会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 5. 发明申请
    • 常誘電体薄膜形成用組成物、常誘電体薄膜および誘電体メモリ
    • 用于形成参比薄膜,参比薄膜和电介质存储器的组合物
    • WO2007007561A1
    • 2007-01-18
    • PCT/JP2006/313029
    • 2006-06-29
    • 東京応化工業株式会社竹内 義行
    • 竹内 義行
    • H01L21/8242H01L21/316H01L27/108
    • H01L21/31691C01G1/02C01G23/002C01G25/006C01G29/006C01P2006/40
    •  常誘電性で、リーク電流が低く、かつ誘電率が高い常誘電体薄膜を得ることのできる常誘電体薄膜形成用組成物を提供する。  Ba,Sr,Bi,Sc,V,Y,Zr,Nb,Hf,Ta,Si,Ge,Snからなる群から選ばれる少なくとも2種類の金属元素(A)およびTi元素(B)の各金属アルコキシド類の混合物(1)を加水分解するか、または、前記少なくとも2種類の金属元素(A)およびTi元素(B)の少なくとも3種類の金属元素のうちの少なくとも2種類の金属元素の複合金属アルコキシド類と、前記少なくとも3種類の金属元素のうち前記複合アルコキシド類を構成する金属元素以外の金属元素の金属アルコキシド類との混合物(2)を加水分解することにより、有機金属化合物を含有する常誘電体薄膜形成用組成物を得る。この組成物を用いて塗膜を形成し、この塗膜を焼成することにより常誘電体薄膜を形成する。
    • 用于形成顺电薄膜的组合物,其可以提供表现出顺从性并且具有低漏电流和高介电常数的顺电薄膜。 用于形成含有有机金属化合物的顺电薄膜的组合物是通过水解分别含有选自Ba,Sr,Bi,Sc等中的至少两种金属元素(A)的金属醇盐的混合物(1) V,Y,Zr,Nb,Hf,Ta,Si,Ge和Sn和Ti元素(B)或由复合金属醇盐组成的混合物(2)的水解,所述复合金属醇盐包含至少两种金属元素, 由上述至少两种金属元素(A)和Ti元素(B)组成的三种金属元素和在上述至少三种金属元素中含有构成上述复合金属醇盐的金属元素以外的金属元素的金属醇盐。 通过将组合物形成涂膜并焙烧涂膜来制造顺电薄膜。