樹脂（Ａ）と、感放射線性酸発生剤（Ｂ）とを含有する感放射線性樹脂組成物。レジストとしての基本物性に優れ、且つ、孤立ラインの性能および欠陥性能に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。
摘要翻译：包含具有通式（1），（2）和（3）的重复单元的辐射敏感性酸产生剂（B）和树脂（A））的辐射敏感性树脂组合物，其中通式 1）为20摩尔％以上。该放射线敏感性树脂组合物可用作抗蚀剂的基本性能优异的化学放大型抗蚀剂，隔离线性能和缺陷性能优异。（1）（2）（3）

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