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41. 发明申请

WO2004114425A1 PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL MIT TEMPERIERVORRICHTUNG UND VERWENDUNG DES BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：随回火和使用组件的压电元件
公开(公告)号：WO2004114425A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/EP2004/050773
申请日：2004-05-12
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , SCHUH, Carsten
发明人： SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/053
CPC分类号： B82Y10/00 , F02M51/0603 , F02M59/468 , H01L41/0475 , H01L41/0533 , H01L41/083
摘要： Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Bauteil (1) mit mindestens einem Piezoelement (10), das mindestens zwei übereinander angeordnete Elektrodenschichten (11, 12, 22, 23) und mindestens eine zwischen den Elektrodenschichten angeordnete piezoelektrische Schicht (13, 24) aufweist, mit mindestens zwei elektrischen Anschlusselementen (30, 31) zur elektrischen Ansteuerung der Elektrodenschichten des Piezoelements und mindestens einem Mittel (50) zum Temperieren des Piezoelements. Das piezoelektrische Bauteil ist dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zum Temperieren des Piezoelements Kohlenstoff-Fasern aufweist, die von den Elektrodenschichten und den Anschlusselementen elektrisch isoliert sind. Die Kohlenstoff-Fasern weisen insbesondere Kohlenstoff-Nanoröhren (51) auf, die sich durch eine hohe thermische Leitfähigkeit und eine hohe Elastizität auszeichnen. Das Mittel zum Temperieren ist insbesondere eine Umhüllung des Piezoelements. Es liegt eine flexible und thermisch hochleitfähige Umhüllung des Piezoelements vor. Das piezoelektrische Bauteil ist insbesondere ein Piezoaktor mit einem Aktorkörper (20) in monolithischer Vielschichtbauweise. Mit Hilfe der Umhüllung mit den KohlenstoffNanoröhren kann Verlustwärme im Betrieb des Piezoaktors vom Aktorkörper effizient abgeleitet werden. Der Piezoaktor wird insbesondere in der Automobilindustrie zur Betätigung eines Einspritzventils eines Motors verwendet.
摘要翻译：本发明涉及具有包括至少两个堆叠的电极层（11，12，22，23）和至少一个是设置在所述电极层的压电层（13，24）之间的至少一个压电元件（10）的压电元件（1），具有至少两个电连接元件（30，31），用于在压电元件的电极层的电控制和用于控制压电元件的温度的至少一个装置（50）。压电元件的特征在于，用于控制被电电极层和所述连接元件绝缘压电元件的碳纤维的温度的装置。碳纤维具有，尤其是碳纳米管（51），其由具有高导热性和高弹性区分。用于控制温度的装置是特别是压电元件的外壳。有压电元件的一个灵活和高度导热性的壳。的压电元件是特别在单片多层设计的致动器主体（20）的压电致动器。随着涂层的帮助下与碳纳米管废热可以从致动器主体的压电致动器的操作过程中被有效地消散。压电致动器被特别使用在汽车工业中用于发动机的喷射阀的致动。

42. 发明申请

WO2003033935A1 DÄMPFUNGSVORRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUM BEDÄMPFEN VON BEWEGUNGEN IN EINER DÄMPFUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：材料阻尼的阻尼运动的装置和方法亏损DEVICE
公开(公告)号：WO2003033935A1
公开(公告)日：2003-04-24
申请号：PCT/DE2002/003730
申请日：2002-10-01
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , WOLFF, Andreas , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , DENZLER, Michael
发明人： WOLFF, Andreas , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , DENZLER, Michael
IPC分类号： F16F9/46
CPC分类号： F16F9/46 , F16F2224/0283 , F16F2228/04
摘要： Es wird unter anderem beschrieben eine Dämpfungsvorrichtung (10), mit wenigstens einer Dämpfungseinrichtung (20), aufweisend wenigstens eine erste Kammer (21) für ein Dämpfungsmedium, wenigstens eine zweite Kammer (22) für ein Dämpfungsmedium und wenigstens ein zwischen der wenigstens einen ersten (21) und der wenigstens einen zweiten (22) Kammer angeordnetes bewegliches Dämpfungselement (23), beispielsweise einen Kolben. Um eine Bedämpfung der Dämpfungsvorrichtung (10) insbesondere auch bei hochfrequenter Bewegung erreichen zu können, ist erfindungsgemäss vorgesehen, dass wenigstens eine erste Kammer (21) der ersten Dämpfungseinrichtung (20) über wenigstens eine Bypassleitung (11; 12, 13) mit wenigstens einer zweiten Kammer (22) der ersten Dämpfungseinrichtung (20) verbunden ist, dass in der Bypassleitung (11; 12, 13) wenigstens eine zweite Dämpfungseinrichtung (30) angeordnet ist, dass die zweite Dämpfungseinrichtung (30) wenigstens ein bewegliches Dämpfungselement (33), beispielsweise einen Kolben, aufweist, und dass das bewegliche Dämpfungselement (33) der zweiten Dämpfungseinrichtung (30) zumindest zeitweilig mit einem als wenigstens ein Piezoaktor ausgebildeten Antrieb (35) verbunden ist.
摘要翻译：据描述，除其他外，阻尼装置（10），具有至少一个用于阻尼介质阻尼装置（20），包括至少一个阻尼介质的第一腔室（21），至少一个第二腔室（22）和至少一个的至少一个之间的第一对（ 21）和所述至少一个第二（22）腔室设置可动阻尼元件（23），例如活塞。以获得在特定也阻尼装置（10）在高频率运动的阻尼，根据本发明提供的是通过至少一个旁通管路（11; 12，13）的第一阻尼装置（20）中的至少一个第一腔室（21）与至少一个第二室连接（22），所述第一阻尼装置（20），使得在所述旁通管线（11; 12，13）的至少一个第二阻尼装置（30）被布置成使得所述第二阻尼装置（30）的至少一个可移动减震元件（33），例如，包括活塞和所述第二阻尼装置（30）的可动阻尼构件（33）连接在被设计为至少一个压电致动器驱动器（35）至少是暂时的。

43. 发明申请

WO2003003478A2 PIEZOELEKTRISCHER BIEGEWANDLER 审中-公开
标题翻译：压电弯曲变压器
公开(公告)号：WO2003003478A2
公开(公告)日：2003-01-09
申请号：PCT/DE2002/002183
申请日：2002-06-14
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
发明人： SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
IPC分类号： H01L41/09
CPC分类号： H01L41/0926
摘要： Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Biegewandler (1) mit mindestens einem monolithischen Schichtverbund (2, 21), aufweisend eine piezoelektrisch aktive Keramikschicht (31) mit einer durch ein elektrisches Feld (312) erzeugbaren lateralen Abmessungsänderung (311) und mindestens eine weitere piezoelektrisch aktive Keramikschicht (32) mit einer durch ein weiteres elektrisches Feld (322) erzeugbaren, von der lateralen Abmessungsänderung (311) verschiedenen weiteren lateralen Abmessungsänderung (321). Gekennzeichnet ist der Biegewandler dadurch, dass zwischen den Keramikschichten eine Elektrodenschicht (411) zur Erzeugung der elektrischen Felder angeordnet ist. Vorzugsweise besteht der Schichtverbund aus mehreren piezoelektrisch aktiven Keramikschichten und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten. Der Hub wird dabei durch einen Gradienten der Abmessungsänderungen in Stapelrichtung (22) des Schichtverbundes erreicht. Über die Erzeugung der elektrischen Felder sind die Abmessungsänderungen der Keramikschichten und damit der Gradient einstellbar. Zur Erzielung eines Hubes benötigt der Biegewandler keine piezoelektrisch inaktive Schicht. Der Schichtverbund ist vorzugsweise ein Kreisscheibenbieger (21) mit einer runden Grundfläche. Für eine große Hubübersetzung sind mehrere Kreisscheibenbieger übereinander zu einem Stapel angeordnet.
摘要翻译：
本发明涉及具有至少一个单片层压板（2，21），包括一个压电活性陶瓷层（31），其具有通过电场（312）可以产生横向尺寸BEAR变化的压电弯曲换能器（1）通过另一电场（322）具有（311）和至少一个其它压电活性陶瓷层（32）可以生成，从横向尺寸BEAR不同变化（311）进一步的横向尺寸变化BEAR（321）。该弯曲换能器的特征在于，用于产生电场的电极层（411）布置在陶瓷层之间。优选地，层复合物由多个压电活性陶瓷层和布置在其间的电极层组成。该行程通过层复合材料的堆叠方向（22）上的尺寸变化的梯度来实现。通过产生电场，可调节陶瓷层的尺寸变化以及梯度。为了实现中风，弯曲换能器不需要压电非活性层。层复合体优选为具有圆形底面的圆盘弯曲机（21）。对于大行程的平移，多个圆盘弯曲机以一个接一个的方式排列在一个堆垛中。

44. 发明申请

WO2013026764A2 VERFAHREN ZUR ELEKTRISCHEN PASSIVIERUNG ELEKTROMECHANISCHER BAUELEMENTE 审中-公开
标题翻译：方法对电子组件钝化机电
公开(公告)号：WO2013026764A2
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：PCT/EP2012/066008
申请日：2012-08-16
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , DENNELER, Stefan , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
发明人： DENNELER, Stefan , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
IPC分类号： H01L41/053
CPC分类号： H01L41/0533 , H01L41/083 , H01L41/23
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur elektrischen Passivierung elektromechanischer insbesondere piezoelektrischer Bauelemente umfassend wenigstens eine Elektrode, wobei man auf die zu passivierende Fläche mittels Aerosol-Abscheidung von piezokeramischen Partikeln eine Keramikschicht aufbringt.
摘要翻译：本发明涉及一种用于机电的，其包括，其包括将所述表面由压电陶瓷颗粒，陶瓷层的气溶胶沉积钝化的至少一个电极的电钝化，特别是压电的电组件的方法。

45. 发明申请

WO2009043746A3 BLEIFREIER PIEZOKERAMISCHER WERKSTOFF DES KALIUM-NATRIUM-NIOBAT-SYSTEMS MIT MANGAN-DOTIERUNG, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES BAUTEILS MIT DEM PIEZOKERAMISCHEN WERKSTOFF UND VERWENDUNG DES BAUTEILS 审中-公开
公开(公告)号：WO2009043746A3
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/EP2008/062597
申请日：2008-09-22
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , BATHELT, Robert , BENKERT, Katrin , CARDIN, Aurelie , SCHUH, Carsten
发明人： BATHELT, Robert , BENKERT, Katrin , CARDIN, Aurelie , SCHUH, Carsten
IPC分类号： C04B35/495 , H01L41/00
摘要： Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Werkstoff, aufweisend eine Perowskit-Phase mit NaNbO 3 , das eine aus dem Bereich von 0,02 Gew.-% bis 1,0 Gew.-% ausgewählte Mangan-Dotierung aufweist. Vorzugsweise ist neben Natrium Kalium als weiteres Alkalimetall mit einem Anteil von 0,4 mol% bis 0,6 mol% enthalten. Bei dieser Zusammensetzung liegt ein System mit morphotroper Phasengrenze vor. Damit gehen sehr gute piezoelektrische Eigenschaften einher. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils mit dem piezokeramischen Werkstoff mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen eines Grünkörpers mit einer piezokeramischen Ausgangszusammensetzung des piezokeramischen Werkstoffs und b) Wärmebehandeln des Grünkörpers, wobei aus der piezokeramischen Ausgangszusammensetzung der piezokeramische Werkstoff des Bauteils entsteht. Das Wärmebehandeln umfasst ein Kalzinieren und/oder ein Sintern der piezokeramischen Zusammensetzung. Das piezokeramische Bauteil ist beispielsweise ein Ultraschallwandler oder ein piezokeramischer Biegewandler. Insbesondere ist das piezokeramische Bauteil ein Vielschicht-Piezoaktor, der zur Ansteuerung einer Kraftstoffventils einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeugs eingesetzt wird.

46. 发明申请

WO2008122557A1 VERFAHREN UND SYSTEM ZUM TRENNEN EINER VIELZAHL VON KERAMISCHEN BAUELEMENTEN AUS EINEM BAUELEMENTEBLOCK 审中-公开
标题翻译：方法和系统的陶瓷部件各种从分量块分离
公开(公告)号：WO2008122557A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/EP2008/053941
申请日：2008-04-02
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , HAMANN, Christoph , SCHUH, Carsten
发明人： HAMANN, Christoph , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/24
CPC分类号： B28D5/042 , H01L41/083 , H01L41/273 , H01L41/338 , Y10T29/42
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trennen einer Vielzahl von keramischen Bauelementen (11-15) aus einem keramischen Bauelementeblock (1), mit den Schritten: Bereitstellen des Bauelementeblockes (1); Einspannen einer Vielzahl paralleler Drahtsegmente (21-26) in einem Rahmen (3) zur Ausbildung eines Sägegatters (2); und Zersägen des bereitgestellten Bauelementeblockes (1) in die Vielzahl der Bauelemente (11-15) mittels des Sägegatters (2).
摘要翻译：本发明涉及一种用于分离多个陶瓷成分块（1）的陶瓷部件（11-15）的方法，包括以下步骤：提供所述分量块（1）; 在框架夹持的多个平行导线段（21-26）的（3），以形成一个锯框架（2）; 和由锯帧的装置锯切在多个设备（11-15）的各组件提供的块（1）（2）。

47. 发明申请

WO2008053569A1 MULTI-LAYER PIEZOELECTRIC ELEMENT AND INJECTION APPARATUS EMPLOYING THE SAME 审中-公开
标题翻译：多层压电元件和使用其的注射装置
公开(公告)号：WO2008053569A1
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：PCT/JP2006/322212
申请日：2006-10-31
申请人： KYOCERA CORPORATION , SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , INAGAKI, Masahiro , SAKAMOTO, Takami , KASTL, Harald-Johannes , SCHUH, Carsten , DOELLGAST, Bernhard , OCHI, Atsushi
发明人： INAGAKI, Masahiro , SAKAMOTO, Takami , KASTL, Harald-Johannes , SCHUH, Carsten , DOELLGAST, Bernhard , OCHI, Atsushi
IPC分类号： H01L41/083
CPC分类号： H01L41/0838
摘要： A multi-layer piezoelectric element which undergo less change in the amount of displacement and shows high durability during continuous operation under a high voltage and pressure over a long period are provided. The multi-layer piezoelectric element comprises a stack having metal layers and piezoelectric layers stacked one on another, and a pair of external electrodes formed on the side faces of the stack, wherein at least one of the metal layers is stress relieving layer having partial metal layers scattered between the two piezoelectric layers and voids, wherein junction sections are formed between the two piezoelectric layers to join and are disposed on both sides of an imaginary straight line drawn to connect the center of width of one of the external electrodes and the center of width of the other of the external electrodes in a plane including the stress relieving perpendicular to the stacking direction.
摘要翻译：提供了一种在长时间的高压和高压连续运行期间经历较少位移变化并显示高耐久性的层叠型压电元件。所述层叠型压电元件具有层叠的金属层和压电体层叠体以及形成于所述层叠体的侧面的一对外部电极，所述金属层中的至少一层为具有部分金属的应力消除层分散在两个压电层和空隙之间的层，其中在两个压电层之间形成接合部分以连接并设置在连接外部电极之一的宽度的中心的假想直线的两侧和包括垂直于层叠方向的应力消除的平面中的另一个外部电极的宽度。

48. 发明申请

WO2008049815A1 MONOLITHISCHER PIEZOAKTOR MIT ÜBERGANGSBEREICH UND SICHERHEITSSCHICHT SOWIE VERWENDUNG DES PIEZOAKTORS 审中-公开
标题翻译：与过渡区和安全层和压电致动器的选用独石压电致动器
公开(公告)号：WO2008049815A1
公开(公告)日：2008-05-02
申请号：PCT/EP2007/061309
申请日：2007-10-23
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald Johannes , SAKAMOTO, Takami , SCHUH, Carsten
发明人： INAGAKI, Masahiro , KASTL, Harald Johannes , SAKAMOTO, Takami , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/083 , H02N2/04 , F02M51/06
CPC分类号： H01L41/0838 , F02M51/0603 , Y10T29/49002
摘要： Zur Lösung der Aufgabe wird ein Piezoaktor (1) in monolithischer Vielschichtbauweise mit einem Gesamtstapel (10) angegeben, aufweisend mindestens einen piezoelektrisch aktiven Teil- Stapel (12), wobei der Teil-Stapel übereinander angeordnete Piezokeramikschichten und zwischen den Piezokeramikschichten angeordnete Elektrodenschichten aufweist, mindestens einen über dem piezoelektrisch aktiven Teil-Stapel angeordneten piezoelektrisch inaktiven Abschlussbereich (15) und mindestens einen zwischen dem piezoelektrisch aktiven Teil-Stapel und dem Abschlussbereich angeordneten Übergangsbereich (11), wobei der Übergangsbereich übereinander angeordnete Übergangsbereichs- Piezokeramikschichten und zwischen den Übergangsbereichs-Piezokeramikschichten angeordnete Übergangsbereichs- Elektrodenschichten aufweist und die Übergangsbereichs-Piezokeramikschichten und die Übergangsbereichs- Elektrodenschichten derart ausgestaltet und aneinander angeordnet sind, dass in Stapelrichtung des Übergangsbereichs von Übergangsbereichs-Piezokeramikschicht zu Übergangsbereichs-Piezokeramikschicht sukzessive durch elektrische Ansteuerung der Übergangsbereichs-Elektrodenschichten in die Übergangsbereichs- Piezokeramikschichten einkoppelbare elektrische Felder geändert sind, und der piezoelektrisch aktive Teil-Stapel zum Übergangsbereich hin eine Sicherheitsschicht (13) aufweist, bei der bei mechanischer Überlastung bevorzugt ein Riss gebildet wird. Verwendung findet der Piezoaktor bei der Ansteuerung von Einspritzventilen von Kraftfahrzeugmotoren.
摘要翻译：为了达到上述目的，单片多层设计中的压电致动器（1）与总叠层（10）设置，其包括至少一个压电有源部分叠层（12），其中，所述部分堆叠叠层压电陶瓷层和设置在所述压电陶瓷层的电极层包括至少之间一项所述的压电有源部分叠层设置压电非活性端接区（15）和至少一个以上被布置在压电有源部分叠层和所述过渡区域（11）的终止区域，其中所述过渡区域叠置Übergangsbereichs-压电陶瓷层和设置在所述过渡区域中压电陶瓷层过渡区之间 - 具有电极层和过渡区压电陶瓷层和所述电极层Übergangsbereichs-配置和布置为彼此，在转接的堆叠方向从过渡区域压电陶瓷层angsbereichs可耦合电场是通过在改变了Übergangsbereichs-压电陶瓷层和压电有源部分叠层到过渡区域的过渡区域中的电极层的电气控制依次过渡区域的压电陶瓷层朝向包括安全层（13），在机械过载的情况下优选形成裂纹。使用驾驶机动车的发动机的喷油器时发现压电致动器。

49. 发明申请

WO2007137950A1 VOLLAKTIVER PIEZOAKTOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：完全激活压电致动器及其制造方法
公开(公告)号：WO2007137950A1
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/EP2007/054817
申请日：2007-05-18
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHUH, Carsten , SCHÖNECKER, Andreas , BRÜCKNER, Bent , GEBHARDT, Sylvia , RADANIELINA, Morgane , STEINKOPFF, Thorsten
发明人： SCHUH, Carsten , SCHÖNECKER, Andreas , BRÜCKNER, Bent , GEBHARDT, Sylvia , RADANIELINA, Morgane , STEINKOPFF, Thorsten
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/22
CPC分类号： H01L41/0471 , H01L41/0472 , H01L41/0475 , H01L41/0833 , H01L41/29
摘要： Die vorliegende Erfindung offenbart einen vollaktiven Piezoaktor und ein Verfahren zu seiner Herstellung. Dieser Piezoaktor umfasst eine Mehrzahl piezoelektrischer Keramikschichten (10), deren Stirnseiten durch vollflächige Innenelektroden (20) bedeckt sind. Die Innenelektroden (20) sind individuell über jeweils eine Kontaktierung (30) elektrisch mit einer Steuerelektronik verbindbar. Des Weiteren offenbart die vorliegende Efindung ein Herstellungsverfahren für diese vollaktiven Piezoaktoren (1).
摘要翻译：本发明公开了一种具有完全活性压电致动器和用于其制备的方法。此压电致动器包括多个压电陶瓷层（10），其端部由均匀的内电极（20）面对所覆盖。内部电极（20）分别经由相应的触点（30）与控制电子设备电连接。此外，本Efindung公开了一种用于此完全活性的压电致动器（1）的制造方法。

50. 发明申请

WO2006136504A1 PIEZOAKTOR MIT GESTEIGERTEM HUBVERMÖGEN 审中-公开
标题翻译：压电致动器与提升能力
公开(公告)号：WO2006136504A1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：PCT/EP2006/063081
申请日：2006-06-12
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
发明人： SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
IPC分类号： H01L41/09
CPC分类号： H01L41/0926
摘要： Die vorliegende Erfindung offenbart einen Piezoaktor mit gesteigertem Hubvermögen. Der Piezoaktor 1 besteht aus einer piezoelektrischen Schicht 10 und einer zweiten Schicht 20, die einen Materialgradienten in Dickenrichtung aufweist. Ein elektrisches Feld erzeugt unterschiedliche Dehnungszustände in der piezoelektrischen Schicht 10 und der zweiten Schicht 30, was in Kombination mit einer eingeprägten mechanischen Vorspannung zu einer Hubsteigerung des Piezoaktors 1 führt. Die Piezoaktoren eignen sich für Niederspannungsbetrieb, beispielsweise im Bereich der Bio- und Medizintechnik (Mikropumpen, Mikroventile) , der Industrieelektronik (pneumatische Ventile) und der Mikroaktorik und -motorik.
摘要翻译：本发明公开了具有增加的升程量的压电致动器。压电致动器1包括一压电体层10和第二层20，它具有在厚度方向上的材料梯度。的电场，在压电层10和第二层30中，产生不同的应变状态，其与外加机械预应力，在组合到压电致动器的Hubsteigerung 1 压电致动器适用于低电压操作，例如，在生物技术和医疗（微型泵，微型阀），工业电子（气动阀）的字段和微致动器和-motorik的。

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