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1. 发明申请

WO2007006577A1 OPTICAL ELEMENT 审中-公开
标题翻译：光学元件
公开(公告)号：WO2007006577A1
公开(公告)日：2007-01-18
申请号：PCT/EP2006/006874
申请日：2006-07-13
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RAU, Johannes , SCHOEPPACH, Armin , GEUPPERT, Bernhard
发明人： RAU, Johannes , SCHOEPPACH, Armin , GEUPPERT, Bernhard
IPC分类号： G02B7/02 , F16F7/00
CPC分类号： G02B7/001 , F16F7/01 , F16F7/108 , G02B7/02 , G02B27/646 , G03F7/70825 , G03F7/709
摘要： An optical element has at least one additional element fitted thereon which dissipates the vibrational energy of the optical element by friction.
摘要翻译：光学元件具有安装在其上的至少一个附加元件，其通过摩擦消散光学元件的振动能。

2. 发明申请

WO2005017622A1 VORRICHTUNG ZUR LAGERUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTES, INSBESONDERE EINER LINSE IN EINEM OBJEKTIV 审中-公开
标题翻译：装置用于光学存储元件，尤其是在镜片的镜片
公开(公告)号：WO2005017622A1
公开(公告)日：2005-02-24
申请号：PCT/EP2003/007746
申请日：2003-07-17
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RAU, Johannes
发明人： RAU, Johannes
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70825 , G02B7/02 , G02B7/182
摘要： Bei einer Vorrichtung zur Lagerung einer Linse (12) oder eines Spiegels in einem Objektiv, insbesondere einem Projektionsobjektiv (7) der Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen, ist die Linse (12) bzw. der Spiegel direkt oder über ein Zwischenelement mittels mehrerer Auflageelemente mit einer Fassung (13) verbunden. An der Linse (12) bzw. dem Spiegel oder dem Zwischenelement sind mehrere Auflagestellen (15) vorgesehen. Jede Auflagestelle (15) ist über Verbindungspunkte (16) jeweils mit einem Ende eines Waagbalkens (17) einer ersten Serie von Waagbalken verbunden. Die erste Serie von Waagbalken (17) ist so angeordnet, dass sich zur Befestigung an der Fassung (13) wenigstens drei Anlenkpunkte (14) ergeben.
摘要翻译：在用于通过用若干支撑元件的装置直接或支撑透镜（12）或在透镜的反射镜，特别是微光刻的投射物镜（7）用于生产半导体元件，所述透镜（12）或反射镜的通过中间元件的装置插座（13）。到所述透镜（12）或所述反射镜或所述中间构件，多个支承点（15）。经由连接点（16）各自与Waagbalkens（17）的第一系列连接的平衡梁的一个端部的每个支撑位置（15）。所述第一组平衡臂（17）的被布置为使得用于附接到所述安装（13），其形式至少三个连接点（14）。

3. 发明申请

WO2008049574A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERBINDEN EINES OPTISCHEN ELEMENTES MIT EINER FASSUNG 审中-公开
标题翻译：方法和装置用于连接光学元件都具有修正
公开(公告)号：WO2008049574A2
公开(公告)日：2008-05-02
申请号：PCT/EP2007/009177
申请日：2007-10-23
申请人： CARL ZEISS SMT AG , SCHÖPPACH, Armin , RAU, Johannes , FEDOSENKO, Gennady , GORKHOVER, Leonid , KLOSE, Gerhard , WIESNER, Stefan , TREFZ, Hans-Joachim , WIDMANN, Michael , BINGEL, Ulrich , EKSTEIN, Claudia , ALBRECHT, Günter
发明人： SCHÖPPACH, Armin , RAU, Johannes , FEDOSENKO, Gennady , GORKHOVER, Leonid , KLOSE, Gerhard , WIESNER, Stefan , TREFZ, Hans-Joachim , WIDMANN, Michael , BINGEL, Ulrich , EKSTEIN, Claudia , ALBRECHT, Günter
IPC分类号： C03C27/04 , G02B7/02 , G03F7/20 , B23K1/005
CPC分类号： B23K1/0056 , B23K1/0008 , G02B7/02 , G02B7/025 , G03F7/70825 , Y10T156/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Stoffschlüssigen Verbinden eines optischen Elementes (1) mit einer Fassung (2) an mindestens einer Verbindungsstelle (7). Dabei werden das optische Element (1) und die Fassung (2) vor dem Verbinden zum Vermeiden von Relativbewegungen während des Verbindens zueinander mittels eines Auflageelementes (3) positioniert, das als Teil der Fassung (2) ausgebildet ist. Alternativ oder zusätzlich kann zuerst auf das optische Element (1) eine metallische Schicht aufgebracht werden, die mit der Fassung (2) stoffschlüssig verbunden wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于光学元件（1）的与插座锁合连接的方法和设备（2）的至少一个连接点（7）。在这种情况下，所述光学元件（1）和插座（2）之前将结合到由一个支撑元件（3）被定位，其被形成为插座（2）的一部分的方式彼此粘合期间避免相对运动。可替换地或附加地，金属层可以被第一光学元件（1），其一体地连接到所述插座（2）上施加的。

4. 发明申请

WO2008023012A1 BAUGRUPPE, OPTISCHES SYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BAUGRUPPE 审中-公开
标题翻译：组件，用于制造光学组件的系统和方法
公开(公告)号：WO2008023012A1
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：PCT/EP2007/058666
申请日：2007-08-21
申请人： Carl Zeiss SMT AG , RAU, Johannes
发明人： RAU, Johannes
IPC分类号： G02B7/02
CPC分类号： G02B7/025 , G02B7/028
摘要： Eine optische Baugruppe umfasst wenigstens ein optisches Element (1), beispielsweise eine Linse, und eine Fassung (2), wobei das optische Element (1) wenigstens über eine Klebeverbindung (3) mit der Fassung (2) verbunden ist. Für die Klebeverbindung (3) wird ein weichelastischer Klebstoff verwendet, der dünnschichtig in einem Klebespalt zwischen dem optischen Element (1) und der Fassung (2) angeordnet wird. Die Dicke der Klebstoffschicht (3) im Klebespalt beträgt vorzugsweise höchstens 0,5 mm, insbesondere höchstens 0,1 mm, insbesondere höchstens 0,01 mm. Durch die dünne, jedoch großflächige Annordnung des Klebstoffs (3) zwischen dem optischen Element (1) und der Fassung (2) wird ein großes Verhältnis der Steifigkeit senkrecht zur Klebefläche und der Steifigkeit parallel zur Klebefläche erreicht. Damit wird einerseits eine hohe Steifigkeit senkrecht zur Klebeschicht, andererseits eine gewisse Verschiebbarkeit der Linse (1) gegenüber der Fassung (2) in Richtung parallel zur Klebeschicht gewährleistet, um Deformationen der Linse zu verhindern. Ein optisches System umfasst eine oder mehrere der genannten Baugruppen. Ein Verfahren zur Herstellung einer Baugruppe umfasst die Schritte: Bereitstellung eines optischen Elements (1); Bereitstellung einer Fassung (2); und dünnschichtige Anordnung eines weichelastischen Klebstoffs (3) in einem Spalt zwischen dem optischen Element (1) und der Fassung (2) zur Verbindung des optischen Elements (1) mit der Fassung (2).
摘要翻译：一种光学组件，包括至少一个光学元件（1），诸如透镜，和一个插座（2），其中所述光学元件（1）至少经由粘合剂化合物（3）与（2）被连接在插座上。软弹性粘合剂被用于粘合剂化合物（3），其在所述光学元件（1）和插座之间的接合间隙布置在薄层（2）。在粘合剂间隙的粘合剂层（3）的厚度优选为至多0.5mm，尤其是至多0.1毫米，尤其是至多0.01毫米。薄，但大Annordnung粘合剂（3）的刚度大的比率在垂直于粘合表面和平行的刚度到接合表面上的光学元件（1）之间和插座来实现（2）。因此，高刚性，透镜（1）相对于插座（2），一方面垂直于所述粘合层的一定的位移，另一方面在平行于粘合剂层中的方向确保以防止透镜的变形。一种光学系统，包括一个或多个所述组件。一种用于制造组件，其包括如下步骤：提供光学元件（1）; 提供了一个插座（2）; 和在所述光学元件（1）和插座（2），用于与插座（2）所述光学元件（1）的连接之间的间隙的软弹性粘合剂（3）的薄膜的布置。

5. 发明申请

WO2006037651A1 OPTICAL PROJECTION SYSTEM 审中-公开
标题翻译：光学投影系统
公开(公告)号：WO2006037651A1
公开(公告)日：2006-04-13
申请号：PCT/EP2005/010819
申请日：2005-10-01
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RAU, Johannes , SCHÖPPACH, Armin , GELLRICH, Bernhard , KUGLER, Jens , MAHLMANN, Martin , GEUPPERT, Bernhard , PETASCH, Thomas , FÜRTER, Gerhard
发明人： RAU, Johannes , SCHÖPPACH, Armin , GELLRICH, Bernhard , KUGLER, Jens , MAHLMANN, Martin , GEUPPERT, Bernhard , PETASCH, Thomas , FÜRTER, Gerhard
IPC分类号： G02B7/00 , G03F7/20 , G02B17/08
CPC分类号： G03F7/7015 , G02B7/00 , G02B7/008 , G02B7/021 , G02B7/028 , G02B7/22 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70808 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/70883
摘要： An optical projection unit comprising a first optical element module and at least one second optical element module is provided. The first optical element module comprises a first housing unit and at least a first optical element, the first optical element being received within the first housing unit and having an optically used first region defining a first optical axis. The at least one second optical element module is located adjacent to the first optical element module and comprises at least one second optical element, the second optical element defining a second optical axis of the optical projection unit. The first housing unit has a central first housing axis and an outer wall extending in a circumferential direction about the first housing axis. The first optical axis is at least one of laterally offset and inclined with respect to the first housing axis. Furthermore, the first housing axis is substantially collinear with the second optical axis.
摘要翻译：提供了包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块的光学投影单元。第一光学元件模块包括第一壳体单元和至少第一光学元件，第一光学元件被接收在第一壳体单元内并且具有限定第一光轴的光学使用的第一区域。所述至少一个第二光学元件模块位于与所述第一光学元件模块相邻并且包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定所述光学投影单元的第二光轴。第一壳体单元具有中心的第一壳体轴线和围绕第一壳体轴线在圆周方向上延伸的外壁。第一光轴是相对于第一壳体轴线的横向偏移和倾斜中的至少一个。此外，第一壳体轴线与第二光轴基本共线。

6. 发明申请

WO2008049574A3 METHOD AND APPARATUS FOR CONNECTING AN OPTICAL ELEMENT TO A MOUNT 审中-公开
标题翻译：用于连接具有一种版本的光学元件的方法和设备
公开(公告)号：WO2008049574A3
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：PCT/EP2007009177
申请日：2007-10-23
申请人： ZEISS CARL SMT AG , SCHOEPPACH ARMIN , RAU JOHANNES , FEDOSENKO GENNADY , GORKHOVER LEONID , KLOSE GERHARD , WIESNER STEFAN , TREFZ HANS-JOACHIM , WIDMANN MICHAEL , BINGEL ULRICH , EKSTEIN CLAUDIA , ALBRECHT GUENTER
发明人： SCHOEPPACH ARMIN , RAU JOHANNES , FEDOSENKO GENNADY , GORKHOVER LEONID , KLOSE GERHARD , WIESNER STEFAN , TREFZ HANS-JOACHIM , WIDMANN MICHAEL , BINGEL ULRICH , EKSTEIN CLAUDIA , ALBRECHT GUENTER
IPC分类号： C03C27/04 , B23K1/005 , G02B7/02 , G03F7/20
CPC分类号： B23K1/0056 , B23K1/0008 , G02B7/02 , G02B7/025 , G03F7/70825 , Y10T156/10
摘要： The invention relates to a method and an apparatus for connecting an optical element (1) to a mount (2) at at least one connecting point (7) in an integral manner. Here, the optical element (1) and the mount (2) are positioned prior to connection so as to avoid relative movements during the connection to one another using a contact element (3) which is designed as part of the mount (2). As an alternative or in addition, it is possible for a metallic coating which is integrally connected to the mount (2) first to be applied to the optical element (1).
摘要翻译：本发明涉及一种用于在至少一个连接点（7）处将光学元件（1）材料连接到保持器（2）的方法和装置。在这种情况下，所述光学元件（1）和插座（2）之前将结合到由一个支撑元件（3）被定位，其被形成为插座（2）的一部分的方式彼此粘合期间避免相对运动。可替换地或附加地，首先，可以将金属层施加到以材料锁定方式连接到插座（2）的光学元件（1）。

7. 发明申请

WO2007031412A1 OPTICAL ELEMENT UNIT 审中-公开
标题翻译：光学元件
公开(公告)号：WO2007031412A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：PCT/EP2006/065891
申请日：2006-08-31
申请人： CARL ZEIZZ SMT AG , SCHÖPPACH, Armin , RAU, Johannes
发明人： SCHÖPPACH, Armin , RAU, Johannes
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/02
CPC分类号： G02B7/02 , G03F7/70825 , G03F7/709 , G03F7/7095
摘要： Optical element unit comprising an optical element (8) and an optical element holder (11). The optical element holder comprises a holding element (12) and a plurality of first coupling elements (13), the holding element is holding the optical element and is made of a ceramic material. The first coupling elements are attached to the holding element and contacting the optical element. The first coupling elements provide deformation decoupling between the holding element and the optical element.
摘要翻译：光学元件单元包括光学元件（8）和光学元件保持器（11）。光学元件保持器包括保持元件（12）和多个第一耦合元件（13），保持元件保持光学元件并由陶瓷材料制成。第一耦合元件附接到保持元件并接触光学元件。第一耦合元件提供保持元件和光学元件之间的变形去耦。

8. 发明申请

WO2004019104A1 VORRICHTUNG ZUR AUFNAHME EINER OPTISCHEN BAUGRUPPE IN EINER ABBILDUNGSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：装置可用来记录光学组件在图片设置
公开(公告)号：WO2004019104A1
公开(公告)日：2004-03-04
申请号：PCT/EP2003/007257
申请日：2003-07-07
申请人： CARL ZEISS SMT AG , RAU, JOHANNES , SCHOEPPACH, Armin , GEUPPERT, Bernhard
发明人： RAU, JOHANNES , SCHOEPPACH, Armin , GEUPPERT, Bernhard
IPC分类号： G02B7/02
CPC分类号： G03F7/70833 , G02B7/021 , G02B13/143 , G03F7/70825
摘要： Eine Vorrichtung dient zur Aufnahme einer optischen Baugruppe (12) in einer mehrere optische Baugruppen umfassenden Abbildungseinrichtung (7,7'). Insbesondere dient die Vorrichtung zur Aufnahme einer Linsengruppe in einem Objektiv. Die optische Baugruppe (12) ist über wenigstens ein Entkopplungselement (14,14',16) in wenigstens einem Bereich in einer Tragstruktur (13) aufgehängt. Das wenigstens eine Entkopplungselement (14,14',16) ist in dem wenigstens einen Bereich in seiner resultierenden Wirkung eine mögliche Bewegung in wenigstens einer geeigneten von drei orthogonalen Raumrichtungen hinsichtlich Rotation oder Translation behindert ist, sodass zumindest eine statisch bestimmte Lagerung entsteht.
摘要翻译：使用一种设备，以适应多个包含成像装置（7,7“）的光学组件的光学组件（12）。特别地，该装置中所使用的透镜保持的透镜组。所述光学组件（12）经由至少一个脱扣元件（14,14”，16）在至少一个区域中的支撑结构（13）悬挂。在至少至少一个合适的在空间的三个正交方向相对于旋转受阻或翻译的可能的运动的其产生的效果的至少一个脱扣元件（14,14”，16）在所述一个区域中，从而形成至少一个静态定义的轴承。

9. 发明申请

WO03012548A3 SYSTEM FOR MEASURING AN OPTICAL SYSTEM, ESPECIALLY AN OBJECTIVE 审中-公开
标题翻译：测量系统的光学系统，尤其是目标
公开(公告)号：WO03012548A3
公开(公告)日：2003-04-17
申请号：PCT/EP0208111
申请日：2002-07-20
申请人： ZEISS CARL SEMICONDUCTOR MFG , KOHL ALEXANDER , HOLDERER HUBERT , LANG WERNER , BRANDENBURG HARTMUT , RAU JOHANNES , GELLRICH BERNHARD , SCHOEPPACH ARMIN
发明人： KOHL ALEXANDER , HOLDERER HUBERT , LANG WERNER , BRANDENBURG HARTMUT , RAU JOHANNES , GELLRICH BERNHARD , SCHOEPPACH ARMIN
IPC分类号： G01B11/26 , G01B21/00 , G01B21/22 , G01M11/00 , G02B27/62 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70591 , G02B27/62 , G03F7/70258
摘要： A system for measuring an optical system, especially an objective, is provided with a measuring machine having at least one measuring element for determining positions and at least one measuring element for determining angles, whereby at least one common reference surface is provided for the position-determining measuring element and for the angle-determining measuring element.
摘要翻译：一种用于测量光学系统，特别是透镜上设置有测量机系统，其具有用于本地规则中的至少一个测量元件和用于角确定至少一个测量元件，其特征在于，一个共同的参考表面提供了一种用于位置确定测量元件和至少所述角度确定测量元件。

10. 发明申请

WO2003012548A2 SYSTEM ZUM VERMESSEN EINES OPTISCHEN SYSTEMS, INSBESONDERE EINES OBJEKTIVES 审中-公开
标题翻译：测量光学系统的系统，特别是一个目标
公开(公告)号：WO2003012548A2
公开(公告)日：2003-02-13
申请号：PCT/EP2002/008111
申请日：2002-07-20
申请人： CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG , KOHL, Alexander , HOLDERER, Hubert , LANG, Werner , BRANDENBURG, Hartmut , RAU, Johannes , GELLRICH, Bernhard , SCHOEPPACH, Armin
发明人： KOHL, Alexander , HOLDERER, Hubert , LANG, Werner , BRANDENBURG, Hartmut , RAU, Johannes , GELLRICH, Bernhard , SCHOEPPACH, Armin
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70591 , G02B27/62 , G03F7/70258
摘要： Ein System zum Vermessen eines optischen Systems, insbesondere eines Objektives, ist mit einer Messmaschine versehen, die wenigstens ein Messglied für Ortsbestimmungen und wenigstens ein Messglied für Winkelbestimmungen aufweist, wobei für das ortsbestimmende Messglied und das winkelbestimmende Messglied wenigstens eine gemeinsame Referenzfläche vorgesehen ist.
摘要翻译：
一种用于测量光学系统，特别是透镜，设置有测量机系统，用于具有导航使用R角的确定，其中，f导航使用所述至少一个测量元件; R确定的位置和用于导航使用至少一个测量元件R的位置确定测量元件和角度确定测量元件提供至少一个公共参考表面。

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