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    • 5. 发明申请
    • 트리클로로실란의 정제 방법 및 정제 장치
    • 纯化三氯硅烷的方法和设备
    • WO2011081385A2
    • 2011-07-07
    • PCT/KR2010/009374
    • 2010-12-27
    • 주식회사 엘지화학최철환이정석최광욱신준호김동규
    • 최철환이정석최광욱신준호김동규
    • C01B33/107
    • C01B33/10778B01D3/143
    • 본 발명은 트리클로로실란의 생성 반응의 반응 생성물로부터 트리클로로실란 및 테트라클로로실란을 주성분으로 하는 클로로실란 혼합물을 분리시키는 전처리 단계; 상기 클로로실란 혼합물을 미량의 불순물 및 트리클로로실란의 혼합물로 이루어진 제1상부 스트림과 테트라클로로실란을 주 성분으로 하는 제1하부 스트림으로 분리시키는 제1정제 단계; 상기 제1상부 스트림을 미량의 저비점의 불순물과 트리클로로실란의 혼합물로 이루어진 제2상부 스트림과, 미량의 고비점의 불순물과 트리클로로실란의 혼합물로 이루어진 제2하부 스트림으로 분리시키는 제2정제 단계; 및 상기 제2하부 스트림을 트리클로로실란을 주성분으로 하는 제3상부 스트림과, 미량의 고비점의 불순물 및 트리클로로실란 혼합물로 이루어진 제3하부 스트림으로 분리시키는 제3정제 단계를 포함하며, 이때, 상기 제3정제 단계는 상기 제2정제 단계보다 높은 압력 조건 하에서 수행되고, 상기 제2하부 스트림과 상기 제3상부 스트림 사이에 열 교환이 이루어지는 것을 특징으로 하는 트리클로로실란의 정제 방법을 제공한다.
    • 本发明的分离的主要硅烷和从所得的三氯硅烷的反应的反应产物四氯硅烷的三氯硅烷组成的氯硅烷混合物的预处理步骤; 用于分离第一塔底第一纯化步骤,以流式传输的第一顶部物流和四氯硅烷选自氯硅烷混合物中杂质和三氯与硅烷为主要成分的混合物的微量; 第一塔顶料流分离成第二塔底料流包含第二顶部物流的第二纯化步骤,和高沸点的自由硅烷的混合物与硅烷的混合物与低沸点的少量的杂质和三氯乙烷少量的杂质和三氯乙烷 。 和分离所述第三顶部物流和由具有高沸点的少量的杂质和三氯乙烷的硅烷混合物为主要成分的三氯硅烷的第二底部物流的第三底部物流,其中的第三纯化步骤中, 其中第三纯化步骤在比第二纯化步骤更高的压力条件下进行,并且在第二底部流和第三顶部流之间进行热交换。