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1. 发明申请

WO2003101677A1 円盤状物の基準位置自動教示方法，自動位置決め方法および自動搬送方法並びに，それらの方法を使用する円盤状物の基準位置自動教示装置，自動位置決め方装置，自動搬送装置および，半導体自動製造設備审中-公开
标题翻译：自动定位方法，自动定位方法以及用于盘式对象的自动执行方法，自动参考位置教学装置，自动定位装置以及使用这些方法的盘式对象的自动执行装置和自动半导体制造装置
公开(公告)号：WO2003101677A1
公开(公告)日：2003-12-11
申请号：PCT/JP2003/000381
申请日：2003-01-17
申请人：ローツェ株式会社 , 崎谷文雄 , 佐藤恭久 , 長尾哲也 , 池田敏之
发明人：崎谷文雄 , 佐藤恭久 , 長尾哲也 , 池田敏之
IPC分类号： B25J9/22
CPC分类号： B25J9/1692 , H01L21/681
摘要：　位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における設備立ち上げの際の各ポートでの基準位置教示および定常生産工程での位置決めを自動化して生産性を高めるべく、本発明では、ウエハ等の円盤状物４７の円周と検出手段の軌跡４３とが交わる２点W1,W2を検出し、この２点とこれらを結ぶ線分の垂直二等分線４２上の特定点Ｏと円盤状物の半径ｒとを用いて円盤状物の中心位置Ａを算出する。これにより搬送ロボットに位置決め作業をさせることができ、その結果を用いて搬送経路の修正ばかりでなく設備立ち上げの際の基準位置教示も自動化することができた。切り欠き部がある場合は、円盤状物の円周を検出手段の２本の軌跡で検出し、正しい中心位置を見いだす。また半径未知の円盤状物の円周を検出手段の３本の軌跡で検出して半径を求めることで、直径の異なるウエハを用いる混合生産も可能となった。
摘要翻译：一种用于盘状物体的自动参考位置教学方法，其能够通过在具有定位装置和携带机器人的半导体制造设备中启动设备时在端口自动化基准位置教导和固定生产过程中的定位来提高生产率，包括检测两个点W1和W2的步骤，其中诸如晶片的盘状物体（47）的圆周与检测装置的轨迹（43）交叉，并且通过使用该方法计算盘状物体的中心位置A 这两点，连接这两个点的线段的垂直平分线（42）上的特定点O和盘状物体的半径r，由此可以由携带机器人执行定位操作，而不仅仅是可以通过使用定位操作的结果来自动进行装载路线的校正以及起动设备时的参考位置示教。当在盘状物体中存在切口部分时，通过检测装置的两个轨迹检测盘状物体的圆周，以找出正确的中心位置，并且具有未知的盘状物体的圆周通过检测装置的三个轨迹检测半径以获得半径，以便允许使用不同直径的晶片的混合生产。

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