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    • 2. 发明申请
    • MAGNETFELDSENSOR MIT EINEM HALLELEMENT
    • 利用霍尔元件磁传感器
    • WO2004025742A1
    • 2004-03-25
    • PCT/CH2002/000497
    • 2002-09-10
    • SENTRON AGSCHOTT, ChristianPOPOVIC, RadivojeBESSE, Pierre-AndreSCHURIG, Enrico
    • SCHOTT, ChristianPOPOVIC, RadivojeBESSE, Pierre-AndreSCHURIG, Enrico
    • H01L43/06
    • G01R33/07G01R33/077H01L43/065
    • Ein symmetrisches vertikales Hallelement umfasst eine Wanne (2) eines ersten Leitfähigkeitstyps, die in ein Substrat (3) eines zweiten Leitfähigkeitstyps eingebettet ist und die mit vier als Strom- und Spannungskontakten dienenden Kontakten (4, 5, 6, 7) kontaktiert ist. Ein solches Hallelement mit vier Kontakten kann in elektrischer Hinsicht als eine durch vier Widerstände R 1 bis R 4 des Hallelementes gebildete Widerstandsbrücke angesehen werden. Das Hallelement wird in elektrischer Hinsicht dann als ideal angesehen, wenn die vier Widerstände R 1 bis R 4 den gleichen Wert aufweisen. Die Erfindung schlägt eine Reihe von Massnahmen vor, um die Widerstandsbrücke elektrisch abzugleichen. Eine erste Massnahme besteht darin, mindestens einen zusätzlichen Widerstand vorzusehen. Eine zweite Massnahme besteht darin, die elektrische Leitfähigkeit der Wanne lokal zu erhöhen oder zu verkleinern. Eine dritte Massnahme besteht darin, zwei Hallelemente vorzusehen, die elektrisch so parallel geschaltet sind, dass ihre Hallspannungen gleichsinnig sind und sich ihre Offsetspannungen weitgehend kompensieren.
    • 对称的竖直霍尔元件包括第一导电类型的托盘(2),第二导电类型被嵌入在基底(3)和四个用作电流和电压接触触点(4,5,6,7)接触。 这种具有四个接触的霍尔元件可以被视为一个四个电阻器R1至形成在电阻电桥电霍尔元件的R4。 霍尔元件,然后从电点低于理想观看如果四个电阻R1〜R4具有相同的值。 本发明提出了一些措施以电调整电阻桥。 第一措施是提供至少一个附加的电阻器。 第二项措施是增加本地或更小的桶的导电性。 第三措施是提供被并联电连接,使得它们的霍尔电压是相同的方向,并在很大程度上补偿其偏移电压两个霍尔元件。