专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

61. 发明申请

WO2021158746A1 METHOD AND SYSTEM FOR APPLYING PULSED ELECTRIC FIELDS WITH HIGH UNIFORMITY USING CHARGED RING STRUCTURES 审中-公开
公开(公告)号：WO2021158746A1
公开(公告)日：2021-08-12
申请号：PCT/US2021/016554
申请日：2021-02-04
申请人： THE PHANTOM LABORATORY, INCORPORATED
发明人： MALLOZZI, Richard
IPC分类号： A61N1/40 , A61B5/055 , H01J37/12 , G01R33/36
摘要： A device, system and method for generating pulsed electric fields with high uniformity are provided. The electric fields occupy a large volume, suitable for placing a human or animal patient. A device for generating the electric fields is provided, which comprises a plurality of ring structures made of an electrically conductive material, wherein the ring structures are charged to different voltage levels. The device generates an electric field of high uniformity in the interior region of the ring structures when pulsed with electrical currents. These electric field pulses, when used in conjunction with pharmacological agents, destroy cancer cells through a process called targeted osmotic lysis.

62. 发明申请

WO2021100359A1 電子線適用装置および電子線適用装置における電子ビームの射出方法审中-公开
公开(公告)号：WO2021100359A1
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：PCT/JP2020/038569
申请日：2020-10-13
申请人：株式会社Ｐｈｏｔｏ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｏｕｌ
发明人：西谷　智博
IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/12 , H01J37/305 , G03F7/20 , G21K1/00 , H01L21/027 , H01L21/66
摘要：フォトカソードを備えた電子銃に好適な電子線適用装置および該電子線適用装置における電子ビームの射出方法を提供することを課題とする。　電子銃部分と、本体部分と、制御部と、を含む電子線適用装置であって、　前記電子銃部分は、光源と、光源から照射された励起光を受光することで、電子ビームを射出するフォトカソードと、アノードと、を含み、　前記本体部分は、前記電子銃部分から照射された電子ビームを集束するオブジェクティブレンズ、を含み、　前記制御部は、少なくとも、前記フォトカソードから射出される電子ビームのサイズに応じて前記オブジェクティブレンズの集束強度を制御する、電子線適用装置、により課題を解決できる。

63. 发明申请

WO2021060634A1 지연 에너지 분석기 审中-公开
公开(公告)号：WO2021060634A1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：PCT/KR2020/003086
申请日：2020-03-04
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박인용 , 황준혁 , 오가와타카시 , 김광일 , 조복래
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

64. 发明申请

WO2021011156A1 HIGH-CURRENT ION IMPLANTER AND METHOD FOR CONTROLLING ION BEAM USING HIGH-CURRENT ION IMPLANTER 审中-公开
公开(公告)号：WO2021011156A1
公开(公告)日：2021-01-21
申请号：PCT/US2020/039159
申请日：2020-06-23
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： LIKHANSKII, Alexandre , CHANG, Shengwu , SINCLAIR, Frank , CUCCHETTI, Antonella , HERMANSON, Eric D. , CAMPBELL, Christopher
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/317
摘要： Provided herein are approaches for increasing operational range of an electrostatic lens. An electrostatic lens of an ion implantation system may receive an ion beam from an ion source, the electrostatic lens including a first plurality of conductive beam optics disposed along one side of an ion beam line and a second plurality of conductive beam optics disposed along a second side of the ion beam line. The ion implantation system may further include a power supply in communication with the electrostatic lens, the power supply operable to supply a voltage and a current to at least one of the first and second plurality of conductive beam optics, wherein the voltage and the current deflects the ion beam at a beam deflection angle, and wherein the ion beam is accelerated and then decelerated within the electrostatic lens.

65. 发明申请

WO2019236610A1 HIGH RESOLUTION ELECTRON ENERGY ANALYZER 审中-公开
公开(公告)号：WO2019236610A1
公开(公告)日：2019-12-12
申请号：PCT/US2019/035436
申请日：2019-06-04
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION
发明人： JIANG, Xinrong , SEARS, Christopher , CHUBUN, Nikolai
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/14 , H01J49/48
摘要： A high-resolution electron energy analyzer is disclosed. In one embodiment, the electron energy analyzer includes an electrostatic lens configured to generate an energy-analyzing field region, decelerate electrons of an electron beam generated by an electron source, and direct the decelerated electrons of the electron beam to the energy-analyzing field region. In another embodiment, the electron energy analyzer includes an electron detector configured to receive one or more electrons passed through the energy-analyzing field region. In another embodiment, the electron detector is further configured to generate one or more signals based on the one or more received electrons.

66. 发明申请

WO2019224895A1 荷電粒子線装置及びその軸調整方法审中-公开
公开(公告)号：WO2019224895A1
公开(公告)日：2019-11-28
申请号：PCT/JP2018/019568
申请日：2018-05-22
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：今井　悠太 , 笹島　正弘 , 高鉾　良浩
IPC分类号： H01J37/15 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147
摘要：減速電界による静電レンズの軸を磁場レンズの軸に一致させることで、重畳レンズとしての軸調整を容易とした荷電粒子線装置を実現する。荷電粒子線装置は、電子源２と、電子源からのプローブ電子線を試料に集束させる対物レンズ４と、プローブ電子線を通過させる第１ビーム管８及び第２ビーム管９と、第１ビーム管８と試料１２との間に配置される減速電極１０と、第１ビーム管８に第１電位を印加することにより、第１ビーム管８と減速電極１０との間で、プローブ電子線に対する減速電界を形成する第１電圧源１５と、第１ビーム管８の位置を移動させる移動機構１１とを有する。

67. 发明申请

WO2017010529A1 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置审中-公开
标题翻译：静电镜和平行光束生成装置和并联光束装置，其使用静电透镜和胶片
公开(公告)号：WO2017010529A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：PCT/JP2016/070744
申请日：2016-07-13
申请人：国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学
发明人：松井　文彦 , 松田　博之
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/05 , H01J37/075 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J43/24
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/075 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J43/24
摘要：点源から放出される荷電粒子を広立体角範囲にわたり取り込み、荷電粒子の軌跡を平行化するコンパクトな装置を提供する。点源に対し凹面状を有する軸対称な非球面メッシュ（２）および軸対称な複数の電極（１０～１４）から成る静電レンズと、静電レンズと同軸に配置される平面コリメータプレート（３）とから構成される。点源（７）から発生した荷電粒子の取り込み角が±３０°以上で、荷電粒子の軌跡が静電レンズにより略平行化されるように、非球面メッシュ（２）の形状とアース電極（１０）と印加電極（１１～１５）の電位及び配置が調整されている。荷電粒子の軌跡が軸に対して略平行化された後で、荷電粒子が平面コリメータプレート（３）に対して略垂直に入射するように、静電レンズと平面コリメータプレートが共軸に配置されている。
摘要翻译：提供了一种紧凑的装置，其在宽立体角范围内捕获从点源发射的带电粒子并使所述带电粒子的轨迹平行化。本发明由以下构成：静电透镜，包括多个轴对称电极（10-14）和轴对称非球面网（2），其具有远离点源的凹面; 以及与静电透镜同轴设置的平坦准直板（3）。从点源（7）产生的带电粒子的接受角为±30°或更大。调整非球面形状（2）以及接地电极（10）和施加电极（11-15）的电位和位置，使得带电粒子的轨迹基本上与静电透镜平行。静电透镜和平面准直板位于公共轴上，使得在带电粒子的轨迹相对于轴线基本平行化之后，带电粒子以入射角进入平坦准直板（3）基本上垂直于其。

68. 发明申请

WO2016092642A1 荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：WO2016092642A1
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：PCT/JP2014/082611
申请日：2014-12-10
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：水原　譲 , 横須賀　俊之 , 数見　秀之 , 黒澤　浩一 , 明珍　健一
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/12
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/05 , H01J37/244
摘要：　本発明は、荷電粒子線装置のカラム内部に衝突して失われてしまう荷電粒子の量を抑制し、高効率に荷電粒子検出を行うことを目的とするものである。この目的を達成するために、荷電粒子ビームを集束する対物レンズ（８）と、当該対物レンズと前記荷電粒子源との間に配置される検出器（１５）と、前記試料から放出された荷電粒子を前記荷電粒子ビームより離軸するように偏向する偏向器（１６）と、当該偏向器と前記対物レンズとの間に配置され、前記偏向器の偏向点に向かって、前記試料から放出された荷電粒子を集束する複数の静電レンズを形成する複数の電極（１９）を備えた荷電粒子線装置を提案する。
摘要翻译：本发明的目的是减少与带电粒子束装置的柱的内部碰撞而损失的带电粒子的量，并以高效率检测带电粒子。为了实现该目的，提出了一种带电粒子束装置，其设置有：聚焦带电粒子束的物镜（8）; 设置在物镜和带电粒子源之间的检测器（15）; 偏转器（16），其使从样品发射的带电粒子偏转，使得带电粒子与带电粒子束的轴线分离; 以及设置在偏转器和物镜之间并且形成多个静电透镜的多个电极（19），用于将从样品发射的带电粒子聚焦在偏转器的偏转点上。

69. 发明申请

WO2015166849A1 電子線装置审中-公开
标题翻译：电子束装置
公开(公告)号：WO2015166849A1
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：PCT/JP2015/062178
申请日：2015-04-22
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：野間口　恒典 , 揚村　寿英
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/04 , H01J37/065 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04756 , H01J2237/14
摘要：　電子線装置において、外乱による影響を受けにくくし、かつ、高空間分解能と高輝度を両立する。電子線装置において、例えば、電子線を発生する電子源（１０１）と、電子線を試料（１１４）上に集束する対物レンズとの間に、高電圧のビーム管（１１０）を電子源（１０１）側に、低電圧のビーム管（１１２）を対物レンズ側に配置することに関する。これにより、例え試料に積極的に磁場を漏らすタイプの対物レンズを備えたＳＥＭであっても、空間分解能を維持しつつ、高輝度化を図ることができる。
摘要翻译：本发明提供一种实现高空间分辨率和高亮度的电子束装置，同时不受外部干扰的影响。电子束装置技术领域本发明涉及一种电子束装置，其中，在例如用于产生电子束的电子源（101）和用于将电子束聚焦到样品（114）上的物镜之间，高压束管（110））设置在电子源（101）附近，并且低压射束管（112）靠近物镜设置。这使得即使使用设置有主动地将磁场泄漏到样品上的物镜的类型的SEM，也可以在保持空间分辨率的同时实现高亮度。

70. 发明申请

WO2015071438A1 MULTI-ELECTRODE ELECTRON OPTICS 审中-公开
标题翻译：多电极电子光学
公开(公告)号：WO2015071438A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/074679
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.
发明人： WIELAND, Marco Jan-Jaco , URBANUS, Willem Henk
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to a collimator electrode stack (70), comprising: - at least three collimator electrodes (71-80) for collimating a charged particle beam along an optical axis (A), wherein each collimator electrode comprises an electrode body with an electrode aperture for allowing passage to the charged particle beam, wherein the electrode bodies are spaced along an axial direction (Z) which is substantially parallel with the optical axis, and wherein the electrode apertures are coaxially aligned along the optical axis; and - a plurality of spacing structures (89) provided between each pair of adjacent collimator electrodes and made of an electrically insulating material, for positioning the collimator electrodes at predetermined distances along the axial direction. Each of the collimator electrodes (71-80) is electrically connected to a separate voltage output (151-160). The invention further relates to a method of operating a charged particle beam generator.
摘要翻译：本发明涉及一种准直器电极堆（70），包括： - 至少三个用于沿光轴（A）对带电粒子束进行准直的准直器电极（71-80），其中每个准直器电极包括具有用于允许通过带电粒子束的电极孔的电极体，其中电极体沿基本平行于光轴的轴向方向（Z）间隔开，并且其中电极孔沿着光轴; 以及 - 设置在每对相邻准直器电极之间并由电绝缘材料制成的多个间隔结构（89），用于沿着轴向方向以预定距离定位准直器电极。每个准直器电极（71-80）电连接到单独的电压输出（151-160）。本发明还涉及一种操作带电粒子束发生器的方法。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式