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    • 3. 发明申请
    • 스퀴드 센서 및 그 제조방법
    • 超导量子干涉装置(SQUID)传感器及其制造方法
    • WO2011034280A2
    • 2011-03-24
    • PCT/KR2010/005099
    • 2010-08-03
    • 한국표준과학연구원이용호유권규김진목권혁찬김기웅
    • 이용호유권규김진목권혁찬김기웅
    • G01R33/035G01R3/00
    • G01R33/035
    • 본 발명의 스퀴드 센서 및 상기 스퀴드 센서의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 스퀴드 센서로서, 미세 자기장을 검출하여 전류를 발생하는 권선형 검출코일과, 도전성 연결패드에 각 단부가 접속된 입력코일이 구비된 박막 스퀴드를 포함하는 스퀴드 센서에 있어서, 상기 검출코일의 양단부와 상기 도전성 연결패드는, 초전도 연결선을 통해 전기적으로 직접 접속된 것을 특징으로 한다. 한편, 본 발명의 스퀴드 센서의 제조방법으로서, 미세 자기장을 검출하여 전류를 발생하는 권선형 검출코일과, 도전성 연결패드에 각 단부가 접속된 입력코일이 구비된 박막 스퀴드를 포함하고, 초전도 연결선의 일단을 상기 도전성 연결패드에 전기적으로 접속시키는 제1 단계; 상기 권선형 검출코일의 양 단부를 접착제에 의해 지지대 상에 고정하는 제2 단계; 및 상기 접착제에 의해 고정된 검출코일의 양단부와 상기 초전도 연결선의 타단을 전기적 접속시키는 제3 단계;를 포함하는 하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种超导量子干涉装置(SQUID)传感器及其制造方法。 本发明的SQUID传感器包括用于检测精细磁场并产生电流的绕线检测线圈和具有输入线圈的薄膜SQUID,每个端部连接到导电连接焊盘,其中检测线圈的两端和 导电连接焊盘通过超导连接线直接电连接。 同时,本发明的SQUID传感器的制造方法包括提供SQUID传感器的第一步骤,该SQUID传感器包括用于检测细小磁场并产生电流的绕线检测线圈,以及具有输入线圈的薄膜SQUID, 连接到导电连接焊盘,并将超导连接线的一端电连接到导电连接焊盘; 通过粘合剂将伤口检测线圈的两端固定在支撑体上的第二步骤; 以及第三步骤,将超导连接线的另一端电连接到由粘合剂固定的检测线圈的两端。