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1. 发明申请

WO2006086486A3 APPARATUS FOR PROJECTING A REDUCED IMAGE OF A PHOTOMASK USING A SCHWARZSCHILD OBJECTIVE 审中-公开
标题翻译：使用SCHWARZSCHILD目标投影光电影像减少图像的设备
公开(公告)号：WO2006086486A3
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：PCT/US2006004458
申请日：2006-02-07
申请人： COHERENT INC , FERBER JOERG , SCHMIDT HENNING
发明人： FERBER JOERG , SCHMIDT HENNING
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70108 , G03F7/70225 , G03F7/70233
摘要： An optical system for projecting an image of a photomask (26) on a substrate (50) , using a Schwarzs child objective includes an excimer laser, beam shaping optics for shaping a laser beam (22) from the laser and a beam-dividing prism (10) . The beam-dividing prism has a dividing-face including four facets (14A, 14B, 14C, 14D) inclined at an angle to each other. The four facets divide the shaped beam into four beam-portions (22A, 22B, 22C, 22D) propagating at an angle to the system axis (18) . The beam-portions overlap at the photomask (26) and mutually diverge into the entrance aperture (33) in the concave mirror (36) of the Schwarzschild objective such that all of the light in the beam portions is incident on the convex mirror (34) of the objective in an annular zone outside of the central obscuration zone of the convex mirror (36) . This essentially eliminates transfer losses normally caused by this obscuration zone .
摘要翻译：一种用于使用施瓦茨子目标将光掩模（26）的图像投影在基板（50）上的光学系统包括准分子激光器，用于使来自激光器的激光束（22）成形的光束整形光学元件和分束棱镜（10）。分束棱镜具有包括彼此成角度倾斜的四个小面（14A，14B，14C，14D）的分割面。四个小平面将成形的光束分成与系统轴线（18）成一定角度传播的四个光束部分（22A，22B，22C，22D）。光束部分在光掩模（26）处重叠并相互分散到施瓦茨物镜的凹面镜（36）中的入口孔（33）中，使得光束部分中的所有光入射在凸面镜（34）上）在凸面镜（36）的中心遮蔽区域外侧的环形区域中。这基本上消除了通常由该遮蔽区引起的传输损耗。

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