会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明申请
    • VAKUUMVORRICHTUNG
    • 真空装置
    • WO2005019745A1
    • 2005-03-03
    • PCT/EP2004/007764
    • 2004-07-14
    • LEYBOLD VAKUUM GMBHSCHILLER, DirkSCHNACKE, ErnstDIETZ, Holger
    • SCHILLER, DirkSCHNACKE, ErnstDIETZ, Holger
    • F25B9/14
    • B01D8/00F04B37/08F25B9/14F25B2309/002F25B2309/1428F25B2400/075F25B2600/2523F25B2700/1931F25B2700/1933
    • Eine Vakuumvorrichtung weist mehrere Kryopumpen (10), insbesondere mehrere parallel geschaltete Kryopumpen auf. Ferner ist mindestens eine Kompressoreinrichtung (16) vorgesehen, die über Medium-Zuführleitungen (12) mit den Kryopumpen (10) verbunden ist. Eine Medium-Rückführleitung (14) ist ebenfalls mit der Kompressoreinrichtung (16) und den Kryopumpen (10) verbunden. Zwischen der Medium-Zuführleitung (12) und der Medium-Rückführleitung (14) ist ein Speicherbehälter (20) für Medium angeordnet. Ferner ist in der Medium-Zuführleitung eine Druckmessvorrichtung (30) vor-gesehen. Diese ist über eine Steuervorrichtung (32) mit einem Zuführventil (26) verbunden. Um die an den Kryopumpen (10) anliegende Druckdifferenz möglichst konstant zu halten, wird beim Überschreiten eines Schwellenwertes des Drucks in der Medium-Zuführleitung (12) das Zuführventil (26) geöffnet, so dass Medium in den Speicherbehälter (20) strömt.
    • 一种真空装置具有多个低温泵(10),特别是多个平行的低温泵。 另外,至少设置与(10)被连接在低温泵的介质供应(12)的压缩机装置(16)。 的介质返回管线(14)还连接到所述压缩机装置(16)和低温泵(10)。 介质供给线(12)和介质回流管道(14)之间是布置在存储容器(20),用于平台。 此外,在介质供应管线的压力测量装置(30)被认为是在前置式。 这是通过一个控制装置(32)与供给阀(26)相连接。 为了保持低温泵(10)施加的压力差尽可能恒定,超出在介质供给管道(12),使得在储存罐介质(20)中流动的压力的阈值时将打开供给阀(26)。