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    • 41. 发明申请
    • SEPARATING AGENT
    • 分离剂
    • WO2015005361A9
    • 2015-11-12
    • PCT/JP2014068237
    • 2014-07-08
    • NAT UNIV CORP KYOTO INST TECHDAICEL CORP
    • IKEGAMI TOHRUKAWACHI YUSUKEKUNISAWA AKIHIRO
    • G01N30/88B01J20/26C08F20/56C08F20/58C08F20/60
    • C08F292/00B01D15/305B01J20/286B01J20/289B01J20/3204B01J20/327B01J2220/82C08F20/54C08F20/60C08F2220/585C08F220/60C08F230/08
    • The problem addressed by the present invention is to provide a novel separating agent for hydrophilic interaction chromatography useful in separating hydrophilic compounds. The hydrophilic interaction chromatography separating agent, which is formed from a carrier and a ligand carried by the carrier, is a separating agent wherein the ligand is a (meth)acrylic polymer having a constituent unit derived from the compound indicated by formula (I). (In formula (I): there are one or two double bonds between atoms configuring a heterocycle; X1 is selected from the group consisting of S, SCH3 +, O, NH, NCH3, CH2, CHR, and CR1R2; and X2, X3, and X4 are each selected from the group consisting of N, NH, NCH3, CH2, CHR, NCH3 +, CH, CR, and CR1R2. R1 and R2 are each a substituted or unsubstituted alkyl having 1-18 carbon atoms, an aryl having 6-18 carbon atoms, an alkenyl having 2-18 carbon atoms, an alkynyl having 2-18 carbon atoms, an aralkyl having 7-18 carbon atoms, an acyl having 2-18 carbon atoms, a cycloalkyl having 3-18 carbon atoms, a carboxyl, an amino, an aryloxy having 6-18 carbon atoms, an alkoxy having 1-18 carbon atoms, a halo, a hydroxy, a nitro, or a cyano. R is a substituted or unsubstituted alkyl having 1-18 carbon atoms, an aryl having 6-18 carbon atoms, an alkenyl having 2-18 carbon atoms, an alkynyl having 2-18 carbon atoms, an aralkyl having 7-18 carbon atoms, an acyl having 2-18 carbon atoms, a cycloalkyl having 3-18 carbon atoms, a carboxyl, an amino, an aryloxy having 6-18 carbon atoms, an alkoxy having 1-18 carbon atoms, a halo, a hydroxy, a nitro, or a cyano. At least two of X1, X2, X3, and X4 are not CH2, CH, CR, or CR1R2, and R3 is H or CH3.)
    • 本发明解决的问题是提供一种用于分离亲水化合物的亲水相互作用层析的新型分离剂。 由载体和由载体携带的配位体形成的亲水相互作用层析分离剂是分离剂,其中配体是具有衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元的(甲基)丙烯酸聚合物。 (式(I)中:构成杂环的原子之间有一个或两个双键; X1选自S,SCH3 +,O,NH,NCH3,CH2,CHR和CR1R2; X2,X3 ,X4分别选自N,NH,NCH 3,CH 2,CHR,NCH 3 +,CH,CR和CR 1 R 2,R 1和R 2各自为具有1-18个碳原子的取代或未取代的烷基, 具有6-18个碳原子,具有2-18个碳原子的烯基,具有2-18个碳原子的炔基,具有7-18个碳原子的芳烷基,具有2-18个碳原子的酰基,具有3-18个碳原子的环烷基 原子,羧基,氨基,具有6-18个碳原子的芳氧基,具有1-18个碳原子的烷氧基,卤素,羟基,硝基或氰基。R是具有1-18个碳原子的取代或未取代的烷基 碳原子,具有6-18个碳原子的芳基,具有2-18个碳原子的烯基,具有2-18个碳原子的炔基,具有7-18个碳原子的芳烷基,具有2-18个碳原子的酰基,环烷基 有3 -18个碳原子,羧基,氨基,具有6-18个碳原子的芳氧基,具有1-18个碳原子的烷氧基,卤素,羟基,硝基或氰基。 X1,X2,X3和X4中的至少两个不是CH2,CH,CR或CR1R2,R3是H或CH3。
    • 42. 发明申请
    • パターン形成方法、感電子線又は感極紫外線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス
    • 图案形成方法,电子束敏感性或极端 - 超紫外线敏感性树脂组合物和使用其的耐腐蚀膜,制造电子器件的方法和电子器件
    • WO2014132703A1
    • 2014-09-04
    • PCT/JP2014/051019
    • 2014-01-20
    • 富士フイルム株式会社
    • 平野 修史滝沢 裕雄
    • G03F7/038C08F12/04C08F20/30C08F20/58G03F7/039G03F7/32H01L21/027
    • G03F7/2059C08F12/24C08F20/30C08F20/58G03F7/0045G03F7/0046G03F7/038G03F7/0392G03F7/0397G03F7/0758G03F7/11G03F7/2004G03F7/2041G03F7/325C08F212/14C08F220/20
    •  フッ素原子、フッ素原子を有する基、珪素原子を有する基、炭素数が6以上のアルキル基、炭素数が6以上のシクロアルキル基、炭素数が9以上のアリール基、炭素数が10以上のアラルキル基、少なくとも1個の炭素数3以上のアルキル基で置換されたアリール基、及び、少なくとも1個の炭素数5以上のシクロアルキル基で置換されたアリール基からなる群より選択される1つ以上の基を有する樹脂(Aa)と、酸の作用により極性が変化する樹脂(Ab)とを含有する感電子線又は感極紫外線性樹脂組成物を用いて、膜を形成する工程(1)、前記膜を電子線又は極紫外線を用いて露光する工程(2)、及び、露光後に有機溶剤を含む現像液を用いて現像を行い、ネガ型のパターンを形成する工程(3)をこの順序で含むパターン形成方法であって、前記感電子線又は感極紫外線性樹脂組成物中の固形分に対する、樹脂(Aa)の含有率が31~90質量%であるパターン形成方法により、超微細(例えば、数十nmオーダー)のライン幅又はスペース幅を有するパターンの形成において、良好なパターン形状、及び、高いアウトガス性能を同時に満足するパターン形成方法を提供する。また、上記パターン形成方法に用いられる感電子線又は感極紫外線性樹脂組成物、上記パターン形成方法を用いたレジスト膜、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。
    • 一种图案形成方法,其顺序包括:使用含有具有氟原子的树脂(Aa)和选自一个或多个基团的电子束敏感性或极紫外线敏感性树脂组合物形成膜的步骤(1) 由具有氟原子的基团,具有硅原子的基团,C6或更高级烷基,C6或更高级环烷基,C9或更高级的芳基,C10或更高的芳烷基,芳基 被至少一个C 3或更高级烷基取代的芳基和被至少一个C 5或更高级环烷基取代的芳基,其极性通过酸的作用而改变的树脂(Ab) 用于使用电子束或极紫外线曝光所述膜的步骤(2); 和使用包含曝光后的有机溶剂的显影液进行显影并形成负型图案的工序(3) 相对于电子束敏感性或极紫外线敏感性树脂组合物中的固体成分,树脂(Aa)的含有比例为31〜90质量%。 从而提供了在形成具有超细(例如,几十纳米)的线宽或空间宽度的图案的同时实现良好的图案形状和高排气性能的图案形成方法。 还提供了在上述图案形成方法中使用的电子束敏感或极紫外敏感性树脂组合物,使用上述图案形成方法的抗蚀剂膜,电子器件的制造方法和电子器件。