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    • 7. 发明申请
    • 단원자 증착법을 이용한 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이의 제조방법
    • 复合和不对称复合薄膜及其使用原子沉积法制备其的方法
    • WO2015060636A1
    • 2015-04-30
    • PCT/KR2014/009938
    • 2014-10-22
    • 한국화학연구원
    • 정윤장이영국최원진이정오정택모김창균
    • C23C16/448C23C16/06
    • C23C16/40C23C16/45525
    • 본 발명은 단원자 증착(atomic layer deposition, ALD)법을 이용하여, 도핑영역층과 비도핑영역층을 구비하여 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적인 복합박막 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복합박막은 박막 일부에 도판트 원자층을 포함하는 도핑영역층을 구비함으로써, 박막 두께 방향으로 성분상에 있어서 복합 및 비대칭적 특성을 갖게 되고, 이는 도핑영역층과 비도핑영역층간의 밴드 구조가 달라지게 됨으로써 박막의 층 영역별로 전자기적 특성이 달라지게 되고, 기능성이 향상되어 디스플레이, 메모리, 반도체 영역 전반에 걸쳐서 사용될 수 있다.
    • 本发明涉及一种复合薄膜,其通过原子层沉积(ALD)设置有掺杂区域层和非掺杂区域层,因此在厚度方向上的分量方面是复杂的和不对称的,并且 一种制备方法。 根据本发明的复合薄膜在薄膜的一个区域上具有包括掺杂剂原子层的掺杂区域层,从而在薄膜的厚度方向上的成分方面具有复杂且不对称的性质, 并且允许掺杂区域层和非掺杂区域层具有不同的带结构,从而对薄膜的每个层区域具有不同的电磁特性。 因此,复合薄膜具有改进的功能,可用于显示器,存储器和半导体的所有领域。