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1. 发明申请

WO2003058706A1 被処理体の搬送システム、無人搬送車システム、無人搬送車、及び被処理体の搬送方法审中-公开
标题翻译：工作输送系统，无人驾驶的车辆系统，无人驾驶的车辆和工作输送方法
公开(公告)号：WO2003058706A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/013860
申请日：2002-12-27
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 村田機械株式会社 , 飯島俊彦 , 秋山収司 , 保坂広樹 , 中尾敬史
发明人：飯島俊彦 , 秋山収司 , 保坂広樹 , 中尾敬史
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67763 , G05B19/41865 , G05B2219/31429 , G05B2219/32107 , G05B2219/32252 , G05B2219/32283 , G05B2219/45031 , G06Q10/06 , H01L21/67754 , Y02P90/08 , Y02P90/20
摘要： The number of devices formed on one wafer is significantly increased and a long time is required for inspection of one wafer. When the inspection is performed on lot basis, until inspection of all the wafers is complete, those wafers which have been inspected also should remain in a prober. This delays the time of advancing the lot-basis wafers to a subsequent step, making it difficult to reduce the TAT (turn around time) and to operate the prober flexibly. A convey system (E) includes a host computer (1), a plurality of probers (2) under management of the host computer (1), a plurality of RGV (4) for passing wafers (W) one by one in response to the request from the probers (2), and a convey operation device (5) for operating the RGV (4) interlocked with the host computer. The convey operation device (5) has a scheduler (54A) and a dispatcher (54B) for creating an operation schedule of each RGV (4) according to the positional relationship between the probers (2) and the RGV (4), deciding the optimal convey route, and assigning each RGV (4) to its optimal convey route.
摘要翻译：形成在一个晶片上的器件的数量显着增加，并且需要很长时间来检查一个晶片。当在批量的基础上进行检查时，在完成所有晶片的检查之前，已经被检查的那些晶片也应保留在探测器中。这样就延长了批量生产基片进入后续步骤的时间，从而难以减少TAT（周转时间）和灵活操作探测器。传送系统（E）包括主计算机（1），在主计算机（1）的管理下的多个探测器（2），多个RGV（4），用于响应于来自检测器（2）的请求以及用于操作与主计算机互锁的RGV（4）的传送操作设备（5）。传送操作设备（5）具有调度器（54A）和调度器（54B），用于根据探测器（2）和RGV（4）之间的位置关系创建每个RGV（4）的操作时间表，最佳传输路由，并将每个RGV（4）分配给其最佳传输路由。

2. 发明申请

WO2003026002A1 無人搬送車审中-公开
标题翻译：自动引导车
公开(公告)号：WO2003026002A1
公开(公告)日：2003-03-27
申请号：PCT/JP2002/009018
申请日：2002-09-05
申请人：村田機械株式会社 , 東京エレクトロン株式会社 , 宮埜賢 , 村山貴彦 , 中尾敬史 , 秋山収司
发明人：宮埜賢 , 村山貴彦 , 中尾敬史 , 秋山収司
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/67092 , H01L21/67265 , H01L21/673 , H01L21/6735 , H01L21/67724 , H01L21/67763 , H01L21/681
摘要： In an automatic guided vehicle that comprises a transfer device for transferring wafers, a buffer cassette temporarily receiving wafers, and a pressing member disposed at the opening in the buffer cassette, and that is so arranged that when the automatic guided vehicle is to be driven, the pressing member is slid from the lateral end position of the buffer cassette opening to the middle position to contact and press the end edge of a wafer, the pressing member is liable to be damaged as it is rubbed by the outer periphery of the wafer, and its durability has been a problem. The pressing member (55) is constructed so that it is movable between a “pressing” position where it contacts and presses the end edge of the wafer (10) and a “retracted” position where it is spaced away from the end edge of the wafer (10) and so that when the pressing member (55) is moved from the “retracted” position to the “pressing” position, the direction of movement, (A), of the pressing member (55) at the instant of contact with the end edge of the wafer (10) is substantially perpendicular to the contour line of the portion of the wafer (10) to be contacted by the pressing member (55).
摘要翻译：在一种自动引导车辆中，包括用于传送晶片的转移装置，临时接收晶片的缓冲盒和设置在缓冲盒中的开口处的按压构件，并且其布置成使得当要驱动自动导向车辆时，按压构件从缓冲盒开口的侧端位置滑动到中间位置以接触并按压晶片的端边缘，因为按压构件被晶片的外周摩擦而易于损坏，其耐用性一直是一个问题。按压构件（55）被构造成使得其可以在其接触的“挤压”位置和将晶片（10）的端边缘按压的“压缩”位置和“缩回”位置之间移动，在该位置处其与第并且使得当按压构件（55）从“缩回”位置移动到“按压”位置时，按压构件（55）在接触时刻的移动方向（A）其中晶片（10）的端边缘基本上垂直于晶片（10）部分的轮廓线与被按压部件（55）接触。

3. 发明申请

WO2008059659A1 パラレルメカニズム审中-公开
标题翻译：并行机制
公开(公告)号：WO2008059659A1
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：PCT/JP2007/067937
申请日：2007-09-14
申请人：村田機械株式会社 , 中尾敬史 , 西田達彦 , 中西秀明 , 中村大五郎
发明人：中尾敬史 , 西田達彦 , 中西秀明 , 中村大五郎
IPC分类号： B25J11/00 , B25J17/00 , F16H21/02
CPC分类号： B25J17/0266 , B25J9/0051 , Y10T74/20317 , Y10T74/20329
摘要：　エンドエフェクタの姿勢を安定的とし、エンドエフェクタを高精度に位置決めする。一対のロッド（１２１）を有し、一対のロッド（１２１）が平行に配置されるアーム（１０１）と、エンドエフェクタが取り付けられ、一対のロッド（１２１）に保持されるブラケット（３）と、ブラケット（３）をアーム（１０１）に対して変位可能に連結し、ボール（４１３）を有する第１継手（４１１）と、ボール（４１３）が保持されるソケット（４１４）を有する第２継手（４１２）と、を有するボールジョイント（４１，４２）と、平行な一対のロッド（１２１）を互いに連結し、その長手方向に平行な軸線まわりにロッド（１２１）が回転することを規制する連結部材（２）と、ボール（４１３）をソケット（４１４）に保持するための付勢力を与える付勢部材（２４）と、を含むパラレルメカニズム。
摘要翻译：通过稳定其姿势，高精度地定位末端执行器。一种平行机构，包括具有一对平行布置的一对杆（121）的臂（101），与所述末端执行器固定并由所述一对杆（121）保持的托架（3），所述球接头（41,42）具有用于将所述支架（3）与所述臂（101）可移动并具有球（413）联接的第一接头（411），具有用于保持所述球（413）的插座（414）的第二接头（412），构件（2），用于将所述一对平行杆（121）彼此联接并且调节所述杆（121）围绕其纵向方向平行的旋转;以及构件（24），其施加用于保持所述球的推动力（413）在插座（414）中。

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