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51. 发明申请

WO01006220A1 PRESSURE SENSOR SUPPORT BASE WITH CAVITY 审中-公开
标题翻译：压力传感器支持基座
公开(公告)号：WO01006220A1
公开(公告)日：2001-01-25
申请号：PCT/US2000/019377
申请日：2000-07-14
IPC分类号： G01L9/12 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/0072
摘要： A capacitive pressure sensor capsule having a support base (36) with a cavity is provided. The capsule includes a housing having a ceramic cover (24) sealingly attached to a ceramic base (36) to define an interior chamber. The base has a cavity facing this interior chamber and at least one hole adjacent the cavity that extends through said base. A glass sensor comprising a first diaphragm (12) with a first electrode thereon and a second diaphragm (14) with a second electrode thereon bonded together to form a capacitor is mounted in the chamber so that one of the diaphragms is received within the cavity and the other diaphragm lies on the surface of said base and covers the hole. A conducting member (52) extends from said sensor, through the hole to electronic circuitry (33) mounted to the capsule. The cavity also has a land for supporting the diaphragm disposed in therein.
摘要翻译：提供一种具有带空腔的支撑基座（36）的电容式压力传感器胶囊。胶囊包括具有密封地连接到陶瓷基座（36）以限定内部腔室的陶瓷盖（24）的壳体。底座具有面向该内室的空腔和邻近腔的至少一个孔，其延伸穿过所述底座。玻璃传感器包括其上具有第一电极的第一隔膜（12）和其上连接有第二电极以形成电容器的第二隔膜（14），其中一个隔膜被容纳在空腔内，并且另一个隔膜位于所述基座的表面上并覆盖该孔。导电构件（52）从所述传感器延伸穿过孔到安装到胶囊的电子电路（33）。空腔还具有用于支撑设置在其中的隔膜的平台。

52. 发明申请

WO00011444A1 SEALED CAPACITIVE PRESSURE SENSORS 审中-公开
标题翻译：密封电容式传感器
公开(公告)号：WO00011444A1
公开(公告)日：2000-03-02
申请号：PCT/US1999/018702
申请日：1999-08-17
IPC分类号： G01L1/14 , G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L1/148 , G01L9/0073 , Y10T29/42 , Y10T29/49002
摘要： A micromachined pressure sensor is formed with a minimum number of masking and processing steps. The structure measures changes in pressure by deflection of structures having capacitive plates external to a sealed cavity so that electrical leads can be readily connected to the plates formed on the structures. The pressure sensor includes a substrate, a base secured to the substrate and a diaphragm secured to the base to define a sealed cavity. A skirt may extend outwardly from the base above the substrate to form one of the plates of the capacitor with another plate formed on the base. Changes in ambient pressure deflect the skirt toward or away from the electrode on the substrate, changing the effective capacitance between the electrodes. Electrical connections may be made to the electrode on the skirt and the electrode on the substrate utilizing electrical connectors which are external to the base and thus external to the sealed cavity.
摘要翻译：微加工压力传感器形成有最少数量的掩模和处理步骤。该结构通过具有在密封空腔外部的电容板的结构的偏转来测量压力变化，使得电引线可以容易地连接到在结构上形成的板。压力传感器包括基板，固定到基板的基座和固定到基座以限定密封空腔的隔膜。裙部可以从基底上方的基部向外延伸以形成电容器的一个板，而另一个板形成在基座上。环境压力的变化使裙部朝向或远离衬底上的电极偏转，改变了电极之间的有效电容。可以使用在基座外部并且因此在密封空腔外部的电连接器对裙部上的电极和基板上的电极进行电连接。

53. 发明申请

WO99064833A1 CAPACITANCE TYPE SENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式传感器
公开(公告)号：WO99064833A1
公开(公告)日：1999-12-16
申请号：PCT/JP1999/003038
申请日：1999-06-08
IPC分类号： G01K7/34 , G01L1/14 , G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/0072
摘要： A capacitance type sensor comprising a first electrode (10a, 10b, 10c, 30) and a second electrode (20a, 20b, 20c, 20d) disposed opposite to and out of contact with each other with the gap between them changing with a change in detected amount, and a signal processing unit (4) for calculating a detected amount based on a capacitance formed between the first and second electrodes, wherein the first electrode is provided with a portion (12a, 14a) of which area opposite to the second electrode increases and a portion (12b, 14b) of which area opposite to the second electrode decreases according to a positional error produced in directions (x, y) parallel to the first electrode, these portions having the same area.
摘要翻译：一种电容式传感器，包括第一电极（10a，10b，10c，30）和与它们之间的间隙相对设置并彼此接触的第二电极（20a，20b，20c，20d），其间的间隙随着其变化而变化以及信号处理单元（4），用于基于形成在第一和第二电极之间的电容来计算检测量，其中第一电极设置有与第二电极相对的区域的部分（12a，14a）并且与第二电极相反的区域的部分（12b，14b）根据与第一电极平行的方向（x，y）产生的位置误差而减小，这些部分具有相同的面积。

54. 发明申请

WO99042847A1 IMPEDANCE DETECTION APPARATUS AND METHOD 审中-公开
标题翻译：阻抗检测装置和方法
公开(公告)号：WO99042847A1
公开(公告)日：1999-08-26
申请号：PCT/JP1999/000735
申请日：1999-02-19
IPC分类号： G01D5/24 , G01D5/241 , G01H11/06 , G01L9/12 , G01R27/26 , H04R5/04
CPC分类号： G01D5/2417 , G01D5/24 , G01D5/2405 , G01H11/06 , H04R5/04
摘要： An apparatus for detecting an impedance variable in response to a sensed physical amount of a sensor is provided which comprises an impedance-frequency conversion unit and a counter. The impedance-frequency conversion unit converts the sensor impedance to an oscillation signal a frequency of which corresponds to the sensor impedance. The impedance-frequency conversion unit comprises an impedance-voltage converter for providing a voltage corresponding to the sensor impedance, and a Wien bridge oscillator including an element an impedance of which varies in response to the voltage from the impedance-voltage converter, for generating the oscillation signal. The Wien bridge oscillator is capable of generating a square wave signal as the oscillation signal. The counter counts the number of waves (or wave number) of the oscillation signal in a predetermined time period to output a count value which can be handled as a digital signal.
摘要翻译：提供了一种用于响应于感测到的传感器的物理量来检测阻抗变量的装置，其包括阻抗 - 频率转换单元和计数器。阻抗 - 频率转换单元将传感器阻抗转换成其频率对应于传感器阻抗的振荡信号。阻抗 - 频率转换单元包括用于提供对应于传感器阻抗的电压的阻抗 - 电压转换器，以及包括响应于来自阻抗 - 电压转换器的电压而变化的阻抗的元件的维恩桥式振荡器，用于产生振荡信号。维恩桥式振荡器能够产生方波信号作为振荡信号。计数器在预定时间段内对振荡信号的波数（或波数）进行计数，以输出可作为数字信号处理的计数值。

55. 发明申请

WO9928721A9 PRESSURE TRANSDUCER HOUSING WITH BAROMETRIC PRESSURE ISOLATION 审中-公开
标题翻译：压力传感器外壳与压力隔离隔离
公开(公告)号：WO9928721A9
公开(公告)日：1999-08-19
申请号：PCT/US9825772
申请日：1998-12-04
申请人： SETRA SYSTEMS INC
发明人： LETHBRIDGE PAUL
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L19/142 , G01L9/0072 , G01L19/147
摘要： A circular membrane diaphragm (14) is edge-mounted on a generally cylindrical housing structure (12) that allows the diaphragm to deform when a differential pressure is applied across it. The housing structure also supports a circular electrode in an internal chamber and in close proximity to the back surface of the diaphragm to form a variable capacitor. The outer side of the membrane is exposed to a second chamber defined by the housing structure and a cover (30).
摘要翻译：圆形膜片（14）边缘安装在大致圆柱形的壳体结构（12）上，当隔离其上施加压差时，允许隔膜变形。壳体结构还在内室中支撑圆形电极并且紧邻隔膜的后表面以形成可变电容器。膜的外侧暴露于由壳体结构限定的第二室和盖（30）。

56. 发明申请

WO9810252A2 WAFER FABRICATED ELECTROACOUSTIC TRANSDUCER 审中-公开
标题翻译： WAFER织物电动传感器
公开(公告)号：WO9810252A2
公开(公告)日：1998-03-12
申请号：PCT/US9715643
申请日：1997-09-05
申请人： NORTHROP GRUMMAN CORP
发明人： BEAVERS BOB R
IPC分类号： G01L9/12 , H04R1/00 , H04R19/04 , H04R31/00 , G01F11/06
CPC分类号： H04R31/00 , H04R19/04 , H04R31/006 , Y10T29/42 , Y10T29/43 , Y10T29/49005 , Y10T29/49226 , Y10T29/49789
摘要： A capacitive electroacoustic transducer (10) which includes an electrically insulative substrate (19), a layer of conductive material disposed (16) on a portion of a top surface of the substrate forming a first electrode of the transducer, a conductive diaphragm (22) forming a second electrode of the transducer which is deflectable in relation to the first electrode, and a structure (18) for electrically and physically separating the first and second electrodes in spaced relationship so as to constitute a capacitor. This transducer exhibits a high degree of thermal stability partly due to the substrate and diaphragm being made of materials having closely matched thermal expansion coefficients. This feature ensures that the tension in the diaphragm stays consistent even with varying temperatures, thereby maintaining a constant transducer sensitivity. In addition, the distance separating the first and second electrodes is minimized so as to create a short thermal expansion path. This short path length minimizing changes in the response of the transducer due to variations in temperature. This transducer can also be batch produced.
摘要翻译：一种电容式电声换能器（10），其包括电绝缘基板（19），在形成所述换能器的第一电极的所述基板的顶表面的一部分上设置（16）的导电材料层，导电隔膜（22）形成相对于第一电极可偏转的换能器的第二电极，以及用于以间隔的关系电气和物理地分离第一和第二电极以构成电容器的结构（18）。该传感器表现出高度的热稳定性，部分原因是基板和隔膜由具有紧密匹配的热膨胀系数的材料制成。该特征确保即使在变化的温度下，隔膜中的张力保持一致，从而保持恒定的传感器灵敏度。此外，分离第一和第二电极的距离被最小化以产生短的热膨胀路径。该短路径长度最小化由于温度变化导致的换能器响应的变化。该传感器也可以批量生产。

57. 发明申请

WO9115742A3 PRESSURE SENSING CAPACITOR, AND TRANSDUCER 审中-公开
标题翻译：压力传感电容器和传感器
公开(公告)号：WO9115742A3
公开(公告)日：1991-11-14
申请号：PCT/GB9100523
申请日：1991-04-04
申请人： SHELTON RICHARD DENNIS
发明人： SHELTON RICHARD DENNIS
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0075
摘要： A pressure sensing capacitor utilising two planar layers (41, 141) of conductive material disposed substantially parallel to each other, but separated by a narrow gap. The conductive layers are formed as coatings on two imperforate insulative plates (11, 111), at least one of the plates being a diaphragm adapted to flex when subjected to a change in pressure. The diaphragm is supported by a first wall portion (20) which extends rearwardly away from the front surface of the diaphragm, and by an inwardly facing edge (22) of the peripheral portion (14) to which it is integrally connected. The capacitor can be electrically connected to electronic circuitry adapted to condition the capacitor output signal to an indication of pressure, or pressure difference, and so can be part of a transducer.

58. 发明申请

WO2023284552A1 一种压差传感器压力平衡体系审中-公开
公开(公告)号：WO2023284552A1
公开(公告)日：2023-01-19
申请号：PCT/CN2022/102238
申请日：2022-06-29
申请人：重庆市伟岸测器制造股份有限公司
发明人：唐田 , 朱建 , 刘庆 , 杨小华
IPC分类号： G01L19/06 , G01L13/06 , G01L13/02 , G01L9/00 , G01L9/12
摘要：一种压差传感器压力平衡体系，包括膜片式压力传感器（100），该膜片式压力传感器（100）设有两个传压腔体，两个传压腔体分别连接有引压管（130），引压管（130）与膜片式压力传感器（100）的外壁密封，膜片式压力传感器（100）外罩设有封闭的稳压盒（200），稳压盒（200）与膜片式压力传感器（100）之间的空间形成稳压腔（230），两个引压管（130）分别向外穿出稳压盒（200），并与稳压盒（200）的壁密封，其中任意一个引压管（130）的管壁上对应稳压腔（230）开设有流体连通口（140），该流体连通口（140）将引压管（130）与稳压腔（230）连通。该压力平衡体系为膜片式压力传感器（100）提供结构紧凑的稳压盒（200），并且巧妙地通过流体连通口（140）将其中一个传压腔体与稳压腔（230）连通，在实现膜片式压力传感器（100）内外压力平衡的同时，保持整个平衡体系结构简单。

59. 发明申请

WO2022148603A1 ANALOGE FRONTENDARCHITEKTUR FÜR KAPAZITIVEN DRUCKSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2022148603A1
公开(公告)日：2022-07-14
申请号：PCT/EP2021/085347
申请日：2021-12-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MUSAZZI, Massimiliano , TANGREDI, Domenico , DAVID, Filippo , CAZZANIGA, Gabriele , SANTORO, Manuel Salvatore
IPC分类号： H03F3/70 , H03F3/72 , H03F1/34 , H03F3/45 , G01L9/12 , G01D5/24
摘要： Die Erfindung betrifft eine analoge Frontend-Architektur (100) für einen kapazitiven Drucksensor (109) mit einer rauscharmen Verstärkereinheit (101) zum rauscharmen Verstärken von Sensorsignalen des kapazitiven Drucksensors (109), wobei die rauscharme Verstärkereinheit (101) eine erste Integrator-Einheit (103) und eine zweite Integrator Einheit (105) zum Integrieren von in Eingangsanschlüsse (INP, INN) der rauscharmen Verstärkereinheit (101) eingespeisten Ladungen und zum Ausgeben von integrierten Ladungen an Ausgangsanschlüsse (OUT1, OU2) der rauscharmen Verstärkereinheit (101), eine Feedback- Einheit (107) und eine Startup-Einheit (108) umfasst, wobei die Feedback-Einheit (107) eingerichtet ist, integrierte Ladungen aus der Integrator-Einheit (105) erneut in die Eingangsanschlüsse (INP, INN) der rauscharmen Verstärkereinheit (101) einzuspeisen, und wobei die Startup-Einheit (108) zwischen einem ersten Schaltzustand und einem zweiten Schaltzustand verschaltbar und eingerichtet ist, im ersten Schaltzustand die in die Eingangsanschlüssen (INP, INN) eingespeisten Ladungen an der ersten Integrator-Einheit (103) vorbei, in die zweite Integrator-Einheit (105) und von der zweiten Integrator-Einheit (105) in die Feedback-Einheit (107) zu leiten, und im zweiten Schaltzustand die in die Eingangsanschlüsse (INP, INN) eingespeisten Ladungen direkt in die erste Integrator- Einheit (103) zu leiten.

60. 发明申请

WO2022042964A1 VERFAHREN ZUR FUNKTIONSÜBERWACHUNG EINER KAPAZITIVEN DRUCKMESSZELLE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022042964A1
公开(公告)日：2022-03-03
申请号：PCT/EP2021/070678
申请日：2021-07-23
申请人： IFM ELECTRONIC GMBH
发明人： KIMBEL, Peter , MAURUS, Manfred , KUHNHÄUSER, Fabian , BLANKENHORN, Oliver
IPC分类号： G01L9/00 , G01D5/24 , G01L9/12 , G01L19/04 , G01L23/12 , G01L27/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Funktionsüberwachung einer kapazitiven Druckmesszelle (10), die einen Messkondensator (CM) und einen Referenzkondensator (CR) sowie ein Temperaturelement aufweist, wobei in einer Auswerteeinheit der Druckmesswert p durch Bildung des Quotienten Q aus den Kapazitätswerten des Referenzkondensators (CR) und des Messkondensators (CM) gewonnen wird. Das Verfahren ist dabei durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet: - in einer Abgleichprozedur sind jeweils die Kennlinie des Quotienten Q und der Kapazitätswerte des Messkondensators (CM) über dem Druck und zu verschiedenen Temperaturszenarien in einer Lookup-Tabelle abgelegt worden; - kontinuierlich wird dem ermittelten Druckmesswert p bei der in diesem Moment durch das Temperaturelement erfassten Temperatur jeweils der dazugehörige Betrag des Quotienten Q sowie des Kapazitätswerts des Messkondensators (CM) aus der Lookup-Tabelle zugeordnet; - das Verhalten des Verlaufs der beiden Beträge des Quotienten Q sowie des Kapazitätswerts des Messkondensators (CM) wird miteinander verglichen; - bei signifikanter Abweichung von einem erwarteten Verhalten wird die Auswerteeinheit temporär in einen Sicherheitsbetrieb überführt und währenddessen der Gradient des Temperaturelements erfasst und ausgewertet; - im Falle eines signifikanten Anstiegs des Gradienten des Temperaturelements eine Temperaturkompensation eingeleitet wird oder im Falle eines unveränderten Gradienten des Temperaturelements ein Fehlersignal erzeugt wird.

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