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    • 10. 发明申请
    • パターニング方法およびパターニング装置
    • 图案化方法和图案形成装置
    • WO2017169493A1
    • 2017-10-05
    • PCT/JP2017/008163
    • 2017-03-01
    • ナガセケムテックス株式会社
    • 渡部 功治
    • B29C67/00B33Y10/00B33Y30/00
    • B29C64/124B29C64/255B29C67/00B33Y10/00B33Y30/00
    • 光硬化パターン(硬化物)を離型層から剥離する必要がなく、簡便かつ短時間で光硬化パターンを形成することができるパターニング方法を提供する。パターニング方法は、(i)光照射面を有する底部を備える造形用トレイに、比重d 1 を有する液状の離型材料、および比重d 1 より小さい比重d 2 を有し、かつ離型材料と相分離する液状のパターニング材料を供給して、底部に接触する離型材料の第1液層を設け、第1液層上にこれと接触するパターニング材料の第2液層を形成して、第2液層の第1液層との界面近傍にパターニング材料の液膜を形成する工程と、(ii)第1液層を介して液膜に対して光を照射して、液膜を光硬化させ、パターンを形成する工程と、を備える。
    • 提供了一种图案形成方法,其能够在不从剥离层上去除光固化图案(固化产物)的情况下容易且在短时间内形成光固化图案。 图案化方法中,(i)为具有具有光照射面的底部部分的成形托盘,具有比重d <子> 1 剥离材料的液体,而且比比重d <子> 1 提供具有小比重d 2并与释放材料相分离的液体图案形成材料以提供与底部接触的释放材料的第一液体层, 在所述层上形成图案形成材料的第二液体层,以便在与第二液体层的第一液体层的界面附近形成图案形成材料的液体膜,(ii) 然后通过该层将光照射到液体膜上以使液体膜光固化以形成图案。