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    • 22. 发明申请
    • INLET ASSEMBLY AND METHOD FOR OPERATING THE SAME
    • 入口组件及其操作方法
    • WO2017013384A1
    • 2017-01-26
    • PCT/GB2016/051861
    • 2016-06-22
    • EDWARDS LIMITED
    • RADIAR, Alageswaren Reddi Balsamy
    • F23D14/62B01D53/68F23C99/00F23D14/16F23G7/06
    • F23G7/065B01D53/68B01D53/76B01D2257/2027B01D2257/204B01D2257/406B01D2257/55B01D2258/0216F23C99/006F23G2209/142
    • An inlet assembly for a burner and a method are disclosed. The inlet assembly is for an abatement burner and comprises: an inlet conduit operable to convey an effluent gas stream to be treated from an inlet aperture via a bore to an outlet aperture for treatment; and a lance conduit operable to convey a fuel gas from a gas inlet aperture via a gas bore to a gas outlet aperture positioned within the bore for mixing with the effluent gas stream, a cross-sectional area of the gas bore increasing towards the gas outlet aperture. In this way, the expansion caused by the increasing cross-sectional area of the gas bore enhances the mixing of the fuel gas with the effluent gas stream which provides for improved destruction and removal efficiencies (DRE), which enables the inlet assembly to be operated with reduced quantities of fuel gas, while still maintaining required levels of DRE.
    • 公开了一种用于燃烧器的入口组件和方法。 入口组件用于减排燃烧器,并且包括:入口导管,可操作以将待处理的流出气体流经入口孔经由孔传送到出口孔进行处理; 以及喷枪导管,可操作以将来自气体入口孔的燃料气体经由气孔传送到位于所述孔内的气体出口孔,用于与所述流出气体流混合,所述气孔的横截面面积朝向所述气体出口 光圈。 以这种方式,由气孔的横截面积增加引起的膨胀增加了燃料气体与流出气流的混合,其提供改进的破坏和去除效率(DRE),其使得入口组件能够被操作 燃料气体减少,同时仍然保持DRE所需的水平。
    • 29. 发明申请
    • 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템
    • 用于分离和回收全氟化合物的系统
    • WO2014208808A1
    • 2014-12-31
    • PCT/KR2013/006146
    • 2013-07-10
    • (주) 파인텍
    • 노영석
    • B01D53/68F25J1/00B01D61/00B01D53/46
    • B01D63/06B01D53/227B01D2257/102B01D2257/2047B01D2257/55B01D2258/0216B01D2311/25B01D2313/10B01D2313/50B01D2317/04Y02C20/30
    • 본 발명은 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에 관한 것으로서, 드라이 에칭공정과 CVD 세정 챔버 등의 과불화화합물을 이용하거나 생성되는 배가스 발생시설에서 발생하는 분진을 포함하는 가스를 처리하는 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에 있어서; 하나 이상의 배가스 발생시설에서 발생하는 배가스가 유입되어 관로의 단면적이 테이퍼지게 확장되는 확장관과, 상기 확장관에서 수직 아래 방향으로 길게 연장되는 버퍼탱크와; 일측이 상기 버퍼탱크의 확장관이 형성된 타측과 연결되는 수평분배관과; 하단은 상기 수평분배관과 연결되고 수직상부로 연장되어 일정 간격으로 이격되어 장착되는 다수의 막분리 필터와; 다수의 상기 막분리 필터에서 분리막을 통과하지 못한 불순가스를 취합하여 재처리실로 이동시키는 불순가스 배출관로와; 제1 백큠펌프가 장착되고, 상기 제1 백큠펌프에서 흡입된 질소가스를 보조 막분리필터에 의하여 다시 분리하여 불순가스는 불순가스 배출관로로 배출하고 질소가스는 재활용할 수 있도록 이동시키는 제1 질소가스 재활용관로와; 제2 백큠펌프가 장착되고, 상기 제2 백큠펌프에서 흡입된 순도 높은 질소가스를 재활용할 수 있도록 이동시키는 제2 질소가스 재활용관로로 구성됨을 특징으로 하는 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템에 관한 것이다.
    • 本发明涉及一种用于分离和再循环全氟化合物的系统,用于处理在干法蚀刻工艺中产生的含尘尘的气体和使用或产生全氟化合物的诸如CVD清洁室等的废气产生设备, 所述系统包括:膨胀管,其中在至少一个排气产生设备中产生的废气流动,并且管的横截面积被扩大为渐缩,并且缓冲罐延伸到垂直方向 方向在膨胀管下方; 一侧连接到形成有膨胀管的缓冲罐的另一侧的水平分配管; 多个膜分离过滤器,其下端连接到水平分配管,并且延伸到垂直上部并且以预定间隔彼此间隔设置; 收集在多个膜分离过滤器处不通过膜分离的不纯气体并将收集的不纯气体移动到再处理室的不纯气体排出管; 第一氮气再循环管,其中设置有第一真空泵,并且通过辅助膜分离过滤器将由第一真空泵吸入的氮气重新分离,将不纯气体排放到不纯气体排出管, 移动氮气使氮气再循环; 以及第二氮气循环管,其中设置有第二真空泵,并且移动由第二真空泵吸入的高纯度氮气,以使得氮气被再循环。