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1. 发明申请

WO2006112543A1 検査装置および導電パターン検査方法审中-公开
标题翻译：检查装置和导电图案检查方法
公开(公告)号：WO2006112543A1
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：PCT/JP2006/308683
申请日：2006-04-19
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
发明人：羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02 , G01R31/00 , H05K3/00
CPC分类号： G01R31/2812 , G09G3/006
摘要：導電パターンのオープン/ショートを検出可能な検査装置と検査方法を提供する。規則的に配列された導電パターン15a,15bのいずれか一つの一方端のみにプローブ30の先端部を接触させるとともに、その配線パターンと隣接パターンに跨る大きさを有するセンサ部20を、それらのパターンから所定距離離間した位置に非接触で位置決めし、それらプローブ30とセンサ部20とを同期させて検査対象基板上を移動させる。そして、例えば、正常時の検出信号レベルと異常時の検出対象レベルの差や、検出信号間のレベル変化の傾向をもとにパターンの短絡等を判断する。
摘要翻译：提供了能够检测导电图案的开路/短路的检查装置和检查方法。探针（30）的前端仅与规则排列的一个导电图案（15a，15b）的一端接触。具有覆盖布线图案和相邻图案的尺寸的传感器单元（20）以与图案预定距离的非接触方式定位。通过使探头（30）和传感器单元（20）同步，探针（30）和传感器单元（20）在要检查的基板上移动。根据例如正常状态下的检测信号电平与异常状态下的检测信号电平之间的差异或检测信号之间的信号变化的趋势来判断图案是否短路。

2. 发明申请

WO2005064354A1 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法审中-公开
标题翻译：电路图案测试装置和电路图案测试方法
公开(公告)号：WO2005064354A1
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：PCT/JP2004/019805
申请日：2004-12-27
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
发明人：山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2801 , G01R31/2805 , G01R31/2806 , G01R31/2812
摘要：確実且つ容易に回路基板の不良を検出できる回路検査装置を提供する。列状に配設された検査対象パターンを検査する際に、検査対象パターン15にパターンと所定距離離間させた状態を保ちつつ検査信号供給電極35と検査信号検出センサ電極25を検査対象パターンを横切るように移動させ、供給電極35から容量結合により検査対象パターン15に供給された検査信号を同じく検査対象パターンと容量結合されたセンサ電極で検出し、検出信号値がある程度の連続した一定値である場合には良品と判断し、急激な検出信号値の変化があった場合には不良と判断する。
摘要翻译：能够准确且容易地检测电路板故障的电路测试装置。在测试排列成一行的图案时，测试信号供给电极（35）和测试信号检测传感器电极（25）以这样的方式移动，使得它们以从其保持的预定距离穿过测试图案（15）。同时，通过与测试图案（15）的电容耦合从供电电极（35）提供的测试信号由也与测试图案电容耦合的传感器电极（25）检测。如果连续检测到的测试信号值在一定程度上是恒定的，则确定没有故障存在。如果连续检测到的测试信号值出现突然变化，则确定存在一些故障。

3. 发明申请

WO2006078057A1 検査装置及び検査方法並びに検査装置用センサ审中-公开
标题翻译：检查装置，检查方法和检查装置传感器
公开(公告)号：WO2006078057A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：PCT/JP2006/301167
申请日：2006-01-19
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
发明人：羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2812 , G01R31/2806
摘要：検査対象が導体である場合に、非接触で検査対象の状態を精度良く検出することのできる検査装置を提供する。交流検査信号が印加され検査対象導体である導体パターン15に所定距離離間して位置決めされ、検査信号を供給する縦長形状の給電センサ板20と、導体パターン15の検査信号検出部位に近接して位置決め可能で導体パターン15よりの検査信号を検出する縦短形状の検出センサ板30とよりなるセンサ板組の複数を互いのセンサ板位置が交互(互い違い)となる位置に位置決めし、同じ導体パターン15に対してそれぞれのセンサ板組で検査を行う。
摘要翻译：提供了一种能够在物体为导电体时以非接触的方式精确地检测检查对象的状态的检查装置。将施加有交流检查信号的垂直长形状的电源传感器板（20）定位在与作为检查对象的导电图案（15）相隔预定距离处，并提供检查信号。垂直短小的检测传感器板（30）可以位于导电图案（15）的检查信号检测部分附近，并检测来自导电图案（15）的检查信号。定位多个电源传感器板（20）和检测传感器板（30），使得不同的传感器板交替定位。相同的导电图案（15）由相应的传感器板组进行检查。

4. 发明申请

WO2006078045A1 回路パターン検査装置およびその方法审中-公开
标题翻译：电路图案检查装置及其方法
公开(公告)号：WO2006078045A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：PCT/JP2006/301077
申请日：2006-01-18
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
发明人：羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2812 , G01R31/025
摘要：基板上の導電パターンのオープン状態を検出可能な回路パターン検査装置およびその方法を提供する。導電パターンの一方端部に検査信号を非接触で供給する給電部12を配し、その導電パターンの他方端部に検査信号を非接触で検知するためのオープンセンサ13を配する。さらに、その導電パターンから数パターン分、離れた距離にある導電パターンに、オープンセンサ13が配されたのと同一側の端に非接触状態でノイズセンサ19を配する。オープンセンサ13が検出した、検査信号とノイズとが混在した信号と、ノイズセンサが検出した、検査信号との混在のないノイズのみの信号を差動増幅器20に入力して、同相成分の信号であるノイズを除去することで、ノイズによる影響を排して、基板上に列状に配設された導電パターンの良否を非接触で確実に検査する。
摘要翻译：提供了一种能够检测基板上的导电图案的打开状态的电路图案检查装置及其方法。用于以非接触方式提供检查信号的电源单元（12）布置在导电图案的一端，并且用于以非接触方式检测检查信号的开放传感器（13）被布置在另一端导电图案的末端。此外，噪声传感器（19）以非接触的方式布置在位于与上述导电图案几个图案的距离处并且在与开放传感器（13）相同侧的端部处的导电图案上。包含检查信号的信号和由开放传感器（13）检测到的噪声和仅包含与噪声传感器检测到的检查信号不混合的噪声的信号被输入到差分放大器（20），其中噪声作为信号的同相分量被去除。因此，可以以非接触的方式可靠地检查在基板上排列成线状的导电图案。

5. 发明申请

WO2006078043A1 回路パターン検査装置およびその方法审中-公开
标题翻译：电路图案检查装置及其方法
公开(公告)号：WO2006078043A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：PCT/JP2006/301075
申请日：2006-01-18
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
发明人：羽森寛 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2829 , G01R31/025 , G01R31/2812
摘要：単一のセンサユニットで導電パターンのオープン/ショートを検出可能な回路パターン検査装置およびその方法を提供する。ガラス基板3上に列状に配設された導電パターン2の良否を非接触で検査する際、検査信号を供給する給電部12と、その信号を検知するためのセンサ13とを近接して配する。かかる構成とすることで、オープン状態のない正常な導電パターン上にセンサ13がある場合と、オープン箇所のある導電パターン上にセンサ13が位置したときとで、そのセンサ13による検査電流の検出レベルに顕著な相違が生じるため、オープン状態の検出を確実に行える。
摘要翻译：提供了一种能够通过单个传感器单元检测导电图案的开路/短路的电路图案检查装置及其方法。为了对在玻璃基板（3）上串联布置的导电图案（2）进行非接触检查，设置用于提供检查信号的电源单元（12）和用于检测信号的传感器（13）在彼此附近。利用该结构，当传感器（13）处于没有打开状态的正常导电图案上时，并且当传感器（13）位于传感器（13）上时，由传感器（13）检测电流的检测水平产生显着的差异导电图案具有打开位置。因此，可以可靠地检测打开状态。

6. 发明申请

WO2004057350A1 回路パターン検査装置及びパターン検査方法审中-公开
标题翻译：电路图形检查仪器和图案检查方法
公开(公告)号：WO2004057350A1
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/JP2003/015289
申请日：2003-11-28
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
发明人：山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2808
摘要： A circuit inspection instrument for detecting a defect of a circuit board reliably and readily. The circuit inspection instrument is used for inspecting the conductive pattern on a circuit board (10). The conductive pattern is composed of two comb-shaped conductive patterns at least the end portions of each of which are arranged like parallel columns and the root portions of each of which are interconnected. An AC inspection signal is supplied to one (15a) of the comb-shaped conducive patterns, and the other (15b) is grounded. The column-arranged conductive portions are interdigitated. The circuit inspection instrument is characterized in that it comprises two sensing means (20, 30) having sensing electrodes for sensing signals from the comb-shaped conductive patterns (15a, 15b) and a scalar robot (80) for moving the sensing means (20, 30) to cause them to traverse the column-arranged patterns while positioning the sensing means (20, 30) so that the sensing means (20, 30) are capacitively coupled to the column-arranged conductive patterns, and in that the column-arranged pattern portions are inspected on the basis of the sensing levels of the sensing means (20, 30).
摘要翻译：一种用于可靠且容易地检测电路板的缺陷的电路检查仪器。电路检查仪器用于检查电路板（10）上的导电图案。导电图案由两个梳状导电图案组成，至少每个的端部排列成平行的列，并且每个的根部分互相连接。一个（15a）的梳状导电图案提供AC检查信号，另一个（15b）接地。列排列的导电部分是交错的。电路检查仪器的特征在于它包括具有用于感测来自梳状导电图案（15a，15b）的信号的感测电极和用于移动感测装置（20）的标量机器人（80）的两个感测装置（20,30），30）使得它们在定位感测装置（20,30）的同时穿过列排列的图案，使得感测装置（20,30）电容耦合到列布置的导电图案，基于感测装置（20,30）的感测电平来检查排列图案部分。

7. 发明申请

WO2004051290A1 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法审中-公开
标题翻译：电路图案检查装置和电路图案检查方法
公开(公告)号：WO2004051290A1
公开(公告)日：2004-06-17
申请号：PCT/JP2003/015290
申请日：2003-11-28
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
发明人：山岡秀嗣 , 羽森寛 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/2806
摘要：確実且つ容易に回路基板の不良を検出できる回路検査装置を提供する。【解決手段】少なくとも端部が列状に配設された検査対象パターンを検査する際に、検査対象パターン15の両端部にパターンと所定距離離間させた状態を保ちつつ検査信号供給電極35と検査信号検出センサ電極25をパターンを横切るように移動させ、供給電極35から容量結合により検査対象パターン15に供給された検査信号を同じく検査対象パターンと容量結合されたセンサ電極で検出し、検出信号値が所定範囲より下がった場合にはパターン断線、検出信号値が所定範囲より大きかった場合にはパターン短絡と判断する。
摘要翻译：提供了能够可靠且容易地检测电路板的缺陷的电路检查装置。如下检查具有至少排成行的端部的检查对象图案。检查信号供给电极（35）和检查信号传感器电极（25）在与检查对象图案（15）的两端保持距离图案的预定距离的同时移动，由此检测提供给通过使用传感器电极与供电电极（35）的电容耦合的检查对象图案（15）也与检查对象图案电容耦合。当检测到的信号值小于预定范围时，判断出发生了图案断开。当检测信号值大于预定范围时，判断出发生了图形短路。

8. 发明申请

WO2005010600A1 液晶表示パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法审中-公开
标题翻译：液晶显示面板检验设备及检查方法
公开(公告)号：WO2005010600A1
公开(公告)日：2005-02-03
申请号：PCT/JP2004/010766
申请日：2004-07-22
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 山岡秀嗣 , 石岡聖悟
发明人：山岡秀嗣 , 石岡聖悟
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G09G3/006 , G02F2001/136254 , G09G3/3648 , G09G2330/12
摘要：液晶表示パネルの製造途中で液量表示パネルの導体パターンの短絡/断線及びセルの検査を簡単かつ簡易な制御で確実に検出することができる検査装置を提供する。液晶表示パネルのマトリクスの各信号ラインの端部にマトリクス形成プロセスを利用してスイッチング素子群を形成し、信号ライン端部毎のスイッチング素子の他方端子を共通信号線で接続し、ラインの一方端部の共通信号線に検査信号出力部に接続して検査信号を供給し、他方端部の共通信号線を電圧測定部230に接続し、検査プローブ先端パッド部511，521をスイッチング素子のゲート端子(導電層)11上部に位置決め走査し、静電結合状態としてゲート信号をスイッチング素子のゲート端子に供給し、両端部のスイッチング素子を導通状態とし、ラインが断線などしていなければ電圧測定部230で正常電圧が測定され、ラインの良否がマトリクス部に完全非接触で検査できる。
摘要翻译：检查设备能够在简单的控制下在制造过程中可靠地检查电池并检测液晶显示面板的导体图案的短路/开路。利用矩阵形成处理，在液晶显示面板的矩阵的各信号线的端部形成开关元件组，信号线的各端部的开关元件的另一端通过公共信号线路的一端部的公共信号线与检查信号输出部连接并馈送检查信号，另一端的公共信号线与电压测量部（230）连接，检查探针在开始扫描之前，前端焊盘部分（511,521）位于开关元件的栅极端子（导电层）（11）的上部，栅极信号被馈送到开关元件的栅极端子的电容耦合状态，并且相对端部的开关元件进入导通状态。如果线路不开路，则在电压测量部（230）处测量正常电压，并且可以在不接触矩阵部分的情况下执行线的Go / NO-GO测试。

9. 发明申请

WO2004072666A1 パターン検査用センサー及び該パターン検査用センサーを用いた検査装置並びに検査方法审中-公开
标题翻译：模式检查传感器和检查设备并使用图案检查传感器检查食物
公开(公告)号：WO2004072666A1
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：PCT/JP2004/001545
申请日：2004-02-13
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 山岡秀嗣 , 白石幹夫 , 石岡聖悟
发明人：山岡秀嗣 , 白石幹夫 , 石岡聖悟
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/312
摘要：検出精度を向上させることができると共に、検出箇所の配置に関する制約を幅に減らすことができるパターン検査用センサーを提供する。検査対象パターン15の検査信号検出位置である接続端子部16に開口部160が配設された接地レベルに維持されるシールドパターン121と、シールドパターン121と絶縁層110を介して少なくとも開口部160内に配設され、開口部160を介して検査対象パターン15の接続端子部16と静電結合された状態である検査信号を検出する検出用電極150と、検出用電極150と接続され検出信号を抽出する接続端子出る同軸ピン30とを備えることを特徴とする。
摘要翻译：一种图案检测传感器，其能够提高检查精度并显着减少对待检查部位的限制。图案检测传感器的特征在于包括屏蔽图案（121），其具有设置在连接端子（16）处的开口（160），在该连接端子处检测待检查的图案（15）的检查信号并保持在地面通过屏蔽图案（121）至少设置在开口（160）中的检测电极（150）和绝缘层（110），以在与图案的连接端子（16）静电耦合的同时检测检查信号（15），以及作为与检测电极（150）连接的连接端子的同轴销（30），以提取检测信号。

10. 发明申请

WO2003019210A1 検査装置用センサ及び検査装置审中-公开
标题翻译：检验仪器和检验仪器传感器
公开(公告)号：WO2003019210A1
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：PCT/JP2002/008599
申请日：2002-08-27
申请人：オー・エイチ・ティー株式会社 , 藤井達久 , 門田和浩 , 笠井幹也 , 石岡聖悟 , 山岡秀嗣
发明人：藤井達久 , 門田和浩 , 笠井幹也 , 石岡聖悟 , 山岡秀嗣
IPC分类号： G01R31/02
CPC分类号： G01R31/312
摘要： A sensor for an inspection instrument for minutely inspecting the shape of a conductor pattern. A sensor element (12a) comprises a MOSFET and an aluminum electrode (AL) as a passive element (80). The aluminum electrode (80), i.e., the passive element (80) is connected to the gate of a MOSFET (81) and the source of a MOSFET (82). A voltage VDD from a power supply circuit part (18) is applied to the drain of the MOSFET (81). The source of the MOSFET (81) is connected to the drain of a MOSFET (83). A reset signal from a column selecting part (14) is inputted to the gate of the MOSFET (82). The voltage VDD from the power supply circuit part (18) is applied to the drain of the MOSFET (82). A selection signal from the column selection part (14) is inputted into the gate of the MOSFET (83), and the output from the source of the MOSFET (83) is inputted into the row selection part (13). An inspection instrument using such a sensor is also disclosed.
摘要翻译：用于检查导体图形形状的检查仪的传感器。传感器元件（12a）包括MOSFET和作为无源元件（80）的铝电极（AL）。铝电极（80）即无源元件（80）连接到MOSFET（81）的栅极和MOSFET（82）的源极。来自电源电路部分（18）的电压VDD被施加到MOSFET（81）的漏极。 MOSFET（81）的源极连接到MOSFET（83）的漏极。来自列选择部分（14）的复位信号被输入到MOSFET（82）的栅极。来自电源电路部分（18）的电压VDD被施加到MOSFET（82）的漏极。来自列选择部分（14）的选择信号被输入到MOSFET（83）的栅极中，并且来自MOSFET（83）的源极的输出被输入到行选择部分（13）。还公开了使用这种传感器的检验仪器。

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