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    • 25. 发明申请
    • 간섭 회피 구조의 집진 클리너
    • 避免干扰结构的吸尘器
    • WO2018034363A1
    • 2018-02-22
    • PCT/KR2016/009090
    • 2016-08-18
    • (주)엔티케이코퍼레이션
    • 황창배
    • B08B15/00B08B11/00G02F1/13
    • B08B11/00B08B15/00G02F1/13
    • 본 발명은 간섭 회피 구조의 집진 클리너에 관한 것이고, 구체적으로 레이저와 같은 광학 기기에 의한 기판의 표면 가공 과정에서 발생되는 다양한 형태의 이물질의 제거가 가능한 간섭 회피 구조의 집진 클리너에 관한 것이다. 간섭 회피 구조의 집진 클리너는 중앙 부분에 가공물에 대하여 수직 방향으로 개방 공간(12, 22)이 형성된 집진 하우징(11a, 11b, 21); 집진 하우징(11a, 11b, 21)의 아래쪽에 배치된 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25); 및 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25)의 앞쪽에 형성되는 집진 경로(DP)를 포함하고, 상기 개방 공간(12)의 위쪽 및 에어 나이프 유닛(15a, 15b, 25)으로부터 유입 및 분무가 되는 기체는 집진 경로(DP)로 유입되는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及干扰的除尘器避免结构,具体而言,可能干扰去除各种类型的由光学设备中的衬底的表面处理产生的碎片的诸如激光避免结构 除尘清洁剂。 干涉避免结构的集尘清洁器包括集尘壳体(11a,11b,21),所述集尘壳体具有在垂直于工件的方向的中央部分形成的开放空间(12,22) 布置在集尘壳体(11a,11b,21)下方的气刀单元(15a,15b,25); 并且,在气刀单元15a,15b,25的前方形成的集尘通路DP,以及在开放空间12的上方形成的集尘通路DP以及气刀单元15a,15b, 气体流入集尘通道(DP)。

    • 28. 发明申请
    • 異物の除去方法及び異物の除去装置
    • 外部物体拆卸方法和外部物体拆卸装置
    • WO2016063940A1
    • 2016-04-28
    • PCT/JP2015/079814
    • 2015-10-22
    • 三菱レイヨン株式会社
    • 石間伏 武梶原 透
    • B08B5/00B08B11/00
    • B08B5/046B08B5/00B08B11/00
    •  異物を除去する際の、シートの連続運転安定性と異物の除去性能に優れた異物の除去方法及び異物の除去装置を提供する。特定の条件を満たす設置間隔を有する2つの搬送用支持体(1a,1b)の間で、かつ前記シート(2)に対して上下対称となる位置にサクションボックス(3a,3b)を配置し、サクションボックス(3a,3b)内に配置したエアノズル(4a,4b)からエアーをシート(2)に向けて噴出して、シート(2)上から異物を剥離させ、剥離した異物を、サクションボックス(3a,3b)の開口部(5a,5b)からの0.8~1.2m/秒の吸引平均風速を有する吸引風で回収する。
    • 提供一种异物去除方法和异物去除装置,其在除去异物时具有优异的片材连续操作稳定性和优异的异物去除性能。 抽吸盒(3a,3b)布置在具有满足规定条件的布置间隔的两个传送支撑体(1a,1b)之间的位置处,所述位置相对于片材(2)具有垂直对称性。 从布置在抽吸箱(3a,3b)内部的空气喷嘴(4a,4b)向空气喷嘴(2)喷射空气。 异物从纸张(2)上分离,并且使用从抽吸箱(3a,3b)中的开口(5a,5b)吸入空气的平均吸入空气为0.8-1.2m / sec的吸入空气回收分离的异物。