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1. 发明申请

WO2007125068A3 SEAL OF A GUIDE CARRIAGE OF A LINEAR GUIDE 审中-公开
标题翻译：密封线性导轨的引导滑车
公开(公告)号：WO2007125068A3
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/EP2007054059
申请日：2007-04-25
申请人： SCHAEFFLER KG , MOSEBERG RALF , SCHWARZ KERSTIN , HABELITZ THORSTEN
发明人： MOSEBERG RALF , SCHWARZ KERSTIN , HABELITZ THORSTEN
IPC分类号： F16C29/06 , F16C29/08
CPC分类号： F16C29/0635 , F16C29/086 , F16C29/088
摘要： The invention relates to a seal (8) of a guide carriage (3) of a linear guide (1) comprising a stationary guide rail (2) and a guide carriage (3) which partially embraces the guide rail (2), has a U-shaped cross-section, is mounted so as to be longitudinally movable on the guide rail (2), and is formed by a support member (4). Head pieces (5) encompassing front scrapers that contact the contour (13) of the guide rail are disposed on the faces (16, 17) of the support member (4) pointing in the direction of travel. Longitudinal scrapers which act as seals (8) and are fitted with sealing lips (12) that rest against the guide rail (2) are arranged between the guide carriage (3) and the guide rail (2). In order to improve sealing of the guide carriage, the seal (8) is mounted at least in part on lateral external faces (9, 10) of the guide carriage (3) outside the projected clear space of the guide carriage (3), at least one sealing lip (11) of the seal (8) resting against a connecting structure (7) that is joined to the guide rail (2).
摘要翻译：本发明涉及一种密封件（8）的导向滑座（3）的线性引导件（1），具有固定的导轨（2）和该部分封闭的U形的横截面，引导滑架（3）安装在所述导轨（2）纵向移动被可旋转地形成，并且支撑体（4），在面向前的端面（16，17）的头件（5）与导轨轮廓（13）接触端雨刷被布置，其中，所述滑架（3）和导轨（2）之间作为密封件（8）与所述导轨纵向刮水器（2）相邻的密封唇（12）被布置。为了达到设置在导向托架的改进的密封，该密封件（8）上侧的外表面至少部分（9，10）设置在导向滑座（3）的投影光的空间，外附连到导向滑座（3），其中至少一个密封唇（11 ）上与一个所述密封件（8）（与连接到所述连接结构（7）的导轨2）的。

2. 发明申请

WO2007125068A2 DICHTUNG EINES FÜHRUNGSWAGENS EINER LINEARFÜHRUNG 审中-公开
标题翻译：密封线性导轨的引导滑车
公开(公告)号：WO2007125068A2
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/EP2007/054059
申请日：2007-04-25
申请人： SCHAEFFLER KG , MOSEBERG, Ralf , SCHWARZ, Kerstin , HABELITZ, Thorsten
发明人： MOSEBERG, Ralf , SCHWARZ, Kerstin , HABELITZ, Thorsten
CPC分类号： F16C29/088 , F16C29/0645 , F16C29/086
摘要： Die Erfindung betrifft eine Dichtung (8) eines Führungswagens (3) einer Linearführung (1), mit einer festen Führungsschiene (2) und einem diese teilweise umgreifenden, im Querschnitt U-förmigen Führungswagen (3), der an der Führungsschiene (2) längsverschieblich gelagert und von einem Tragkörper (4) gebildet ist, an dessen in Fahrtrichtung weisenden Stirnseiten (16, 17) Kopfstücke (5) mit die Führungsschienenkontur (13) berührenden Frontabstreifern angeordnet sind, wobei zwischen dem Führungswagen (3) und der Führungsschiene (2) als Dichtungen (8) wirkende Längsabstreifer mit an der Führungsschiene (2) anliegenden Dichtlippen (12) angeordnet sind. Um eine verbesserte Abdichtung des Führungswagens zu erreichen ist vorgesehen, dass die Dichtung (8) zumindest teilweise an seitlichen Außenflächen (9, 10) des Führungswagens (3) außerhalb des projizierten Lichtraums des Führungswagens (3) angebracht ist, wobei wenigstens eine Dichtlippe (11) der Dichtung (8) an einer mit der Führungsschiene (2) verbundenen Anschlusskonstruktion (7) anliegt.
摘要翻译：本发明涉及一种密封件（8）的导向滑座（3）的线性引导件（1），具有固定的导轨（2）和该部分封闭的U形的横截面，引导滑架（3）安装在所述导轨（2）纵向移动被可旋转地形成，并且支撑体（4），在面向前的端面（16，17）的头件（5）与导轨轮廓（13）接触端雨刷被布置，其中，所述滑架（3）和导轨（2）之间作为密封件（8）与所述导轨纵向刮水器（2）相邻的密封唇（12）被布置。为了达到设置在导向托架的改进的密封，该密封件（8）上侧的外表面至少部分（9，10）设置在导向滑座（3）的投影光的空间，外附连到导向滑座（3），其中至少一个密封唇（11 ）上与一个所述密封件（8）（与连接到所述连接结构（7）的导轨2）的。

3. 发明申请

WO2007104432A1 VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER DOTIERUNGSDICHTE IN EINER HALBLEITERPROBE 审中-公开
标题翻译：掺杂浓度在半导体样品计算
公开(公告)号：WO2007104432A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/EP2007/001736
申请日：2007-02-28
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
发明人： ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/40
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur Ermittlung einer Dotierstoffdichte an einer Oberfläche und/oder in einem oberflächennahen Schichtbereich einer Halbleiterprobe mit einem Rasterkraftmikroskop, dessen Blattfederspitze unter Ausbildung einer Schottky-Barriere in Kontakt mit der Halbleiterprobe gebracht wird, wobei im Bereich der Schottky-Barriere zwischen der Blattfederspitze und der Halbleiterprobe ein elektrisches Wechselpotential derart angelegt wird, dass eine die räumliche Ausdehnung der Schottky-Barriere bestimmende Raumladungszone innerhalb der Halbleiterprobe bezüglich ihrer räumlichen Ausdehnung zu Schwingungen angeregt wird, die auf die Blattfeder übertragen, detektiert und der Ermittlung der Dotierstoffdichte zugrunde gelegt werden.
摘要翻译：公开了一种用于使用原子力显微镜，其片簧前端被带入与所述半导体样品接触上的表面和/或在邻近的半导体样品的表面区域的层确定的掺杂剂浓度，形成了肖特基势垒，其特征在于，在板簧末端之间的肖特基势垒的区域的方法和半导体样品，交变电位被施加，使得它们的空间范围振动被激励，肖特基势垒确定所述半导体样品内部空间电荷区相对于该传递至板簧的空间范围，被检测和用于杂质的计算。

4. 发明申请

WO2007019913A1 VORRICHTUNG ZUR SCHWINGUNGSANREGUNG EINES EINSEITIG IN EINEM RASTERKRAFTMIKROSKOP BEFESTIGTEN FEDERBALKENS 审中-公开
标题翻译：设备技术的一侧固定弹簧束原子力显微镜振动刺激
公开(公告)号：WO2007019913A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/EP2006/006382
申请日：2006-06-30
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
发明人： ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q60/38
摘要： Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Schwingungsanregung einer einseitig in einem Rasterkraftmikroskop (RKM) befestigten und aus Halbleitermaterial, das über keine piezoelektrischen Eigenschaften verfügt, bestehenden Blattfeder, an deren freien Ende eine Spitze angebracht ist, die in Kontakt mit einer zu untersuchenden Probenoberfläche bringbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Blattfeder zumindest abschnittweise mit einer Metallschicht unter Ausbildung eines Schottky-Kontaktes verbunden ist, und dass eine elektrische Spannungs- oder Feldquelle vorgesehen ist, die im Bereich des Schottky-Kontaktes eine elektrische Wechselspannung erzeugt.
摘要翻译：用于原子力显微镜片面的振动激励（AFM）的装置被描述固定并在其自由端，尖端附接可以与被接触到被检查试样表面由半导体材料制成，不具有压电特性，现有的板簧，的。本发明的特征在于，所述板簧是至少部分地连接到形成肖特基接触的金属层，并且提供了一种电电压或场源，其产生在所述肖特基接触的面积的电交流电压。

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