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1. 发明申请

WO2006127886A3 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：WO2006127886A3
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/US2006020215
申请日：2006-05-25
申请人： CYMER INC , ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH , DAS PALASH P , HOFFMANN THOMAS , SANDSTROM RICHARD L , BOUCKY OTTO , STUMPP ERNST , MATZKOVITS BERTHOLD , HOELL MICHAEL , WALTHER JOERG , BRENNER KURT , GRUPP GUENTER
发明人： DAS PALASH P , HOFFMANN THOMAS , SANDSTROM RICHARD L , BOUCKY OTTO , STUMPP ERNST , MATZKOVITS BERTHOLD , HOELL MICHAEL , WALTHER JOERG , BRENNER KURT , GRUPP GUENTER
IPC分类号： G01B11/14
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

2. 发明申请

WO2008022694A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUSRICHTEN EINER EBENEN TISCHOBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：方法和装置对准水平台面
公开(公告)号：WO2008022694A1
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：PCT/EP2007/006792
申请日：2007-08-01
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , HOELL, Michael
发明人： HOELL, Michael
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/26
CPC分类号： G01B11/26
摘要： Zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche (14) relativ zu einer Referenzlinie (46) wird ein erster Positionssensor (40b) bereitgestellt, der in einem senkrechten Abstand zu der Tischoberfläche (14) angeordnet ist. Die Tischoberfläche (14) wird entlang einer ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren und es wird ein erster Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung der Tischoberfläche (14) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der ersten Bewegungsrichtung (20) repräsentiert. Des Weiteren wird die Tischoberfläche (14) entlang einer zweiten Bewegungsrichtung (19) quer zu der ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren und es wird ein zweiter Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung der Tischoberfläche (14) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der zweiten Bewegungsrichtung (19) repräsentiert. Außerdem wird ein dritter Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung des zweiten Positionssensors (28) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der zweiten Bewegungsrichtung (19) repräsentiert. Anschließend wird ein aktueller Verlauf der Referenzlinie (46) mit dem zweiten Positionssensor (28) bestimmt und die Tischoberfläche (14) wird in Abhängigkeit von den ersten, zweiten und dritten Führungsfehlern relativ zu dem aktuellen Verlauf ausgerichtet.
摘要翻译：用于对准的平坦表面（14）相对于基准线（46）被提供，其设置在从所述表面（14）的垂直距离的第一位置传感器（40B）。该表面（14）沿运动（20）的第一方向移动，并且它是确定的，沿着第一运动方向（20）的第一位置传感器（40b）的所述表示表面（14）相对于的倾斜运动的第一跟踪误差。此外，沿着运动（19）横向于第一移动方向的第二方向上的表面（14）移动（20），并且确定第二引导错误，该表面的倾斜运动（14）相对于所述沿着所述第一位置传感器（40b）的表示运动（19）的第二方向。此外，第三跟踪误差被确定，其表示第二位置传感器（28）相对于的倾斜运动，所述沿第二运动方向（19）的第一位置传感器（40B）。接着，将参考线（46）到所述第二位置传感器（28）的电流当然被确定并且该表面（14）响应于相对于当前历史的第一，第二和第三引导误差被对准。

3. 发明申请

WO2008022693A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUSRICHTEN EINER EBENEN TISCHOBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：方法和装置对准水平台面
公开(公告)号：WO2008022693A1
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：PCT/EP2007/006791
申请日：2007-08-01
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , HOELL, Michael
发明人： HOELL, Michael
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/26
CPC分类号： G01B11/272
摘要： Zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche (14) relativ zu einer Referenzlinie (46) wird ein erster Positionssensor (28) bereitgestellt, der mit der Tischoberfläche (14) verbunden ist. Mit Hilfe des ersten Positionssensors (28) wird eine erste Tischhöhe relativ zu der Referenzlinie (46) bestimmt. Anschließend wird der erste Positionssensor (28) senkrecht zu einem zweiten Positionssensor (40) positioniert und es wird mit dem zweiten Positionssensor (40) eine Referenzhöhe relativ zu dem ersten Positionssensor (28) bestimmt. Danach wird die Tischoberfläche (14) entlang einer ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren, um eine Vielzahl von zweiten Tischhöhen mit Hilfe des zweiten Positionssensors (40) zu bestimmen. Aus den zweiten Tischhöhen wird eine Messebene bestimmt, und die Tischoberfläche (14) wird parallel zu der Messebene ausgerichtet.
摘要翻译：用于对准的平坦表面（14）相对于基准线（46）被提供，其连接到所述表面（14）的第一位置传感器（28），。与所述第一位置传感器的帮助下（28）确定第一表高度相对于所述基准线（46）一。随后，第一位置传感器（28）被定位在垂直于第二位置传感器（40），并且它与第二位置传感器（40）确定包括相对于所述第一位置传感器（28）的基准高度。此后，沿着第一运动方向上的表面（14）移动（20）来确定的多个第二高度的桌子与所述第二位置传感器（40）的帮助。测定面从第二表高度确定的，并且该表面（14）平行排列的测量平面。

4. 发明申请

WO2011020818A1 FAHRZEUG MIT EINEM DACH UND WENIGSTENS EINEM WIRBELGENERATOR 审中-公开
标题翻译：有屋顶和至少一个涡流发生器车辆
公开(公告)号：WO2011020818A1
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：PCT/EP2010/061910
申请日：2010-08-16
申请人： BAYERISCHE MOTOREN WERKE AKTIENGESELLSCHAFT , DIMITRIOU, Ioannis , NAEVE, Lars , HOELL, Michael
发明人： DIMITRIOU, Ioannis , NAEVE, Lars , HOELL, Michael
IPC分类号： B62D35/00 , B62D37/02
CPC分类号： B62D35/007
摘要： Bei einem erfindungsgemäßen Fahrzeug sind im Bereich der Hinterkante des Fahrzeugdaches mehrere Wirbelgeneratoren (8) angeordnet. Die Luftleitkörper (10) der Wirbelgeneratoren (8) weisen eine gekrümmte Längsachse auf, wodurch eine verbesserte Wirbelentstehung im Anfangsbereich der Wirbelgeneratoren (8) erreicht wird. Durch die energiereichen Wirbel liegt die Strömung im Anschluss an die Dachhinterkante stärker an, so dass das Strömungsablösegebiet im Bereich der Heckscheibe (6) und der sich daran anschließenden Heckklappe reduziert wird. Hierdurch wird der Luftwiderstandsbeiwert reduziert und eine Verringerung des Auftriebes an der Hinterachse des Fahrzeugs erreicht.
摘要翻译：在根据本发明的车辆多个涡流发生器（8）被布置在车顶的后边缘的区域中。涡流发生器（8）所述的空气导流板（10）具有弯曲的纵向轴线，由此达到改善的涡流形成在涡流发生器（8）的初始区域。由于以下车顶后缘高能量涡流位于更强，使得流动分离区在后窗（6）和所述后挡板相邻的区域中减小。由此，阻力系数减小，并且实现了在车辆的后轴的减少升力的。

5. 发明申请

WO2006127886A2 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：WO2006127886A2
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：PCT/US2006/020215
申请日：2006-05-25
申请人： CYMER, INC. , CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
发明人： DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

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