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1. 发明申请

WO2012114909A1 薄膜の表面検査方法および検査装置审中-公开
标题翻译：薄膜面对面检查方法和检查装置
公开(公告)号：WO2012114909A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/JP2012/053130
申请日：2012-02-10
申请人：株式会社日本製鋼所 , 奥信夫 , 井波俊夫 , 河上徹太郎
发明人：奥　信夫 , 井波　俊夫 , 河上　徹太郎
IPC分类号： H01L21/20
CPC分类号： H01L22/12 , G01N21/25 , G01N21/4738 , G01N21/95
摘要：【課題】レーザアニールによって薄膜に発生するムラを具体的かつ的確に判定することを可能にする。【解決手段】レーザアニール処理が施された薄膜表面に、検査光を照射し、前記薄膜表面で反射した反射光を受光してカラー画像を取得し、カラー画像の色成分を検出し、検出された色成分に基づいてカラー画像をモノクロ化し、モノクロ化された画像のデータをコンボレーションして画像濃淡を強調した画像データを取得し、画像濃淡を強調した画像データを射影変換し、射影変換がされた画像データに基づいて薄膜の表面ムラを判定することで、レーザアニール処理された薄膜の表面ムラを、具体的かつ的確に判定でき、判定により、万一、規定値を超えた場合、不良としてレーザアニール処理を停止して不良を最小限にとどめることができ、不良判定以外にも薄膜表面の状態を管理できる。
摘要翻译： [问题]为了便于对由于激光退火引起的薄膜中出现的不规则性进行具体和准确的评估。 [解决方案]检查光投射在已经进行激光退火处理的薄膜的正面上。收集由薄膜正面反射的反射光，并获得彩色图像。检测彩色图像的颜色分量。基于检测到的颜色成分，将彩色图像转换为单色。单色转换的图像数据被卷积，并且获取了强调图像阴影的图像数据。强调图像阴影的图像数据被投影转换。基于投影转换图像数据来评估薄膜正面的不规则性。因此，可以促进对通过激光退火处理的薄膜的正面产生的不规则性的特异性和准确的评估，以将激光退火处理作为缺陷来停止，并且在超过了定义值的情况下使缺陷最小化评估，并且即使没有评估缺陷，也可以管理薄膜正面的状态。

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