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1. 发明申请

WO2023079148A1 OPTICAL SYSTEM, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD 审中-公开
公开(公告)号：WO2023079148A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/EP2022/081002
申请日：2022-11-07
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： KRONE, Stefan , KUNZE, Kai , URBAN, Sven , TORRES DA SILVA, Philipp
IPC分类号： B81B7/00 , G03F7/20
摘要： An optical system for a lithography apparatus (1), in particular a micromirror arrangement, comprises:a plurality of actuatable individual mirrors (101-106), a vacuum-tight housing (150), and an electronics arrangement (110) which is integrated in the vacuum-tight housing (150) and configured for individual actuation of each individual mirror (101-106), wherein the electronics arrangement (110) has a plurality of electronics modules (120, 130, 200, 300), which are releasably installed in the vacuum-tight housing (150) and which each have a plurality of interconnected electronic and/or electrical components (201-206), and wherein at least one specific electronics module (120, 130, 200, 300) of the plurality thereof has a printed circuit board (PCB), on which the electronic and/or electrical components (201-206) of the specific electronics module (120, 130, 200, 300) are arranged, and wherein the printed circuit board (PCB) is arranged on a frame (330) of the specific electronics module (120, 130, 200, 300), wherein the frame (330) has at least one fastening section (134, 210, 310), which is provided to releasably install the specific electronics module (120, 130, 200, 300) in the vacuum-tight housing (150) and/or to connect the said specific electronics module to a further electronics module of the electronics arrangement (110), wherein the at least one fastening section (134, 210, 310) of the specific electronics module (120, 130, 200, 300), in the state where it is installed in the vacuum-tight housing (150), is in contact with a corresponding fastening section (152, 132) of the vacuum-tight housing (150) and/or of the further electronics module (120, 130, 200, 300).

2. 发明申请

WO2023078781A1 OPTISCHES SYSTEM, LITHOGRAPHIEANLAGE UND VERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2023078781A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/EP2022/080108
申请日：2022-10-27
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： KRONE, Stefan , KUNZE, Kai , URBAN, Sven , TORRES DA SILVA, Philipp
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
摘要： Ein optisches System, mit:einer Mehrzahl von optischen Bauelementen (101) zur Führung von Strahlung (16) in dem optischen System (100),einer Mehrzahl N1 von Anordnungen (111 – 114), mit N1 ≥ 2, wobei jede der N1 Anordnungen (111 – 114) zumindest eine Aktor-/Sensor-Einrichtung (102) umfasst, welche einem der optischen Bauelemente (101) zugeordnet ist, und einer Anzahl N2 von Ansteuereinheiten (130, 130A, 130B) zum Ansteuern der Mehrzahl N1 von Anordnungen (111 – 114), mit N2 ≥ 1, wobei jeder der N2 Ansteuereinheiten (130, 130A, 130B) zumindest zwei der N1 Anordnungen (111– 114) zugeordnet sind, und wobei eine Schnittstelle (140) zum elektrischen Koppeln der jeweiligen Ansteuereinheit (130, 130A, 130B) mit den der Ansteuereinheit (130, 130A, 130B) zugeordneten Anordnungen (111 – 114) zum Übertragen jeweiliger elektrischer Signale zwischen der Ansteuereinheit (130, 130A,130B) und den jeweiligen der Ansteuereinheit (130, 130A, 130B) zugeordneten Anordnungen (111 – 114) vorgesehen ist, wobei die jeweiligen elektrischen Signale ein Datensignal und/oder elektrische Energie zum Betrieb der jeweiligen Anordnung (111 – 114) umfassen, und wobei die Schnittstelle (140) für jede der der Ansteuereinheit (130, 130A, 130B) zugeordneten Anordnungen (111 – 114) ein jeweiliges Bündel (B1 – B6) von elektrischen Leitungen aufweist.

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