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1. 发明申请

WO2008119704A1 PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL MIT SICHERHEITSSCHICHT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：随着对安全层和方法压电元件
公开(公告)号：WO2008119704A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/EP2008/053550
申请日：2008-03-26
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , KASTL, Harald, Johannes , SCHUH, Carsten
发明人： KASTL, Harald, Johannes , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/083
CPC分类号： F02M63/0026 , H01L41/0533 , H01L41/0838 , H01L41/23 , Y10T29/42
摘要： Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Bauteil mit einem monolithischen Stapel, aufweisend abwechselnd übereinander angeordnete Piezokeramikschichten und Elektrodenschichten, mindestens eine im Stapel angeordnete poröse Sicherheitsschicht zur Bildung eines Risses bei mechanischer Überlastung des Stapels, mindestens eine an einem seitlichen Oberflächenabschnitt angeordnete Außenelektrode zur elektrischen Kontaktierung der Elektrodenschichten und eine Kunststoffummantelung des Stapels zum Schutz des Stapels, wobei die Kunststoffummantelung Silikon aufweist. Das piezoelektrische Bauteil ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Außenelektrode und der Kunststoffummantelung eine Beschichtung der Außenelektrode mit silikonfreiem Polymer angeordnet ist. Neben dem Bauteil wird ein Verfahren zum Herstellen des Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen eines monolithischen Stapels mit abwechselnd übereinander angeordneten Elektrodenschichten und Piezokeramikschichten, mindestens einer im Stapel angeordneten porösen Sicherheitsschicht zur Bildung eines Risses bei mechanischer Überlastung des Stapels, und eine an einem seitlichen Oberflächenabschnitt des Stapels angebrachten Außenelektrode, b) Anordnen einer Beschichtung aus Silikon-freiem Polymer auf der Außenelektrode und c) Anordnen der Kunststoffummantelung auf der Beschichtung. Ein Bestandteil der Außenelektrode ist eine am Oberflächenabschnitt angebrachte Metallisierung. Durch die Beschichtung der Metallisierung der Außenelektrode wird der Bereich der Sicherheitsschicht, der sich unmittelbar unter der Metallisierung befindet, vor Einlagerung von Silikonbestandteilen geschützt. Verwendung findet das piezoelektrische Bauteil bei der Ansteuerung von Ventilen, insbesondere von Einspritzventilen von Brennkraftmaschinen.
摘要翻译：本发明涉及一种具有单片堆叠的压电部件，其包括交替层叠的压电陶瓷层和电极层，至少一个在所述堆的机械过载，至少一个设置在所述外部电极的侧面部分，用于电接触所述电极层和的情况下，布置在用于裂纹形成的桩多孔安全层堆栈，以保护堆叠的塑料护套，该塑料涂层包含硅酮。压电元件的特征在于，所述外电极的涂层被布置成与所述外电极和所述塑料护套之间无硅聚合物。除部件，提供了一种用于制造部件的方法，包括以下步骤：a）提供具有交替层叠的电极层和压电陶瓷层，所述堆叠中的机械过载的情况下形成的裂纹的层叠多孔安全层中的至少一个，并且在一个单片堆叠堆的侧面部安装外电极，b）将在所述外电极不含硅氧烷的聚合物的涂层，和c）将在涂层上的塑料涂层。外电极的一部分被安装在金属化的表面部分。外部电极的金属化的涂层，所述安全层的面积，位于紧接在以下的金属化免受包含有机硅组分的。使用发现的压电装置中的阀的控制，特别是内燃机的喷射阀。

2. 发明申请

WO2008047460A1 PIEZOELECTRIC ACTUATOR UNIT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 审中-公开
标题翻译：压电致动器单元及其制造方法
公开(公告)号：WO2008047460A1
公开(公告)日：2008-04-24
申请号：PCT/JP2006/321442
申请日：2006-10-20
申请人： KYOCERA CORPORATION , SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , SAKAMOTO, Takami , INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald-Johannes , SCHUH, Carsten , DOELLGAST, Bernhard , OCHI, Atsushi
发明人： SAKAMOTO, Takami , INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald-Johannes , SCHUH, Carsten , DOELLGAST, Bernhard , OCHI, Atsushi
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/24
CPC分类号： H01L41/0838 , H01L41/273 , Y10T29/42
摘要： A piezoelectric actuator unit which undergoes less change in the amount of displacement and shows high durability in continuous operation under a high voltage and a high pressure over a long period of time is provided. The piezoelectric actuator unit including a multi-layer piezoelectric element (1) having piezoelectric layers (5) and metal layers (7, 7a, 7b) with the piezoelectric layers and the metal layers being stacked one on another, and a case (3) which houses the multi-layer piezoelectric element, wherein at least one of the plurality of metal layers is stress relieving layer which consists of a plurality of partial metal layers that are scattered throughout the entire region between two piezoelectric layers which adjoin the partial metal layers in the direction of stacking, and voids, and a peel-off section is formed at least in a part of the interface between the stress relieving layer and the piezoelectric layer that adjoins therewith.
摘要翻译：提供了一种压电致动器单元，其在较高的电压和高压下长时间地进行位移量的变化较小并且连续运行时的耐久性较高。压电致动器单元包括具有压电层（5）和压电层和金属层彼此层叠的金属层（7,7a，7b）的层叠型压电元件（1）和壳体（3）其中容纳多层压电元件，其中多个金属层中的至少一个是应力消除层，该应力消除层由多个部分金属层组成，所述多个部分金属层在与所述部分金属层相邻的两个压电层之间的整个区域中散布至少在与其相邻的应力消除层和压电层之间的界面的至少一部分中形成层叠方向和空隙以及剥离部分。

3. 发明申请

WO2008037667A1 PIEZOMEHRSCHICHTAKTOR ZUM ANTRIEB EINES ELEKTROMECHANISCHEN MOTORS 审中-公开
标题翻译：压电致动器的多层用于驱动机电电机
公开(公告)号：WO2008037667A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/EP2007/060054
申请日：2007-09-21
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , DIETZ, Armin , GOTTLIEB, Bernhard , KAPPEL, Andreas , KASTL, Harald Johannes , KELLER, Roland , LENK, Andreas , SCHUH, Carsten
发明人： DIETZ, Armin , GOTTLIEB, Bernhard , KAPPEL, Andreas , KASTL, Harald Johannes , KELLER, Roland , LENK, Andreas , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/083
CPC分类号： H02N2/105 , H01L41/083
摘要： Piezomehrschichtaktor zum Antrieb eines elektromechanischen Motors Piezomehrschichtaktor zum Antrieb eines elektromechanischen Motors, bei dem eine angetriebene Welle von einem in Achslängsrichtung betrachtet im Querschnitt innen runden, an die Welle angepassten Ring umgeben ist, zwei Kraftrichtungen auf jeweils zwei benachbarten Außenflächen definiert sind, die durch den Mittelpunkt des Innenringes verlaufen und entlang jeder der Kraftlinien mindestens ein Piezomehrschichtaktor kraftschlüssig an jeweils einer Ringaußenseite ansetzt, wobei der Piezomehrschichtaktor einen lang gestreckten recht- eckigen Querschnitt aufweist und jeweils symmetrisch zu einer Kraftrichtung positioniert ist.
摘要翻译：压电多层致动器，用于驱动机电马达压电多层致动器，用于驱动机电马达，其中的一个在圆形横截面内的轴向的纵向方向观察的从动轴，适于将所述轴环围绕，两个力方向定义在每两个相邻的外表面上通过中心延伸的内环和至少一个压电致动器叠层沿每个的力正线的高度在相应的外环表面，其中具有细长的矩形横截面，并且所述压电致动器叠层被对称地定位到的力的方向。

4. 发明申请

WO2008017655A1 PIEZOCERAMIC MULTILAYER ACTUATOR WITH HIGH RELIABILITY 审中-公开
标题翻译：具有高可靠性的PIEZOCERAMIC MULTILERER执行器
公开(公告)号：WO2008017655A1
公开(公告)日：2008-02-14
申请号：PCT/EP2007/058131
申请日：2007-08-06
申请人： SIEMENS VDO AUTOMOTIVE AG , SIEMENS VDO AUTOMOTIVE K.K. , KYOCERA CORPORATION , DÖLLGAST, Bernhard , INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald Johannes , OCHI, Atsushi , SAKAMOTO, Takami , SCHUH, Carsten
发明人： DÖLLGAST, Bernhard , INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald Johannes , OCHI, Atsushi , SAKAMOTO, Takami , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/083
CPC分类号： H01L41/273 , H01L41/0838
摘要： A piezoceramic multilayer actuator comprises a first sub- stack (12, 14, 16) comprising a plurality of piezoceramic layers (22) and at least one internal electrode (24, 26), the piezoceramic layers (22) and the at least one internal electrode (24, 26) being laminated in an alternating manner, a second sub-stack (12, 14, 16) comprising a plurality of piezoceramic layers (22) and at least one internal electrode (24, 26), the piezoceramic layers (22) and the at least one internal electrode (24, 26) being laminated in an alternating manner, and a connection layer (40) arranged between the first sub-stack (12, 14, 16) and the second sub-stack (12, 14, 16), wherein the connection layer (40) is set up by a multitude of single connection points or connection lines (44) or other connection regions.
摘要翻译：压电陶瓷多层致动器包括包括多个压电陶瓷层（22）和至少一个内部电极（24,26）的第一子堆叠（12,14,16），所述压电陶瓷层（22）和所述至少一个内部电极（24,26）以交替的方式层压，包括多个压电陶瓷层（22）和至少一个内部电极（24,26）的第二子堆叠（12,14,16），所述压电陶瓷层 22）和所述至少一个内部电极（24,26）以交替方式层叠，以及布置在所述第一子堆叠（12,14）和所述第二子堆叠（12）之间的连接层（40），14,16），其中所述连接层（40）由多个单个连接点或连接线（44）或其它连接区域设置。

5. 发明申请

WO2006111206A1 PIEZOAKTOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：压电作动器及其制造方法
公开(公告)号：WO2006111206A1
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：PCT/EP2005/052522
申请日：2005-06-02
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ADAM, Marko , HEINEK, Andreas , KASTL, Harald, Johannes , LEMM, Jörn , LENK, Andreas , OPPERMANN, Martin , SCHOLZ, David , SCHUH, Carsten , ZERNA, Thomas
发明人： ADAM, Marko , HEINEK, Andreas , KASTL, Harald, Johannes , LEMM, Jörn , LENK, Andreas , OPPERMANN, Martin , SCHOLZ, David , SCHUH, Carsten , ZERNA, Thomas
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/083
CPC分类号： H01L41/0475 , H01L41/083
摘要： Ein Piezoaktor umfasst eine Mehrzahl von piezoelektrischen Schichten (20), die in einem Stapel angeordnet sind, mindestens eine Außenelektrode (26), die an einer Seitenfläche (12) des Stapels angeordnet ist, und eine Mehrzahl von Innenelektroden (22), die jeweils an mindestens einer piezoelektrischen Schicht (20) angeordnet und mit der mindestens einen Außenelektrode (26) elektrisch leitfähig verbunden sind. Die Drahtbrücke (40) ist an mindestens zwei Stellen (42, 44) mit der mindestens einen Außenelektrode (26) elektrisch leitfähig verbunden.
摘要翻译：一种压电致动器包括多个在叠层的侧表面（12），其布置成堆叠的压电层（20），至少一个外部电极（26）的设置，和多个内部电极（22），每个对至少一个压电层（20）和导电连接到所述至少一个外部电极（26）。线桥（40）是在至少两个位置（42，44）导电地连接到所述至少一个外部电极（26）。

6. 发明申请

WO2006000479A1 PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL MIT SOLLBRUCHSTELLE, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DES BAUTEILS UND VERWENDUNG DES BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：使用间隔点，用于生产组件的组件，并使用压电元件
公开(公告)号：WO2006000479A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/EP2005/051541
申请日：2005-04-07
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , KASTL, Harald Johannes , SCHUH, Carsten
发明人： KASTL, Harald Johannes , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/047
CPC分类号： H01L41/0471 , H01L41/0838 , H01L41/273
摘要： Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Bauteil (1) mit mindestens einem monolithischen Piezoelement (10), aufweisend eine Elektrodenschicht (101), mindestens eine weitere Elektrodenschicht (102), mindestens eine zwischen den Elektrodenschichten angeordnete Piezokeramikschicht (103) und mindestens eine Sollbruchstelle (100), die bei mechanischer Überlastung des Piezoelements zur Bildung eines bestimmten Risses (110) im monolithischen Piezoelement führt, wobei die Sollbruchstelle die Elektrodenschicht aufweist. Das Bauteil ist beispielsweise ein piezoelektrischer Aktor mit einem monolithischen Aktorkörper (2), bei dem Piezoelemente mit Sollbruchstellen und weitere Piezoelemente (11) ohne Sollbruchstellen übereinander angeordnet und gemeinsam gesintert sind. Mit Hilfe der Sollbruchstellen im Aktorkörper gelingt es, Rissbildung und Risswachstum zu kontrollieren und zu begrenzen. Es resultiert ein im Vergleich zum Stand der Technik zuverlässigeres Bauteil. Dadurch, dass die Sollbruchstellen unter Einbindung der Elektrodenschichten realisiert werden, steht ein piezoelektrisches Bauteil mit einem maximal möglichen piezoelektrisch aktiven Volumen zur Verfügung. Verwendung findet das piezoelektrische Bauteil in der Automobiltechnik zum Ansteuern eines Einspritzventils einer Brennkraftmaschine.
摘要翻译：本发明涉及与至少一个整体式压电元件（10）包括电极层（101），（100）的至少一个另外的电极层（102），至少一个被布置在电极层压电陶瓷层（103）之间，并且至少一个预定的断裂点的压电元件（1）这导致在所述压电元件的机械过载的情况下，形成在整体式压电元件，其特征在于，所述预定断裂点具有电极层的特定裂纹（110）。所述部件是例如用单片致动器主体（2）中，在彼此不断裂点设置在与预定的断裂点，并进一步压电元件（11）的压电元件和烧结在一起的压电致动器。随着断点在致动器本体的帮助下，它能够控制裂纹和裂纹生长和限制。其结果是相比于现有技术的装置更可靠。特征在于，所述预定断裂点由电极层的集成实现为具有最大可能的压电有源体积的压电元件。使用发现的压电装置在汽车行业，用于控制内燃发动机的喷射阀。

7. 发明申请

WO2008119702A1 PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL MIT SICHERHEITSSCHICHT UND INFILTRATIONSBARRIERE UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：对安全阻隔层和入渗和方法压电元件ITS
公开(公告)号：WO2008119702A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/EP2008/053540
申请日：2008-03-26
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , DENZLER, Michael , HAMANN, Christoph , KASTL, Harald Johannes , KOHN, Stefan , KRONBERGER, Maximilian , REICHINGER, Christian , SCHUH, Carsten , ZUMSTRULL, Claus
发明人： DENZLER, Michael , HAMANN, Christoph , KASTL, Harald Johannes , KOHN, Stefan , KRONBERGER, Maximilian , REICHINGER, Christian , SCHUH, Carsten , ZUMSTRULL, Claus
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/24
CPC分类号： H01L41/273 , H01L41/0838 , Y10T29/42
摘要： Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Bauteil mit einem monolithischen Stapel, aufweisend abwechselnd übereinander angeordnete Elektrodenschichten und Piezokeramikschichten mit einer Piezokeramik und mindestens eine im Stapel angeordnete poröse Sicherheitsschicht zur Bildung eines Risses bei mechanischer Überlastung des Stapels. Das piezoelektrische Bauteil ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Sicherheitsschicht und einem seitlichen Oberflachenabschnitt des Stapels eine Infiltrationsbarriere zur Unterdrückung eines Eindringens eines Fremdstoffes in die Sicherheitsschicht angeordnet ist. Darüber hinaus wird ein Verfahren zum Herstellen des Stapels des piezoelektrischen Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Abwechselndes übereinander Anordnen von keramischen Grunfolien und Metallschichten zu einem Grunf olienverbund, wobei in den Grunf olienverbund mindestens eine Ausgangsschicht der Sicherheitsschicht integriert wird und b) Warmebehandeln des Grunf olienverbunds zum monolithischen Stapel, wobei aus den keramischen Grunfolien die Piezokeramikschicht, aus den Metallschichten die Elektrodenschichten und aus der Ausgangsschicht der Sicherheitsschicht die Sicherheitsschicht entstehen und die Infiltrationsbarriere gebildet wird. Verwendung findet das piezoelektrische Bauteil als Piezoaktor zur Ansteuerung eines Ventils, insbesondere eines Ventils einer Brennkraftmaschine.
摘要翻译：本发明涉及用包含交替堆叠的电极层，且以压电陶瓷压电陶瓷层和至少一个是布置在桩多孔安全层用于在所述堆的机械过载的情况下，形成裂纹的单片堆叠的压电元件。压电元件的特征在于，用于抑制异物的渗透渗透屏障设置在安全层和叠层的侧表面部分之间的安全层。此外，制造压电元件的堆叠的方法是通过以下处理步骤表示：1）陶瓷生箔层和金属层的交替层叠olienverbund到grunf，其中在所述grunf olienverbund安全层中的至少一个输出层被集成和b）热处理所述grunf 为单片堆叠olienverbunds，从陶瓷生箔形成，该金属层中的压电陶瓷层和安全层的输出层中的电极层，安全层和渗透屏障形成。使用找到的压电部件作为用于致动阀，特别是用于内燃发动机的气门的压电致动器。

8. 发明申请

WO2005114759A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KONTAKTIERUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN AKTORS 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用于接触压电致动器
公开(公告)号：WO2005114759A1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：PCT/EP2005/051739
申请日：2005-04-20
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ADAM, Marko , HEINEK, Andreas , KASTL, Harald, Johannes , LENK, Andreas
发明人： ADAM, Marko , HEINEK, Andreas , KASTL, Harald, Johannes , LENK, Andreas
IPC分类号： H01L41/047
CPC分类号： H01L41/0472 , H01L41/0475 , H01L41/053 , H01L41/0833 , H01L41/293
摘要： Bei der Kontaktierung eines piezoelektrischen Aktors (1), insbesondere eines Stapelaktors mit einem dünnen Kontaktdraht (5), der mit einer Wickeltechnik zwischen einer streifenförmig angebrachten Außenmetallisierung (4) und zwei Kontaktpins (2) gewickelt ist, besteht das Problem, dass die Wickelspannung aufgenommen werden muss, damit der sehr dünne und empfindliche Kontaktdraht (5) an den Kanten des Stapelaktors (1) weder geknickt noch beschädigt werden kann. Zur Lösung dieses Problems wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, an zwei gegenüberliegenden Seiten des Stapelaktors (1) zusätzlich zu den Kontaktpins (2) jeweils einen Hilfspin (7) zu montieren. Die beiden Kontaktpins (2) sind in der Ebene der Außenmetallisierung (4) angeordnet und können die Wickelspannung aufnehmen, so dass der Kontaktdraht (5) beim Wickeln nicht beschädigt werden kann. Nach dem Verlöten werden überflüssige Drahtteile abgeschnitten. Der Stapelaktor (1) ist zu diesem Zweck mit wenigstens einer sechseckigen Querschnittsfläche ausgebildet.
摘要翻译：在压电致动器（1）的接触，尤其是堆致动器具有薄的接触导线（5）连接至一个条带形式连接的外部金属化之间的缠绕技术（4）和两个接触销（2）被卷绕时，存在的溶液中加入卷绕张力的问题必须确保在堆叠致动器的边缘上的非常薄的和敏感的接触线（5）（1）不能被弯曲或损坏。为了在堆叠致动器的相对两侧解决这个问题（1）根据本发明，提出了在除了接触销（2）各具有一个辅助销（7），以进行安装。两个接触销（2）被布置在所述外金属化（4）的平面和卷绕张力可以容纳，从而使卷绕在接触导线（5）不能被损坏。焊接线后多余部分被剪切掉。堆叠的致动器（1）被构造成用于此目的，至少一个六边形横截面面积。

9. 发明申请

WO2013017592A1 VOLLAKTIVER PIEZOSTACK MIT PASSIVIERUNG 审中-公开
标题翻译：与钝化全面活跃压电堆
公开(公告)号：WO2013017592A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/EP2012/064951
申请日：2012-07-31
申请人： CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH , RICHTER, Thomas , KASTL, Harald, Johannes , ZUMSTRULL, Claus
发明人： RICHTER, Thomas , KASTL, Harald, Johannes , ZUMSTRULL, Claus
IPC分类号： H01L41/053
CPC分类号： H01L41/0533 , H01L41/0472 , H01L41/083
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen vollaktiven Piezostack (10) mit Seitenflächen (1, 2, 3, 4), wobei an zwei sich gegenüberliegenden Seitenflächen (1, 2) über der jeweiligen Breite eine Passivierungsschicht (9a, 9b) aus Keramik angeordnet ist, an den anderen beiden sich gegenüberliegenden Seitenflächen (3, 4) jeweils eine Passivierungsschicht (6a, 6b) angeordnet ist, die Kunststoff umfasst, so dass alle Seitenflächen (1, 2, 3, 4) über die jeweilige Breite mit einer Passivierungsschicht (9a, 9b, 6a, 6b) versehen sind.
摘要翻译：本发明涉及一种完全活性的压电堆（10）的侧表面（1，2，3，4），其特征在于，在两个相对的侧面（1,2）上的钝化层的各自的宽度（9A，9B）由陶瓷制成的，在其它两个侧面相对的（3，4）各自具有钝化层（6A，6B）被设置，其包括塑料材料，使得所有的侧面（1，2，3，4）上有钝化层的各个宽度（9A，9B 中，提供6A，6B）。

10. 发明申请

WO2011154352A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES PIEZOAKTORS UND PIEZOAKTOR 审中-公开
标题翻译：一种用于生产压电致动器和压电致动器
公开(公告)号：WO2011154352A1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：PCT/EP2011/059285
申请日：2011-06-06
申请人： CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH , BENKERT, Katrin , BÖDINGER, Hermann , DENNELER, Stefan , KASTL, Harald Johannes , LENK, Andreas , SCHUH, Carsten
发明人： BENKERT, Katrin , BÖDINGER, Hermann , DENNELER, Stefan , KASTL, Harald Johannes , LENK, Andreas , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/24 , H01L41/22 , H01L41/083
CPC分类号： H01L41/273 , H01L41/0472 , H01L41/083 , H01L41/27 , H01L41/293 , Y10T29/42
摘要： Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors (100) mit einem Piezostapel (1) und zwei an der Außenseite des Piezostapels (1) angeordneten Außenelektroden (2, 3). Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Bereitstellen eines vollaktiven Grünstapels (1') aus mehreren abwechselnd aufeinander folgenden Grünfolien (4', 5') und durchgehenden Innenelektrodenschichten (6, 7), die dazu vorgesehen sind, abwechselnd mit zwei an der Außenseite des aus dem Grünstapel (1') herzustellenden Piezostapels (1) anzuordnenden Außenelektroden (2, 3) elektrisch verbunden und von der jeweiligen anderen Außenelektrode (2, 3) elektrisch isoliert zu sein; Versehen der Außenseite des vollaktiven Grünstapels (1') mit Gräben (8, 9) in Bereichen, in denen die Innenelektrodenschichten (6, 7) von den entsprechenden Außenelektroden (2, 3) elektrisch isoliert sein sollen, so dass die Gräben (8, 9) die Innenelektrodenschichten (6, 7) in diesen Bereichen von der Außenseite des Grünstapels (1') nach innen verkürzen; Füllen der Gräben (8, 9) mit einem elektrisch isolierenden Schlicker (10, 11); Weiterverarbeiten des Grünstapels (1'), dessen Gräben (8, 9) mit dem Schlicker (10, 11) gefüllt sind, so dass aus den Grünfolien (4', 5' ) piezoelektrische Schichten (4, 5) werden und aus dem Grünstapel (1') der Piezostapel (1) wird; Aufbringen der beiden Außenelektroden (2, 3) auf die Außenseite des Piezostapels (1), so dass die beiden Außenelektroden (2, 3) abwechselnd mit den Innenelektrodenschichten (6, 7) elektrisch verbunden sind. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Gräben (8, 9) mit dem Schlicker (10, 11) durch eines der folgenden Verfahren gefüllt werden: Siebdrucken, Tauchen, Sprühen oder Vakuuminfiltrieren.
摘要翻译：本发明描述了用于制造具有在压电叠堆组件的外部的压电堆叠（1）和两个压电致动器（100）的方法（1）布置在所述电极的外侧（2，3）。本发明的方法包括以下步骤：提供“（5“的多个交替连续生片4）中的完全活性绿色堆（1）”，并通过内部电极层（6,7）交替地具有两个在所述外侧意从绿色堆（1“）要生产压电堆（1）被布置在所述电极的外侧（2，3）和电通过相应的另一个外电极连接到（2，3）是电隔离; 所提供的完全活性绿色堆（1“）具有凹槽的外侧（8,9）在所述内部电极层（6,7）中相应的外部电极（2,3）是被电隔离，区域，使得沟槽（8， 9）内部电极层（6,7）中的那些区域（从绿色堆1“的外侧）向内缩短; 填充沟槽（8,9）具有电绝缘浆料（10，11）; 绿色堆（1“）的进一步处理，所述沟槽（8,9）与所述滑动（10，11）被填充，使得从生片（4”，5“）的压电体层（4,5），并从绿色堆压电堆叠的（1“）（1）; 所述两个外部电极中的应用（2，3）上的压电堆叠（1）的外侧，以使两个外部电极（2,3）交替地与内部电极层（6,7）被电连接。本发明的方法的特征在于，所述沟槽（8,9）与所述滑动（10，11），以通过下列方法之一被填充：丝网印刷，浸渍，喷涂或Vakuuminfiltrieren。

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