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    • 3. 发明申请
    • 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용한 SIC 단결정의 제조 방법
    • 硅基熔融组合物及使用其的SIC单晶的制造方法
    • WO2017073983A1
    • 2017-05-04
    • PCT/KR2016/012019
    • 2016-10-25
    • 주식회사 엘지화학
    • 정찬엽이호림고정민김대성이성수은창선
    • H01L21/02C30B29/36
    • C30B29/36C30B9/06C30B9/10C30B19/04H01L21/02
    • 본 발명은 실리콘, 탄소 및 하기 식 (1)으로 정의되는 용해도 파라미터 (C si so1 )에 대해 0 /70≤ C si so1 ≤ 1.510을 만족시키는 금속을 포함하고, 용액법에 의해 SiC 단결정을 형성하기 위한 실리콘계 용융 조성물이다. C si so1 = A - B + μ 1 - μ 2 식 (1) 상기 식에서, Α는 상기 금속 및 탄소를 포함하는 실리콘 결정 격자에서, 실리콘 원자, 탄소 원자 및 금속 원자를 포함하는 제 1 평가 격자가 갖는 제 1 에너지 (A)이고, B는 상기 금속을 포함하는 실리콘 결정 격자에서, 실리콘 원자 및 금속 원자를 포함하는 제 2 평가 격자가 갖는 제 2 에너지 (B)이고, μ 1 은 다이아몬드 결정 구조의 실리콘의 총 에너지를 단위 격자 내 존재하는 실리콘 원자수로 나눈 화학 포텐셜로써 -5.422의 상수이고, μ 2 는 다이아몬드 결정 구조의 탄소의 총 에너지를 단위 격자 내 존재하는 탄소 원자수로 나눈 화학 포텐셜로써 -9.097의 상수이다.
    • 本发明涉及一种制备具有溶解度参数(CsiSi1 / 2)的聚合物的方法, 以及满足CsiSi1 /2≤1.510的金属,并且是用于通过溶液法形成SiC单晶的硅基熔融组合物。 (1)其中A是A,B和C的值的总和,A是子帧的数量, (A)具有在包含金属和碳的硅晶格中包含硅原子,碳原子和金属原子的第一评估光栅,B是包含金属的硅晶格中的硅浓度, 第二能量(B)含磷原子的第二评价网格和金属原子具有,μ<子> 1 是由硅的金刚石晶体结构的总能量由硅原子的数目除以其中存在于晶格中的单元 是作为化学势-5.422常数,μ<子> 2 是作为化学势由碳原子存在于所述单元电池的碳的金刚石晶体结构的总能量的数量除以-9.097常数。
    • 9. 发明申请
    • 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용한 SIC 단결정의 제조 방법
    • 硅基熔融组合物及使用其的SIC单晶的制造方法
    • WO2017073984A1
    • 2017-05-04
    • PCT/KR2016/012020
    • 2016-10-25
    • 주식회사 엘지화학
    • 정찬엽고정민김대성이성수은창선
    • H01L21/02C30B29/36
    • C30B29/06C30B29/36H01L21/02
    • 본 발명은 실리콘, 탄소 및 하기 식 (1)로 정의되는 용해도 파라미터 (C si sol )에 대해 -0.37 보다 작은 값을 가지는 금속을 포함하고, 용액법에 의해 SiC 단결정을 형성하기 위한 실리콘계 용융 조성물이다. C si sol = A - B + μ 1 -μ 2 식 ( 1) 상기 식에서, Α는 상기 금속 및 탄소를 포함하는 실리콘 결정 격자에서, 실리콘 원자, 탄소 원자 및 금속 원자를 포함하는 제1 평가 격자가 갖는 제1 에너지 (A)이고, B는 상기 금속을 포함하는 실리콘 결정 격자에서, 실리콘 원자 및 금속 원자를 포함하는 제2 평가 격자가 갖는 제2 에너지 (B)이고, μ1은 다이아몬드 결정 구조의 실리콘의 총 에너지를 단위 격자 내 존재하는 실리콘 원자수로 나눈 화학 포텐셜로써 -5.422의 상수이고, μ2는 다이아몬드 결정 구조의 탄소의 총 에너지를 단위 격자 내 존재하는 탄소 원자수로 나눈 화학 포텐셜로써 -9.097의 상수이다.
    • 本发明是小于-0.37的溶解度参数,以由硅,碳下述式(1)(C <子> SI 溶胶)来定义,并 是用于通过溶液法形成SiC单晶的硅基熔融组合物。 (1)其中A是A,B和C的值的总和,A是A和B的总和, 在含有所述金属和碳,且所述第一能量的硅晶格(a)具有第一评估格栅,包括一个硅原子,碳原子和金属原子,B是在硅晶格,其中包括金属,硅 第二能量(B)含有的金属原子和具有原子的第二评价网格,μ1是作为化学势由硅的金刚石晶体结构的总能量划分到硅原子与存在于单位格子的-5.422恒定 ,μ2是作为化学势由碳原子存在于所述单元电池的碳的金刚石晶体结构的总能量的数量除以-9.097常数。