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    • 2. 发明申请
    • 電極基板及びその製造方法
    • 电极基板及其制造方法
    • WO2005101915A1
    • 2005-10-27
    • PCT/JP2004/004971
    • 2004-04-06
    • 出光興産株式会社東海林 弘長崎 義和渋谷 忠夫
    • 東海林 弘長崎 義和渋谷 忠夫
    • H05B33/28
    • H01L51/0096H01L27/322H01L27/3248H01L51/5088H01L51/5206Y02E10/549Y02P70/521
    • CCM基板の陽極表面に存在する表面不良層を除去し、陽極表面を保護し、ひいては、有機EL素子の駆動電圧の上昇防止や発光均一性の維持を目的とする。基板12上に光の波長変換を行うCCM層14を積層し、そのCCM層14の上にIZOからなる陽極16を形成する。陽極16の上に無機化合物からなる表面保護層18を誘導結合型RFプラズマ支援マグネトロンスパッタでスパッタ処理により積層する。無機化合物としては、SiO 2 が好ましい。スパッタ処理により、陽極16の表面不良層を除去しつつ、無機化合物によって、表面不良層が除去された状態を保持させることが可能である。その結果、陽極16の電気的安定性を長期間にわたり維持させるができ、有機EL表示装置100の表示画質を向上させることができる。
    • 目的是去除存在于CCM基板上的阳极表面上的表面缺陷层,保护阳极表面,防止有机EL元件的驱动电压上升,并保持发光均匀性。 在基板(12)上形成用于转换光波长的CCM层(14)。 在CCM层(14)上形成IZO的阳极(16)。 在阳极(16)上,通过感应耦合的RF等离子体支撑磁控溅射法形成含有无机化合物的表面保护层(18)。 优选的无机化合物是SiO 2。 可以通过溅射去除阳极(16)的表面缺陷层,并且被除去的状态可以由无机化合物保持。 因此,可以长时间保持阳极(16)的电稳定性,从而提高有机EL显示器(100)的显示质量。