本发明通过在泵单元4的上游的主冷却部31冷却，所生成的中间超临界压力液体的温度由冷却介质的流动速度来调整供给 冷却温度调节部9A，检测中间超临界压力的液体的入口压力P1的泵单元4，用于在泵部分4的出口侧检测所述目标超临界流体的出口压力P2的压力检测器的入口侧 ，包括：a。 冷却的基础上，温度调节部9A，入口压力P1和出口压力P2，或入口压力P1的压力比和出口压力P2之间的压力差，并控制冷却介质的流速。

本发明的离心式压缩机包括一轴（11）固定叶轮（12），壳体（14）形成在叶轮的外周上的扩散器（13），壳体 以及密封盒（30），用于轴和轴的轴向密封。 壳体第一流动路径密封气体（G）流（31）形成，该密封盒第二流朝着已经流入在轴为预定的密封面的第一流动路径的密封气体流（S） 在第一流路与第二流路之间设置有形成有路径（35）且密封气体从第一流路流向第二流路的连通管（40）。 连通管40具有经由第一密封环46保持在第一流路31中的第一管端41以及经由第二密封部件41保持的第二管端41。 在（35）和（43），所述第一管端（41）的第二管端（43）之间的连接被保持第二管端，比所述第一管端部的下部的刚性和一个第二管端 和一个软管（45）。