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1. 发明申请

WO2018159907A1 접합장치 및 이를 포함하는 라미네이터 审中-公开
公开(公告)号：WO2018159907A1
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：PCT/KR2017/008445
申请日：2017-08-04
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이정균 , 김기덕 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 민경인 , 박창균 , 신현교
IPC分类号： B32B37/00 , B32B37/06
CPC分类号： B32B37/00 , B32B37/06
摘要： 접합장치의 일 실시예는, 용기; 상기 용기에 수용되는 수용체; 및 곡면형의 대상체가 안착되는 곡면부위가 형성되도록 유연한 재질로 형성되고, 상기 수용체가 수용된 상기 용기의 상부를 덮는 커버시트를 포함하고, 상기 수용체는 상기 용기에서 이동가능하도록 구비되는 것일 수 있다.

2. 发明申请

WO2019013537A1 박막형 태양전지 审中-公开
公开(公告)号：WO2019013537A1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：PCT/KR2018/007831
申请日：2018-07-11
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 신현교 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 민경인 , 박창균 , 이정균
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/054 , H01L31/0232 , H01L31/05
摘要： 본 발명은 기판 상에서 서로 직렬로 연결되어 있는 복수의 단위셀; 및 상기 복수의 단위셀 내에 구비된 광 투과부를 포함하여 이루어지고, 상기 광 투과부는 불연속적인 직선 구조로 이루어진 박막형 태양전지에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 광 투과부가 불연속적으로 형성됨으로써, 복수의 도트 패턴으로 이루어진 광 투과부의 반복 특성이 완화될 수 있고, 그에 따라, 광이 상기 광 투과부를 투과할 때 모아레 현상과 같은 물결 무늬가 발생하는 문제가 효과적으로 해소될 수 있다.

3. 发明申请

WO2015076637A1 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법 审中-公开
标题翻译：用于制造触控面板的装置，系统和方法
公开(公告)号：WO2015076637A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/KR2014/011338
申请日：2014-11-25
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김영기 , 박창균 , 김선명 , 민경인 , 박일흥
IPC分类号： G06F3/041
CPC分类号： G06F3/044 , G06F2203/04103
摘要： 본 발명은 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 전도성을 가진 투명한 산화물을 이용하여 브릿지를 형성하는, 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 터치패널 제조 방법은, 기판의 표시영역에 전극부들을 형성하는 단계; 상기 기판의 비표시영역에 차광층을 형성하는 단계; 상기 차광층 상에 전극라인을 형성하는 단계; 및 전도성을 가진 투명한 산화물을 이용하여, 상기 전극부와 상기 전극라인을 연결하는 라인브릿지를 형성하는 단계를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造触摸面板的装置，系统和方法，特别涉及提供一种用于制造触摸面板的装置，系统和方法的技术问题，该触摸面板通过使用具有电导率。为此，根据本发明的触摸面板的制造方法包括以下步骤：在基板的显示区域上形成电极部分; 在所述基板的非显示区域上形成遮光层; 在遮光层上形成电极线; 以及通过使用具有导电性的透明氧化物形成连接电极部分与电极线的线桥。

4. 发明申请

WO2012134000A1 박막형 태양전지 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2012134000A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/KR2011/006509
申请日：2011-09-02
申请人： 주성엔지니어링(주) , 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
发明人： 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022466 , H01L31/022425 , H01L31/02366 , Y02E10/50
摘要： 본 발명은, 기판; 상기 기판 상에 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 형성된 투명도전층; 및 상기 투명도전층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지며, 상기 전면전극층은, 상기 기판 상에 형성되며 그 표면이 제1 요철구조로 형성된 제1 전면전극층, 및 상기 제1 전면전극층 상에 형성되며 그 표면이 제2 요철구조로 형성된 제2 전면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 요철구조와 상기 제2 요철구조는 서로 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지, 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 전면전극층이 상대적으로 표면 거칠기가 큰 제1 전면전극층 상에 상대적으로 표면 거칠기가 작은 제2 전면전극층이 형성되어 이루어지기 때문에, 상기 전면전극층을 통과하는 태양광이 다양하게 산란되어 상기 반도체층에서 태양광의 흡수율이 증진됨과 더불어 전면전극층의 표면 거칠기가 줄어들어 태양전지의 개방전압(Voc)과 완충인자(fill factor)가 증가될 수 있고, 결국 태양전지의 효율이 개선될 수 있게 된다.
摘要翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法技术领域本发明涉及薄膜型太阳能电池及其制造方法，所述薄膜型太阳能电池包括：基板; 形成在所述基板上的前表面电极层; 形成在前表面电极层上的半导体层; 形成在所述半导体层上的透明导电层; 以及形成在所述透明导电层上的后表面电极层，其中所述前表面电极层包括形成在所述基板上的第一前表面电极层，并且具有以第一凹凸结构形成的表面，以及第二前表面电极形成在第一前表面电极层上并具有形成在第二凹凸结构中的表面，并且第一凹凸结构和第二凹凸结构彼此不同地形成。根据本发明，前表面电极层由具有较低表面粗糙度的第二前表面电极层形成，该第二前表面电极层具有相对较高的表面粗糙度的第一前表面电极层，因此通过前面的阳光表面电极层分散地散射，增加了半导体层的太阳光的吸收率，并降低了前表面电极层的表面粗糙度，从而增加了太阳能电池的voc和填充因子，最终提高了太阳能电池。

5. 发明申请

WO2022255833A1 박막 증착 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2022255833A1
公开(公告)日：2022-12-08
申请号：PCT/KR2022/007898
申请日：2022-06-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박일흥 , 박창균 , 오원주 , 이동환 , 이용현 , 이준석 , 임병관
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/448
摘要： 본 발명은 박막 증착 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 박막 증착 방법은, 공정 공간에 마련된 기판 상에, 제1 확산 가스와 함께 원료 가스를 공급하는 단계; 및 상기 원료 가스를 공급하는 단계와 연속되도록, 상기 기판 상에 제2 확산 가스와 함께 반응 가스를 공급하는 단계;를 포함하고, 상기 원료 가스를 공급하는 단계 및 상기 반응 가스를 공급하는 단계를 포함하는 공정 사이클은 복수 회로 수행되며, 상기 제1 확산 가스 및 원료 가스와, 상기 제2 확산 가스 및 반응 가스를 서로 다른 경로로 상기 기판 상에 공급한다.

6. 发明申请

WO2022239948A1 박막 형성 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2022239948A1
公开(公告)日：2022-11-17
申请号：PCT/KR2022/003477
申请日：2022-03-11
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 허정 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 박창균 , 이용현 , 황철주
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/02 , C23C16/34 , C23C16/455 , C23C16/0272 , C23C16/4554 , C23C16/45553 , C23C16/56 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/02576 , H01L21/02579 , H01L21/0262 , H01L21/02667
摘要： 본 발명은 박막 형성 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 질화갈륨 박막을 형성하기 위한 박막 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 박막 형성 방법은, 챔버의 공정 공간에 기판을 반입하는 단계; 및 상기 기판 상에 질화갈륨 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 질화갈륨 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 갈륨을 함유하는 소스 가스를 공급하는 단계; 상기 기판 상에 질소를 함유하는 리액턴트 가스를 공급하는 단계; 및 상기 리액턴트 가스가 공급된 기판 상에 수소를 함유하는 후처리 가스를 활성화시켜 공급하는 단계;를 포함한다.

7. 发明申请

WO2021206351A1 기판 처리 장치 및 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2021206351A1
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：PCT/KR2021/003946
申请日：2021-03-30
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 박창균 , 김용현 , 황철주
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要： 본 발명은 기판 상에 박막을 증착한 후 내부에 부산물이 퇴적된 챔버를 효율적으로 세정할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 유기 금속 기상 증착을 수행한 후 챔버 내부에 퇴적된 금속을 포함한 부산물을 효율적으로 세정할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법을 제공한다.

8. 发明申请

WO2021006600A1 기판 처리 장치의 챔버 클리닝 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2021006600A1
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：PCT/KR2020/008856
申请日：2020-07-07
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 김윤정 , 박창균 , 이재완
IPC分类号： B08B7/00 , H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본 발명의 실시예에 따른 챔버 클리닝 방법은 박막 증착 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하고, 챔버 내부를 처리하는 챔버 안정화 공정을 포함하고, 챔버 안정화 공정은, 챔버 내부로 세정 가스를 분사하여, 박막 증착으로 생성된 부산물을 식각시켜 세정하는 세정 공정 및 챔버 내부로 알루미늄(Al), 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 적어도 하나를 포함하는 가스를 코팅 가스로 분사하여, 챔버 내벽 및 챔버 내부에 설치된 구성품 중 적어도 하나의 표면에 보호막을 생성하는 코팅 공정을 포함한다.

9. 发明申请

WO2021006565A1 박막 트랜지스터 审中-公开
公开(公告)号：WO2021006565A1
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：PCT/KR2020/008749
申请日：2020-07-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이재완 , 김용현 , 박창균 , 이동환
IPC分类号： H01L29/786 , H01L29/24 , H01L21/02
摘要： 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터는 게이트 절연막과, 소스 및 드레인 전극 사이에 형성되는 활성층을 포함하는 박막 트랜지스터로서, 상기 활성층은 제 1 금속 산화물 박막; 상기 제1 금속 산화물 박막과 게이트 절연막 사이에 제공되며, 상기 제1 금속 산화물 박막보다 낮은 전기 전도도를 가지는 제2 금속 산화물 박막; 및 상기 제1 금속 산화물 박막과 소스 및 드레인 전극 사이에 제공되며, 상기 제1 금속 산화물 박막보다 낮은 전기 전도도를 가지는 제3 금속 산화물 박막;을 포함한다.

10. 发明申请

WO2016200216A9 박막형 태양전지와 그의 제조방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2016200216A9
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：PCT/KR2016/006207
申请日：2016-06-10
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 민경인 , 최상수
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L21/67
摘要： 본 발명의 실시예는 분리부에 형성된 부산물에 의해 제1 전극과 제2 전극 간에 단락이 발생하는 것을 방지함으로써 출력 감소를 방지할 수 있는 박막형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판; 상기 기판 상에서 제1 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에서 상기 제1 분리부를 통해 상기 기판과 접하고, 콘택부 및 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 반도체층; 및 상기 반도체층 상에서 상기 콘택부를 통해 상기 제1 전극과 접속되고, 상기 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제2 전극을 포함하고, 상기 제2 분리부에 형성된 부산물의 높이는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.

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