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41. 发明申请

WO2015001936A1 塗布膜の形成方法及びコンピュータ記憶媒体审中-公开
标题翻译：形成涂膜和计算机存储介质的方法
公开(公告)号：WO2015001936A1
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：PCT/JP2014/065576
申请日：2014-06-12
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：上田　健一
IPC分类号： H01L21/027 , B05C9/14 , G03F7/16 , H01L21/3065 , H05B3/10
CPC分类号： H05B1/0233 , G03F7/168 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/02318 , H01L21/02323 , H01L21/02337 , H01L21/0271 , H01L21/3105 , H01L21/67115
摘要：　段差を有するパターンが形成された基板に塗布膜を形成する方法であって、塗布液が塗布された基板を、当該塗布液の溶剤の揮発温度以上で且つガラス転移点より低い温度である第１の温度で加熱する第１の加熱工程と、塗布液のガラス転移点以上で且つ前記塗布液の架橋開始温度より低い第２の温度で基板を加熱する第２の加熱工程と、塗布液の架橋開始温度以上で且つ塗布膜の材料分解温度よりも低い第３の温度で基板を加熱して塗布膜を形成する第３の加熱工程と、を有し、基板の加熱は光の照射によって行う。
摘要翻译：一种在具有凹凸图案的基板上形成涂膜的方法，其特征在于，包括：第一加热步骤，用于在不低于挥发度的第一温度下对涂布有涂布液的基板进行加热涂布液的溶剂的温度，但低于其玻璃化转变温度; 第二加热步骤，用于在不低于涂布液的玻璃化转变温度但低于涂布液的交联起始温度的第二温度下加热基材; 以及第三加热步骤，用于在不低于涂布液的交联引发温度但低于涂膜的材料分解温度的第三温度下加热基材来形成涂膜。在这方面，通过光照射来加热衬底。

42. 发明申请

WO2014149294A1 SOLVENT ANNEAL PROCESSING FOR DIRECTED-SELF-ASSEMBLY APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译：解决方案自动组装应用的解决方案
公开(公告)号：WO2014149294A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/US2014/016776
申请日：2014-02-18
申请人： TOKYO ELECTRON LIMITED , TOKYO ELECTRON U.S. HOLDINGS, INC.
发明人： SOMERVELL, Mark, H.
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/16
CPC分类号： H01L22/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/168 , H01L21/324
摘要： A method (10) and apparatus (100) for solvent annealing a layered substrate including a layer of a block copolymer are provided. The method (10) includes (a) introducing an annealing gas into a processing chamber (20); (b) maintaining the annealing gas in the processing chamber for a first time period (30); (c) removing the annealing gas from the processing chamber (40); and (d) repeating steps (a)-(c) a plurality of times in order induce the block copolymer to undergo cyclic self-assembly (50). The apparatus (100) includes a processing chamber (1 12) comprising a process space (126); a substrate support surface (134) in the process space (126); a solvent annealing gas supply (170) and a purge gas supply (178), both in fluid communication with the process space (126); a heating element (220) positioned within the processing chamber (1 12); an exhaust port (190) in the processing chamber (1 12); and a sequencing device (216) programmed to control the annealing gas supply valve (175), the heating element (220), the exhaust port valve (194), and the purge gas supply valve (180).
摘要翻译：提供了一种用于对含有嵌段共聚物层的层状基材进行溶剂退火的方法（10）和装置（100）。方法（10）包括（a）将退火气体引入到处理室（20）中; （b）将处理室中的退火气体保持第一时间段（30）; （c）从处理室（40）去除退火气体; 和（d）重复步骤（a） - （c）多次以便引发嵌段共聚物进行循环自组装（50）。该设备（100）包括一个包括处理空间（126）的处理室（112）。处理空间（126）中的衬底支撑表面（134）; 与处理空间（126）流体连通的溶剂退火气体供应（170）和净化气体供应（178）; 位于所述处理室（112）内的加热元件（220）; 处理室（112）中的排气口（190）; 以及编程为控制退火气体供给阀（175），加热元件（220），排气口阀（194）和净化气体供给阀（180）的排序装置（216）。

43. 发明申请

WO2014126034A1 インクジェット塗布用感光性樹脂組成物、熱処理物及びその製造方法、樹脂パターン製造方法、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、タッチパネル及びその製造方法、並びに、タッチパネル表示装置审中-公开
标题翻译：用于喷墨应用的光敏树脂组合物，热处理物质，其制造方法，树脂图案制造方法，液晶显示器，有机电致发光显示器，触摸板，其制造方法和触摸屏显示器
公开(公告)号：WO2014126034A1
公开(公告)日：2014-08-21
申请号：PCT/JP2014/053024
申请日：2014-02-10
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：山下　史絵 , 藤本　進二
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC分类号： H01L27/3241 , G03F7/0047 , G03F7/0048 , G03F7/0397 , H01L51/5275 , H01L2251/5369
摘要：　インクジェット吐出性、乾燥性、保存安定性、及び、熱処理後の透明性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。　本発明のインクジェット塗布用感光性樹脂組成物は、（成分Ａ）無機粒子、（成分Ｂ）溶剤、（成分Ｃ）酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含む重合体、及び、（成分Ｄ）光酸発生剤を含有し、成分Ｂが、沸点が１７７℃以上２２７℃以下であり、かつ、Ｉ／Ｏ値が０．５０以上１．００以下の非アルコール系溶剤を含むことを特徴とする。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种表现出优异的喷墨放电性能和储存稳定性，快速干燥并且在热处理之后是高度透明的感光性树脂组合物。该喷墨用感光性树脂组合物的特征在于，含有以下物质：无机粒子（A成分）溶剂（组分B）; 含有具有酸基被酸可降解基团保护的基团的结构单元的聚合物（C成分）和光酸产生剂（组分D）。该感光性树脂的特征还在于，B成分含有沸点为177℃〜227℃，含有0.50〜1.00的I / O值的非醇溶剂。

44. 发明申请

WO2014107907A1 一种基板涂布机的管路排泡方法、管路排泡装置及相应的涂布机审中-公开
公开(公告)号：WO2014107907A1
公开(公告)日：2014-07-17
申请号：PCT/CN2013/070478
申请日：2013-01-15
申请人：深圳市华星光电技术有限公司
发明人：李良 , 柯智胜 , 徐彬
IPC分类号： G03F7/16 , B05C11/10
CPC分类号： G03F7/16 , B01D19/00 , B05C11/10
摘要：一种基板涂布机的管路排泡方法、管路排泡装置（10）及相应的涂布机（1），其中管路排泡方法至少包括如下步骤：启动注射泵（100）持续一第一时间，所述注射泵（100）将光阻从储存容器（2）注射到涂布机（1）的涂布机管道（11）中；驱动所述光阻在所述涂布机（1）的涂布机管道（11）中流动，进行一次排泡处理过程；在该次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵（100）持续一第二时间；待所述涂布机管道（11）中的小气泡在该第二时间积聚后，再次启动注射泵（100），重复排泡过程，直至所述涂布机管道（11）中的所有小气泡排泡完成。通过上述排泡方法，可以提高管路的排泡效率，并能节省光阻。

45. 发明申请

WO2013042916A1 감광제를 이용하여 그래핀을 제조하는 방법 审中-公开
标题翻译：使用光敏剂制备石墨的方法
公开(公告)号：WO2013042916A1
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：PCT/KR2012/007450
申请日：2012-09-18
申请人： 동국대학교 산학협력단
发明人： 이상욱 , 헝마이피 , 파닌겐나디 , 강태원
IPC分类号： C01B31/02 , G03F7/26 , G03F7/16 , H01B1/04
CPC分类号： H01B1/04 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/184
摘要： 본 발명은 그래핀 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법은 기판 상에 감광층을 형성하는 단계, 및 상기 감광층을 가열하여 상기 기판 상에 그래핀을 성장하는 단계를 포함하고, 상기 가열결과 상기 감광층이 그래핀으로 되는 것을 특징으로 하며, 감광층을 이용하여 양질의 그래핀을 성장시킬 수 있으며, 코팅된 감광층을 노광시켜 패턴을 형성한 형태대로 그래핀이 형성되므로, 그래핀의 패터닝 공정을 기존에 비해 대폭 간략화시킬 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及石墨烯的制备方法。根据本发明，石墨烯的制备方法包括以下步骤：在基材上形成感光层; 并加热感光层以使石墨烯在衬底上生长，其中感光层通过加热变成石墨烯。可以使用感光层使高质量的石墨烯生长，并且将石墨烯形成为通过使涂布的感光层曝光而形成的图案的形状，从而大大简化了与常规情况相比的石墨烯的图案化工艺。

46. 发明申请

WO2012129162A2 METHODS OF MAKING PATTERNED STRUCTURES OF MATERIALS, PATTERNED STRUCTURES OF MATERIALS, AND METHODS OF USING SAME 审中-公开
标题翻译：制作材料图案结构的方法，材料的图案结构及其使用方法
公开(公告)号：WO2012129162A2
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：PCT/US2012/029653
申请日：2012-03-19
申请人： CORNELL UNIVERSITY , SCHWARTZ, Evan, L. , CHAN, Wei, Min , LEE, Jin-kyun , TIWARI, Sandip , OBER, Christopher, K.
发明人： SCHWARTZ, Evan, L. , CHAN, Wei, Min , LEE, Jin-kyun , TIWARI, Sandip , OBER, Christopher, K.
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/16 , H01L21/027 , H01L51/50
CPC分类号： G03F7/16 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , G03F7/0002 , G03F7/038 , H01L21/027 , Y10T428/24851
摘要： A method for forming patterns of organic polymer materials. The method can be used to form a layer with two patterned organic polymer materials. The photoresist and solvents used in the photoresist deposition and removal steps do not substantially affect the organic polymer materials.
摘要翻译：一种形成有机聚合物材料图案的方法。该方法可用于形成具有两个图案化有机聚合物材料的层。在光致抗蚀剂沉积和去除步骤中使用的光致抗蚀剂和溶剂基本上不影响有机聚合物材料。

47. 发明申请

WO2011131121A1 胶涂覆设备及胶涂覆方法审中-公开
公开(公告)号：WO2011131121A1
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：PCT/CN2011/073010
申请日：2011-04-19
申请人：北京京东方光电科技有限公司 , 周伟峰 , 郭建 , 明星
发明人：周伟峰 , 郭建 , 明星
IPC分类号： G03F7/16 , H01L21/027 , B05C9/06 , B05C5/02
CPC分类号： B05C5/027 , B05C9/06 , G03F7/16 , H01L21/6715

48. 发明申请

WO2011102201A1 塗布方法及び塗布装置审中-公开
标题翻译：应用方法和应用设备
公开(公告)号：WO2011102201A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/JP2011/051616
申请日：2011-01-27
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 白石雅敏 , 石井貴幸
发明人：白石　雅敏 , 石井　貴幸
IPC分类号： B05D1/26 , B05C11/08 , B05D1/40 , G03F7/16
CPC分类号： H01L21/6715 , B05D1/005
摘要：　本発明は、基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する方法であって、基板を水平に保持する基板保持部に基板を保持させ、吐出口を備え、この吐出口を含む塗布液の流路が毛細管状に構成された塗布ノズルの吐出口を、基板に対して近接させた状態で相対的に移動させながら、吐出口から毛細管現象により塗布液を引き出して基板に塗布する。その後、基板上の塗布液が基板から飛散しない回転数で基板を回転させる。基板の回転は、基板保持部を鉛直軸まわりに回転させることにより行う。
摘要翻译：一种通过在其上供给涂布液而在基板上形成涂膜的方法。使用于水平保持基板的基板保持部保持基板。然后，当施加喷嘴的排出口位于靠近基板并且相对于基板移动时，通过毛细作用将喷射液从排出口抽出并施加到基板上，施加喷嘴具有用于所述施加液体包括所述排出口，所述流路构造为毛细管的形式。之后，基板以基板上的涂布液从基板散射的速度旋转。通过使基板保持部分绕垂直轴旋转来旋转基板。

49. 发明申请

WO2011068951A1 MAGNETIC REVERSIBLY ATTACHED TEMPLATE (MRAT) AND USES THEREFOR 审中-公开
标题翻译：磁性反连接模板（MRAT）及其用途
公开(公告)号：WO2011068951A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/US2010/058699
申请日：2010-12-02
申请人： VANDERBILT UNIVERSITY , ZIJLSTRA, Andries , ASHBY, William , WIKSWO, John , SAMSON, Philip
发明人： ZIJLSTRA, Andries , ASHBY, William , WIKSWO, John , SAMSON, Philip
IPC分类号： G03F7/12 , G03F7/16 , C12N5/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： The magnetic reversibly attached template (MRAT) are solid devices made of biocompatible material containing a magnetic material. These devices can be made in any shape using microfabrication, milling, and molding and can be positioned and secured using magnetic forces. The applications of the M RAT encompass the patterning of biological and non-biological materials including cells, nucleic acids, peptides, proteins, aqueous solutions, polymers, rubbers, and other reagents on solid surfaces.
摘要翻译：磁性可逆连接的模板（MRAT）是由包含磁性材料的生物相容材料制成的固体装置。这些装置可以使用微细加工，铣削和模制成任何形状，并且可以使用磁力定位和固定。 M RAT的应用包括在固体表面上的生物和非生物材料的图案化，包括细胞，核酸，肽，蛋白质，水溶液，聚合物，橡胶和其它试剂。

50. 发明申请

WO2011030744A1 感光性樹脂組成物および感光性樹脂膜の製造方法审中-公开
标题翻译：光敏树脂组合物和生产感光树脂膜的方法
公开(公告)号：WO2011030744A1
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：PCT/JP2010/065293
申请日：2010-09-07
申请人：東レ株式会社 , 三好一登 , 富川真佐夫
发明人：三好一登 , 富川真佐夫
IPC分类号： G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/037 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0233 , G03F7/0048 , G03F7/037
摘要：　減圧乾燥に伴う泡の発生を抑制し、乾燥後の膜厚均一性に優れた感光性樹脂膜を形成することのできる感光性樹脂組成物を提供する。　（ａ）ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリイミドの前駆体、および、ポリベンゾオキサゾールの前駆体から選択される少なくとも１種以上の樹脂（ｂ）感光剤、（ｃ）大気圧下における沸点が１００℃以上１３０℃以下の有機溶媒および（ｄ）大気圧下における沸点が１５０℃以上で、２０℃における粘度が１．１ｍＰａ・ｓより大きく１．５ｍＰａ・ｓより小さい有機溶媒を含有し、かつ（ｃ）成分の含有量が有機溶媒全量に対して４０重量％以上９０重量％以下であり、（ｄ）成分の含有量が有機溶媒全量に対して１０重量％以上６０重量％以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。
摘要翻译：公开了一种在减压干燥期间抑制气泡形成并能够提供干燥后具有优异的膜厚均匀性的感光性树脂膜的感光性树脂组合物。具体公开了一种感光性树脂组合物，其特征在于含有（a）至少一种选自聚酰亚胺，聚苯并恶唑，聚酰亚胺前体和聚苯并恶唑前体的树脂，（b）敏化剂，（c）有沸点在大气压下为100-130℃（含），和（d）沸点在150℃以上的大气压和20℃下的粘度大于1.1mPa·s的有机溶剂但小于1.5mPa·s。感光性树脂组合物的特征还在于，相对于有机溶剂的总重量，成分（c）的含量为40〜90重量％（以下），成分（d）的含量为10〜60重量％（包括）相对于有机溶剂的总重量。

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