本发明涉及一种稳定的EUV生成设备使用等离子体，用于输出激光，等离子体的激光源，其接收入射从该期间的激光源，其不聚焦maethyeo的激光输出 用于导向通过储存气体小区接收从气体供给气源，所述气室，以形成由所述激光器和所述气体发生EUV，第1部分的真空室中以维持规定的真空度时，气体的等离子体 接收入射到EUV产生在单元部2的真空腔室，以维持由空间的预定的真空度，用于发射极紫外到外部，用于将激光和等离子体引导到气体单元的气体供给供给气体 第一真空泵，用于形成第一真空室部分和第二真空室部分中的每一个的真空度; 还有第二台真空泵。

在根据本发明的一个实施例的一个毫微微基站提出了一种用于设置不同的毫微微基站和信道，在第一毫微微基站的信道设置方法其所连接的方法 将关于第一智能电表的信息传输到毫微微控制站; 第一毫微微基站将关于与第一毫微微基站相邻的一个或多个其他毫微微基站的信息发送到毫微微控制站; 从所述毫微微控制站接收关于所述一个或多个其他毫微微基站连接到的第二智能仪表的信息; 当存在要发送到另一个毫微微基站的数据时，确定是否通过第一智能仪表和第二智能仪表建立信道; 进一步包括：响应于所述确定，发送信道建立请求消息包括关于信息和用于所述不同毫微微基站到所述第一智能仪表和第二智能电表信息; 第一可包括发送和接收数据1，经由不同的毫微微基站，并且第一和第二智能电表从不同毫微微基站通过智能仪表接收到响应消息时，通过建立的信道的步骤。