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1. 发明申请

WO2009081775A1 薄膜トランジスタの製造方法及び薄膜トランジスタ审中-公开
标题翻译：薄膜晶体管制造方法和薄膜晶体管
公开(公告)号：WO2009081775A1
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：PCT/JP2008/072685
申请日：2008-12-12
申请人：株式会社アルバック , 森村太郎 , 菊池亨 , 橋本征典 , 浅利伸 , 斎藤一也 , 中村久三
发明人：森村太郎 , 菊池亨 , 橋本征典 , 浅利伸 , 斎藤一也 , 中村久三
IPC分类号： H01L21/336 , H01L21/20 , H01L29/786
CPC分类号： H01L21/02532 , H01L21/02422 , H01L21/02675 , H01L27/1285 , H01L29/66765
摘要：【課題】素子間におけるトランジスタ特性のバラツキを防止して移動度を高めることができる生産性に優れた薄膜トランジスタの製造方法及び薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】本発明に係る薄膜トランジスタの製造方法は、ソース電極膜７１及びドレイン電極膜７２をマスクとしてアモルファスシリコン膜４のチャネル部４１に固体グリーンレーザＧＬを照射して移動度を向上させる。固体グリーンレーザの照射によってアモルファスシリコン膜のチャネル部を結晶化させるようにしているので、従来のエキシマレーザを用いる方法に比べて、レーザ発振特性を安定化させ、大型基板に対して面内に一様な出力特性でのレーザ照射が可能となり、素子間におけるチャネル部の結晶度のバラツキを防ぐことができる。また、レーザ発振器のメンテナンスサイクルが長くなるため、装置のダウンタイムコストを低減できるとともに、生産性を高めることが可能となる。
摘要翻译：公开了一种具有优异生产率的薄膜晶体管制造方法，其能够防止元件之间的晶体管特性的变化以改善迁移率和薄型晶体管。薄膜晶体管制造方法通过用源电极膜（71）和漏电极膜（72）照射具有固态绿色激光（GL）的非晶硅膜（4）的沟道部分（41）来提高迁移率）作为面具。由于通过固态绿色激光的照射使非晶硅膜的通道部分结晶，与使用准分子激光的常规方法相比，可以使激光振荡特性稳定，能够使用大尺寸基板可以防止具有面内均匀输出特性的激光，从而可以防止元件之间的通道部分的结晶度的变化。激光振荡器的维护周期延长，从而能够减少设备停机时间并提高生产率。

2. 发明申请

WO2007125801A1 表示装置、複合表示装置审中-公开
标题翻译：显示装置和复合显示装置
公开(公告)号：WO2007125801A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/JP2007/058449
申请日：2007-04-18
申请人：株式会社アルバック , 小松孝 , 中村久三 , 片桐弘明 , 谷典明 , 斎藤一也
发明人：小松孝 , 中村久三 , 片桐弘明 , 谷典明 , 斎藤一也
IPC分类号： H05B33/14 , H05B33/12 , H01L27/32 , G09F9/30 , G09F9/40
CPC分类号： C09K11/565 , H01L27/3267 , H05B33/14
摘要：【課題】薄膜トランジスタで駆動でき、高輝度の表示装置を提供する。【解決手段】低電圧駆動の無機発光層１２１と制御トランジスタ１０５とを基板１１１上に形成し、無機発光層１２１に印加する電圧を制御トランジスタ１０５で制御する。無機発光層１２１は熱やダメージに強いので、スパッタリング法によって形成することが可能である。トップエミッション型の表示装置とボトムエミッション型の表示装置を同じ基板上に形成し、同じ位置から発光光を放射させることもできる。
摘要翻译： [问题]提供一种可由薄膜晶体管驱动并具有高亮度的显示装置。解决问题的手段在基板（111）上设置低压驱动用无机发光层（121）和控制晶体管（105）。施加到无机发光层（121）的电压由控制晶体管（105）调节。无机发光层（121）对于热和损伤是强的，因此可以通过溅射形成。还可以提供一种方法，其中顶部发射型显示装置和底部发射型显示装置设置在相同的基板上，并且发射的光可以从相同的位置辐射。

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