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1. 发明申请

WO2006088159A1 電子顕微鏡及び複合照射レンズ审中-公开
标题翻译：电子显微镜和复合辐射镜
公开(公告)号：WO2006088159A1
公开(公告)日：2006-08-24
申请号：PCT/JP2006/302884
申请日：2006-02-17
申请人：国立大学法人京都工芸繊維大学 , 遠藤久満 , 阿知原雅人 , 津野勝重 , 及川哲夫
发明人：遠藤久満 , 阿知原雅人 , 津野勝重 , 及川哲夫
IPC分类号： H01J37/295 , H01J37/141
CPC分类号： H01J37/26 , G03H1/0866 , G03H5/00 , G03H2001/045 , H01J37/141 , H01J37/295 , H01J2237/1415 , H01J2237/1514 , H01J2237/153 , H01J2237/228 , H01J2237/2614
摘要： An electron microscope capable of re-constructing a microscope image free of the imaging aberration due to the imaging lens by using a hologram of diffraction pattern and a composite irradiation lens used in such an electron microscope. The electron microscope comprises an electron source (11), a condenser lens (12), a biprism (13) for splitting an electron beam fed from the condenser lens (12) into first and second coherent electron beams (L1, L2) parallel to each other, a composite irradiation lens (15) for making the first electron beam (L1) a parallel wave and making the second electron beam (L2) a converging wave converging at a predetermined distance, a specimen stage (16) for holding a specimen irradiated with the first electron beam (L1), a detector (17) for detecting a hologram of the diffraction pattern formed by the interference between the first and second electron beams (L1, L2), a computing unit (18) for re-constructing a microscope image of the specimen by subjecting the hologram fed from the detector (17) to predetermined Fourier transform, and a display (19) for displaying the re-constructed microscope image.
摘要翻译：一种电子显微镜，其能够通过使用衍射图案的全息图和在这种电子显微镜中使用的复合照射透镜来重构由于成像透镜而没有成像像差的显微镜图像。电子显微镜包括电子源（11），聚光透镜（12），用于将从聚光透镜（12）馈送的电子束分成第一和第二相干电子束（L1，L2）的双棱镜（13）彼此成为用于使第一电子束（L1）成为平行波并使第二电子束（L2）以会聚波收敛于预定距离的复合照射透镜（15），用于保持样本的样本台（16）用于检测由第一和第二电子束（L1，L2）之间的干涉形成的衍射图案的全息图的检测器（17），用于再构造的计算单元（18）通过对从检测器（17）馈送的全息图进行预定的傅里叶变换，以及用于显示重构的显微镜图像的显示器（19）来对样本进行显微镜图像。

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