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    • 81. 发明申请
    • METHOD FOR CALIBRATING AND OPERATING A MEASURING CELL ARRANGEMENT
    • 方法校准和用于操作测量单元安排
    • WO2009012605A2
    • 2009-01-29
    • PCT/CH2008000256
    • 2008-06-09
    • INFICON GMBHBERG CHRISTIANSTRIETZEL CARSTEN
    • BERG CHRISTIANSTRIETZEL CARSTEN
    • G01L27/00G01L21/00
    • G01L27/005G01L21/00
    • The following method sequence is proposed for calibrating a vacuum measuring cell arrangement: a) the measuring cell arrangement (1) is connected to a calibrating device (10), with the measuring connection (5) being connected to a vacuum volume (58) and the measuring cell interface (8) being connected to a calibrating sequence controller (11) by means of a signal line (20); b) a first heating temperature in the measuring cell arrangement is set to a predefined constant value; c) a first step for calibrating the measuring cell arrangement (1) is carried out by generating at least one predefined pressure in the vacuum volume (58) while simultaneously detecting the vacuum signals from the measuring cell arrangement (1) and at least one reference measuring cell (6), and the pressure values detected are stored in a calibrating data memory (13); d) a calibrating processor (14) is used to determine compensation values from the determined differential values of the measuring cell arrangement (1) and the reference measuring cell (6), and these differential values are buffered in a calibrating data memory (13) of the calibrating sequence controller (11); e) the measuring cell arrangement (1) is adjusted by transmitting the determined compensation values to the measuring cell data memory (6) for the differing values for pressures and temperature, which are determined at the different predefined operating points, with respect to the reference measuring cell (60).
    • 为了校准,一个真空测量电池装置,提出了以下的方法萨伯运行:a)具有一个校准装置(10),连接所述测量(5)连接到一个真空容积(58测量单元阵列(1)的连接)和连接测量单元接口(8),通过信号线(20) 一个Kalibrierablaufsteuerung(11); b)中设置在测量单元阵列到预定的恒定值的第1加热温度; c)进行通过产生在真空容积(58同时检测Vakuummessignale的测量单元阵列(1)和至少一个参考测量单元(6),以及所检测到的压力值的存储(在校准数据存储器中的至少一个预定的压力)测量电池装置(1)的第一校准步骤 13)中,d)确定与从测量单元阵列(1)和参考测量单元(6),以及存储在Kalibrierablaufsteuerung的校准数据存储器(13)(11)这个差值的所确定的差值校准处理器(14)的补偿值。 e)通过将来自所述测量单元的数据存储器(6),用于在对所述参考测量单元(60)的压力和温度相对于不同值的不同的预定工作点所确定的确定的补偿值调节所述测量池装置(1)。
    • 82. 发明申请
    • SCHNÜFFELLECKSUCHGERÄT
    • 嗅吸测漏器
    • WO2008064964A1
    • 2008-06-05
    • PCT/EP2007/061531
    • 2007-10-26
    • INFICON GMBHWETZIG, Daniel
    • WETZIG, Daniel
    • G01M3/20
    • G01M3/205
    • Das Schnüffellecksuchgerät weist ein Massenspektrometer (20), eine Turbomolekularpumpe (23) und eine Vorvakuumpumpe (22) auf. Wenn der Schnüffelschlauch (12) mit der handgeführten Schnüffelsonde (13) sich von dem Hauptgerät (10) löst, würde Atmosphärendruck in die Gaseingangsleitung (32) gelangen und das Hochvakuum im Massenspektrometer (20) stören. Zum Schutz des Massenspektrometers und der Vakuumpumpvorrichtung ist in der Gaseingangsleitung (32) ein Flussbegrenzer (33) mit vorgeschaltetem Füter (34) angeordnet.
    • 嗅探泄漏检测器包括质谱仪(20),一个涡轮分子泵(23)和一个低真空泵(22)。 如果嗅探器管(12),以从所述主单元(10)触发延伸的手持嗅探器探针(13),大气压力将进入气体入口管线(32)和与所述质谱仪(20)的高真空干扰。 在气体入口管线(32)的限流器(33)与上游Fueter保护质谱仪,和真空排气装置(34)被布置。
    • 83. 发明申请
    • SCHNÜFFELLECKSUCHER
    • 嗅吸测漏
    • WO2008043628A1
    • 2008-04-17
    • PCT/EP2007/059452
    • 2007-09-10
    • INFICON GMBHWETZIG, DanielROLFF, Norbert
    • WETZIG, DanielROLFF, Norbert
    • G01M3/20
    • G01M3/202
    • Zur Erzielung eines großen Messbereichs von kleinen bis hin zu größeren Leckraten erfolgt eine Umschaltung von Normalbetrieb auf Grobbetrieb. Im Grobbetrieb wird eine Aufteilung des angesaugten Gasstromes auf unterschiedliche Drosseln (D4, D2) bewirkt, wobei die Drossel, die zu dem Prüfgassensor (16) führt, einen geringen Fluss hat. Auf diese Weise wird verhindert, dass eine zu große Testgasmenge an die Sensorfläche (17) gelangt und den Sensor verschmutzt. Eine andere Alternative sieht vor, dass bei Grobbetrieb nur ein Teil der Sensorfläche (17) von dem Testgas überstrichen wird. Der andere Teil wird gespült.
    • 为了实现从小型大的测量范围较大的泄漏率从正常操作的开关进行粗糙操作。 在粗操作,在不同的反应器(D4,D2)的吸入气体流的划分实现,其中,所述扼流,从而导致测试气体传感器(16)具有低的流动。 以这种方式,防止了过大的气体的量的测试到达传感器表面(17)和污染传感器。 另一种替代方法提供了用于粗略操作仅在传感器表面(17)的一部分从测试气体吹扫。 另一部分是刷新。
    • 84. 发明申请
    • MASS SPECTROMETER
    • 质谱仪
    • WO2008025174A2
    • 2008-03-06
    • PCT/CH2007000371
    • 2007-07-27
    • INFICON GMBHWUEEST MARTINKNAPP WOLFRAM
    • WUEEST MARTINKNAPP WOLFRAM
    • H01J49/08H01J49/147H01J49/16
    • The invention relates to a mass spectrometer arrangement comprising a cathode arrangement (6) for emitting electrons (21), a reaction zone (3) connected to an entrance opening (14) for the supply of neutral particles (20), this opening being operatively connected to the cathode arrangement (6) for ionizing neutral particles (20), an ion extraction arrangement (4) which is arranged such that it communicates with the effective range of the reaction zone (3), means for guiding ions (22) to a detection system (12) and means for evacuating the mass spectrometer arrangement. The cathode arrangement (6) comprises a field emission cathode having an emitter area (7), wherein, at a small distance from said emitter area (7), an extraction grid (9) for extracting electrons is arranged, which grid substantially covers the emitter area (7). The emitter area (7) at least partially surrounds a cavity (13) such that a tubular structure is formed.
    • 本发明涉及一种质谱仪组件,其包括用于发射电子的阴极布置(6)(21),反应区(3),其设置有入口开口(14),用于中性粒子的供给装置(20),其(与阴极组件 6)可操作地连接到与所述反应区(3)的有效区域配置在通信中性粒子的电离(20),一个lonenextraktionsanordnung(4)的装置,用于引导离子的(22)的检测系统(12)以及用于排空所述质谱仪组件 , 在此,阴极组件(6)包括场发射阴极,包括发射极表面(7),其中,从该发射器表面一个小的距离(7),一个引出栅(9)被设置用于提取电子,这(7)基本上覆盖所述发射极面积。 在这种情况下,发射极区(7)至少部分地包围该管状结构形成的空腔(13),例如。
    • 85. 发明申请
    • GASSENSOR MIT EINEM BEHEIZBARER GASSELEKTIV-DURCHLÄSSIGER MEMBRAN
    • 带加热的气体选择性渗透膜气体传感器
    • WO2007141098A1
    • 2007-12-13
    • PCT/EP2007/054335
    • 2007-05-04
    • INFICON GMBHGROSSE BLEY, WernerWETZIG, Daniel
    • GROSSE BLEY, WernerWETZIG, Daniel
    • G01M3/20
    • G01M3/205
    • Der Gassensor weist eine selektivdurchlässige Membran (13) aus Siliziummateria! auf, die auf der Außenseite mit einer Heizvorrichtung (20) versehen ist. Die Membran (13) schließt ein evakuiertes Gehäuse ab, das einen Drucksensor enthält. Beim Evakuieren der Umgebung des Gehäuses erfolgt eine Veränderung der Wärmeableitung durch die schnelle Totaldruckänderung der umgebenden Luft, so dass trotz Temperaturregelung der Membran (13) eine Signaldrift entsteht Erfindungsgemäß ist mindestens eine zweite Heizvorrichtung (21, 22) vorgesehen, die unabhängig von der ersten Heizvorrichtung (20) temperaturgeregelt ist. Dadurch wird eine hohe Konstanz der Membrantemperatur selbst bei stark wechselndem Totaldruck in dem Gehäuse erreicht.
    • 该气体传感器具有硅材料的选择性渗透膜(13)! ,其设置在具有加热器(20)的外部。 所述膜(13)从抽真空壳体包含一个压力传感器关闭。 当抽真空外壳的环境中,由周围空气的快速总压力变化散热的改变根据本发明的发生,因此,尽管该膜的温度控制的产生(13)的信号漂移的至少一个第二加热装置(21,22)设置,其是独立于所述第一加热器的 (20)是温度控制的。 这确保了膜温度高的恒定性,即使在与壳体强烈变化的总压力来实现。
    • 86. 发明申请
    • OPTISCHER INTERFEROMETRISCHE DRUCKSENSOR
    • 光干涉压力传感器
    • WO2007019714A1
    • 2007-02-22
    • PCT/CH2006/000375
    • 2006-07-18
    • INFICON GMBHWÄLCHLI, UrsBJÖRKMAN, PerSAARI, HeikkiANTILA JarkkoHANSELMANN, HansjakobWÜEST, Martin
    • WÄLCHLI, UrsBJÖRKMAN, PerSAARI, HeikkiANTILA JarkkoHANSELMANN, HansjakobWÜEST, Martin
    • G01L11/02
    • G01L9/0079Y10T29/49769Y10T29/49776
    • Eine Vakuummesszelle umfasst einen ersten Gehäusekörper (1) aus Aluminiumoxyd mit einer davor, im Randbereich Vakuum dichtend angeordneten Membrane (2) aus Aluminiumoxyd, bildend einen Referenzvakuumraum (25), und dass ein zweiter Gehäusekörper (4) aus Aluminiumoxyd gegenüber der Membrane (2) im Randbereich Vakuum dichtend vorgesehen ist, bildend einen Messvakuumraum (26) mit Anschlussmittel (5) für das zu messende Medium, wobei im ersten Gehäusekörper (1) im Zentrumsbereich ein optisch transparentes Fenster (33) ausgebildet ist und die, diesem zugewandte Membranoberfläche (31) im Zentrumsbereich optisch reflektierend ausgebildet ist und dass ausserhalb des Referenzvakuumraumes (25) gegenüber und beabstandet von diesem Fenster (33) eine Lichtleitfaser (37) zur Ein- und Auskopplung von Licht auf die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, wobei zwischen der Lichtleitfaser (37) und dem Fenster eine Linse (35) zur optischen Ankopplung an die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, derart dass die Anordnung eine Messstrekke bildet zur Erfassung von Auslenkungen der Membrane (2) mit einem Fabry - Perot Interferometer.
    • 包括:第一壳体主体的真空测量单元(1)由氧化铝构成具有前,设置在真空膜(2)由铝氧化物的边缘区域的密封,形成一个参考真空室(25),以及一第二壳体(4)氧化铝在膜(2)的 被密封在真空的边缘区域中,形成一个测量真空室(26),其具有连接装置(5),用于将被测量的介质,其中,在光学透明窗口的中心区域中的第一外壳体(1)(33)形成,并且,该饰面隔膜表面(31 )是在中央区域光学反射和(基准真空空间25)相对,并从窗口(33)的光纤(37隔开),用于耦合光的去耦到膜表面的外部(31)设置,其中,(光纤之间 37)和所述窗口包括用于光耦合到膜表面的透镜(35)(31)设置 吨,使得组件形成用于与法布里检测所述膜(2)的偏转的测试部分 - 珀罗干涉仪。
    • 87. 发明申请
    • LECKSUCHGERÄT
    • 检漏仪
    • WO2006061311A1
    • 2006-06-15
    • PCT/EP2005/055992
    • 2005-11-15
    • INFICON GMBHBÖHM, Thomas
    • BÖHM, Thomas
    • G01M3/20
    • G01M3/205
    • Das Lecksuchgerät weist ein Tragegerät (11) auf, das an einem am Körper einer Bedienperson zu befestigenden Halter (10) angebracht ist. Von dem Tragegerät (11) führt eine flexible Kapillarieitung zu einer Schnüffelsonde (13), die am vorderen Ende einen Gaseinlass (14) aufweist. Das Tragegerät (11) ist mit einem Grundgerät (16) verbunden, weiches eine Vakuumpumpe enthält. Im Tragegerät (11) befindet sich ein Testgasdetektor. Durch die relativ kurze Kapillarleitung (12) erhält man ein schnelles Ansprechverhalten des Gasanalysators. Die Schnüffelsonde (13) ist kleinformatig und ieichtgewichtig, so dass sie ermudungsfrei auch über längere Zeit gehandhabt werden kann.
    • 泄漏检测器包括附连到主体可附着操作保持器(10)的承载装置(11)。 承载设备(11)包括柔性Kapillarieitung导致具有在前端(14)的气体入口嗅探器探针(13)。 承载装置(11)被连接到基础单元(16)包含软的真空泵。 在承载装置(11)是一个测试气体检测器。 由于相对短的毛细管(12)给出了气体分析仪的快速响应。 吸入探针(13)在尺寸和ieichtgewichtig小,以使得它们可以在长时间内进行处理ermudungsfrei。