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    • 2. 发明申请
    • モールド、および転写微細パターンを有する基材の製造方法
    • 用于生产具有转移微孔板的基底的模具和工艺
    • WO2006059580A1
    • 2006-06-08
    • PCT/JP2005/021821
    • 2005-11-28
    • 旭硝子株式会社川口 泰秀坂根 好彦白川 大祐
    • 川口 泰秀坂根 好彦白川 大祐
    • B29C33/40B29C33/42B29C59/02H01L21/027
    • G03F7/0002B29C33/40B29C33/424B29C33/56B29C35/0888B29C59/022B29C2059/023B29L2011/00B82Y10/00B82Y40/00
    •  モールド、および転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。  光硬化性樹脂を成形するための微細パターンを有するモールドであり、下記中間層(A)が形成される表面に官能基(x)に基づく化学結合を有する透明基体と;該透明基体表面と下記表面層(B)との間に存在する中間層(A)と;微細パターンを有する下記表面層(B)と;を有することを特徴とするモールド。  中間層(A):主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体であって、前記官能基(x)と反応性の反応性基(y)を有する含フッ素重合体(1)からなる層。  表面層(B):主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体であって、前記反応性基(y)を実質的に有しない含フッ素重合体(2)からなり、表面に微細パターンを有する層。
    • 本发明提供一种用于生产其上具有转移的微图案的基底的模具和方法。 一种具有用于形成光固化树脂的微图案的模具,其特征在于,包括由一个表面上的官能团(x)产生的化学键的透明基材; 形成在由官能团(x)产生的化学键的透明基材的表面上形成的中间层(A); 和形成在所述中间层(A)上的表面层(B),在所述中间层(A)上具有微图案,所述中间层(A)是在所述主链中具有氟化脂环结构的含氟聚合物(1) 与官能团(x)和表面层(B)反应的基团(y)是在表面具有微图案的层,并且由在主链中具有氟化脂环结构的氟聚合物(2)制成,并且是 基本上不含反应性基团(y)。
    • 4. 发明申请
    • モールド、その製造方法および転写微細パターンを有する基材の製造方法
    • 模具,用于生产模具的方法,以及用于生产具有复制的精细图案的衬底的方法
    • WO2008146542A1
    • 2008-12-04
    • PCT/JP2008/056984
    • 2008-04-09
    • 旭硝子株式会社角崎 健太郎川口 泰秀坂根 好彦庄子 習一水野 潤片座 慎吾
    • 角崎 健太郎川口 泰秀坂根 好彦庄子 習一水野 潤片座 慎吾
    • B29C33/38B29C59/02
    • B29C59/02B29C33/40B29C33/424B29C33/56B29C35/0888B29C59/005B29L2011/00
    •  光透過性、離型性、機械的強度、寸法安定性、高精度な微細パターンを有し、微細パターンの変形が少ないモールド;モールドの微細パターンを寸法精度よく転写でき、転写微細パターンの変形が少ない転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。  中間層(C)14が形成された表面に官能基(x)に基づく化学結合を有し、含フッ素重合体(I)の線膨張係数との線膨張係数の差(絶対値)が30ppm/°C未満であり、熱変形温度が100~300°Cである透明基体(A)12、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、官能基(x)と反応性の反応性基(y)を有する含フッ素重合体(II)からなる中間層(C)14、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、反応性基(y)を実質的に有しない含フッ素重合体(I)からなり、表面に微細パターン18を有する表面層(B)16を有するモールド10。
    • 公开了具有透光性,脱模性,机械强度,尺寸稳定性和高精度精细图案的模具,并且导致精细图案的变形较小。 还公开了一种能够以良好的尺寸精度复制模具上的精细图案并具有复制精细图案的复制精细图案的方法。 具体公开了包括透明基板(A)(12),中间层(C)(14)和表面层(B)(16)的模具(10)。 在透明基板(A)(12)的表面上形成中间层(C)(14)之后,透明基板(A)(12)具有从表面上的官能团(x)衍生的化学键 的中间层(C)(14)。 透明基板(A)(12)和含氟聚合物(I)之间的线膨胀系数的差(绝对值)小于30ppm /℃。 透明基板(A)(12)的热变形温度为100〜300℃。 中间层(C)(14)包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链并且还具有与官能团(x)反应的反应性基团(y)的氟化聚合物(II)。 表面层(B)(16)包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链且基本上不具有反应性基团(y)的含氟聚合物(I),并且在其表面上形成微细图案(18)。