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21. 发明申请

WO2004083781A1 振動子の製造方法、振動子及びフォトマスク审中-公开
标题翻译：振动器制造方法，振动器和光电二极管
公开(公告)号：WO2004083781A1
公开(公告)日：2004-09-30
申请号：PCT/JP2004/000974
申请日：2004-01-30
申请人：住友精密工業株式会社 , 荒木隆太 , 竹本剛士
发明人：荒木隆太 , 竹本剛士
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/567 , H03H9/2431 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02527
摘要：　リング型振動子（Ｒ２）のリング上には複数の貫通孔が形成される。製造工程で加工誤差が生じた結果、リング型振動子のリング幅（Ｗ）が減少する場合、貫通孔の直径（ｄ）は増加する。その結果、貫通孔がないリング型振動子（Ｒ１）に比べて、リング型振動子（Ｒ２）の質量は大きく減少する。リング幅（ｗ）の減少に対してリング振動子の質量の減少が大きくなる程、リング型振動子の固有振動数の変動は抑制される。よって、リング型振動子（Ｒ２）はリング型振動子（Ｒ１）と比べて、加工誤差による固有振動数の変動を抑制できる。
摘要翻译：环形振动器（R2），其中多个通孔形成在环中。当环型振动器的环的宽度（w）由于制造过程中的加工误差而减小时，通孔的直径（d）增加，环型振动器（R2）的质量比没有通孔的环式振动器（R1）的值显着降低。随着环形振动器的质量的减小与环的宽度（w）的减小的比例增加，环形振动器的固有频率的变化被抑制。结果，环型振动器（R2）可以抑制由于加工误差大于环型振动器（R1）的固有频率的变化。

22. 发明申请

WO2004027796A9 CAPACITIVE RESONATORS AND METHODS OF FABRICATION 审中-公开
标题翻译：电容谐振器和制造方法
公开(公告)号：WO2004027796A9
公开(公告)日：2004-06-24
申请号：PCT/US0323905
申请日：2003-07-31
申请人： GEORGIA TECH RES INST
发明人： AYAZI FARROKH , ANARAKI SIAVASH POURKAMALI , NO SEONG YOEL
IPC分类号： H03H3/007 , H03H9/24 , H01L21/00 , G01P3/04 , H01L27/14 , H01P1/06
CPC分类号： H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： A micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitive resonator (200) is disclosed and methods for manufacturing the same. In one embodiment, the MEMS capacitive resonator (200) comprises a semiconductor resonating member (208, 210) and a polysilicon electrode (202) capacitively coupled to the semiconductor resonating member.
摘要翻译：公开了一种微电子机械系统（MEMS）电容谐振器（200）及其制造方法。在一个实施例中，MEMS电容谐振器（200）包括半导体谐振构件（208,210）和电容耦合到半导体谐振构件的多晶硅电极（202）。

23. 发明申请

WO2004032320A1 マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器审中-公开
标题翻译：微型振荡器，微型振荡器，微振荡器和无线通信装置
公开(公告)号：WO2004032320A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/JP2003/012665
申请日：2003-10-02
申请人：シャープ株式会社 , 森下敏
发明人：森下敏
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02393 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/462 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511
摘要：　このマイクロ共振装置は、基板（１０）と、この基板（１０）設けられたマイクロ共振体（１３）と、二つのマイクロ可動部（１６，１６）と、この二つのマイクロ可動部（１６，１６）を駆動するマイクロ可動部駆動機構（１７）とを備える。そして、このマイクロ可動部駆動機構（１７）により、前記二つのマイクロ可動部（１６，１６）を前記マイクロ共振体（１３）に機械的に作用させて、前記マイクロ共振体（１３）の共振周波数を変えることができる。
摘要翻译：微谐振器包括基片（10），设置在基片（10）上的微谐振体（13），两个微移动单元（16,16）和微动可动单元驱动机构（17）单位（16，16）。通过微型可移动单元驱动机构（17）使两个微动单元（16,16）机械地作用在微谐振体（13）上，从而改变微共振体（13）的共振频率。

24. 发明申请

WO2015084456A2 TUNABLE Q RESONATOR 审中-公开
标题翻译：可调谐Q谐振器
公开(公告)号：WO2015084456A2
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/US2014/056397
申请日：2014-09-18
申请人： THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
发明人： NGUYEN, Clark T.-C. , SCHNEIDER, Robert A.
IPC分类号： H02N2/04
CPC分类号： H03H9/467 , H03H9/02259 , H03H9/02409 , H03H9/02425 , H03H9/17 , H03H9/2436 , H03H9/505 , H03H9/54 , H03H9/58 , H03H2009/02503
摘要： A tunable Q resonator using a capacitive-piezoelectric transducer provides a flexible top electrode above an AlN resonator. The top electrode can be pulled electrostatically towards the resonator and substrate, forming a frictional contact with either the resonator or the combined resonator-electrode structure to the substrate, allowing for electrical tuning the Q of the resonator. With a sufficient electrostatic bias voltage Vb, the resonator may be completely turned OFF, allowing for an integrated switchable AlN resonator. Such switchable resonator may be integrated into a radio frequency (RF) front end as a digitally selectable band pass filter element, obviating the need for ancillary micromechanical switches in the signal path. The device has been demonstrated with a Q approaching 9,000, together with ON/OFF switchability and electromechanical coupling up to 0.63%. Flexible positioning of the top electrode allows for actively controlling the series resonant frequency of the resonator through changes in capacitive coupling.
摘要翻译：使用电容压电换能器的可调Q谐振器在AlN谐振器上方提供了柔性顶部电极。顶部电极可以朝着谐振器和基板静电拉伸，与谐振器或组合谐振器电极结构形成与基板的摩擦接触，允许电谐调谐振器的Q. 利用足够的静电偏压Vb，谐振器可以完全关闭，从而允许集成可切换AlN谐振器。这样的可切换谐振器可以作为数字可选带通滤波器元件集成到射频（RF）前端中，从而不需要信号路径中的辅助微机械开关。该器件的Q值接近9,000，并具有ON / OFF可切换性和0.63％的机电耦合。顶部电极的灵活定位允许通过电容耦合的变化主动控制谐振器的串联谐振频率。

25. 发明申请

WO2014065939A1 COMPOSITE DILATION MODE RESONATORS 审中-公开
标题翻译：组合式模拟谐振器
公开(公告)号：WO2014065939A1
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：PCT/US2013/056614
申请日：2013-08-26
申请人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.
发明人： ZUO, Chengjie , KIM, Jonghae , YUN, Changhan, Hobie , PARK, Sang-June , STEPHANOU, Philip, Jason , LO, Chi, Shun , MIKULKA, Robert, Paul , VELEZ, Mario, Francisco , SHENOY, Ravindra, V. , NOWAK, Matthew, Michael
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/205 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02157 , H03H9/02574 , H03H9/205 , H03H9/2405 , H03H2009/02503 , H03H2009/02527 , H03H2009/241
摘要： This disclosure provides systems, methods and apparatus related to acoustic resonators that include composite transduction layers (116, 118) for enabling selective tuning of one or more acoustic or electromechanical properties. In one aspect, a resonator structure includes one or more first electrodes (142), one or more second electrodes (144), and a transduction layer (116, 118) arranged between the first and second electrodes. The transduction layer includes a plurality of constituent layers. In some implementations, the constituent layers include one or more first piezoelectric layers and one or more second piezoelectric layers. The transduction layer is configured to, responsive to signals provided to the first and second electrodes, provide at least a first mode of vibration of the transduction layer with a displacement component along the z axis and at least a second mode of vibration of the transduction layer with a displacement component _ along the plane of the x axis and the y axis.
摘要翻译：本公开提供了涉及声谐振器的系统，方法和装置，其包括用于使得能够选择性地调谐一个或多个声学或机电特性的复合转导层（116,118）。在一个方面，谐振器结构包括一个或多个第一电极（142），一个或多个第二电极（144）和布置在第一和第二电极之间的换能层（116,118）。换能层包括多个构成层。在一些实施方式中，构成层包括一个或多个第一压电层和一个或多个第二压电层。转导层被配置为响应于提供给第一和第二电极的信号，提供至少第一传感模式的振动，沿着z轴的位移分量和换能层的至少第二振动模式沿着x轴和y轴的平面具有位移分量。

26. 发明申请

WO2011141342A1 MICROELECTROMECHANICAL RESONATOR AND A METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
标题翻译：微电子谐振器及其制造方法
公开(公告)号：WO2011141342A1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/EP2011/057178
申请日：2011-05-05
申请人： TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT , PENSALA, Tuomas , JAAKKOLA, Antti
发明人： PENSALA, Tuomas , JAAKKOLA, Antti
IPC分类号： H03H3/007 , H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0076 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H2009/02503 , H03H2009/2442
摘要： The invention relates to temperature compensated microelectro-mechanical (MEMS) resonators (300) preferably made of silicon Prior art MEMS resonators have a significant temperature coefficient of resonance frequency, whereby it is difficult to achieve a sufficiently good frequency stability. The inventive MEMS resonator has a resonance plate (310) which resonates in Lamé mode. The resonance plate is p+ doped material, such as silicon doped with boron, and the concentrationof the p+ doping is such that the plate has a temperature coefficient of resonance frequency near to zero. The tensile stress and the second order temperature coefficient can further be reduced by doping the plate with germanium.
摘要翻译：本发明涉及优选由硅制成的温度补偿微电机械（MEMS）谐振器（300）。现有技术的MEMS谐振器具有显着的谐振频率温度系数，从而难以实现足够好的频率稳定性。本发明的MEMS谐振器具有以Lamé模式谐振的谐振板（310）。共振板是p +掺杂材料，例如掺杂硼的硅，并且p +掺杂的浓度使得该板具有接近于零的共振频率的温度系数。通过用锗掺杂板可以进一步降低拉伸应力和二次温度系数。

27. 发明申请

WO2010138243A1 WIDE BANDWIDTH SLANTED-FINGER CONTOUR-MODE PIEZOELECTRIC DEVICES 审中-公开
标题翻译：宽带波长指状凸模式压电器件
公开(公告)号：WO2010138243A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/US2010/030506
申请日：2010-04-09
申请人： THE TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA , PEREZ, Carlos, R. , PIAZZA, Gianluca
发明人： PEREZ, Carlos, R. , PIAZZA, Gianluca
IPC分类号： H02K24/00 , H01L41/04
CPC分类号： H01L41/08 , H01L41/316 , H03H9/2405 , H03H2009/02503 , H03H2009/241
摘要： Contour-mode piezoelectric devices and methods of forming contour mode piezoelectric devices. The contour mode piezoelectric device includes a piezoelectric film having first and second surfaces and suspended so that it is spaced away from a substrate. The contour mode piezoelectric device also includes first and second patterned electrodes respectively disposed on the first and second surfaces of the piezoelectric film, at least one of the first and second patterned electrodes having variable width along a length thereof.
摘要翻译：轮廓模式压电器件及形成轮廓模压电器件的方法。轮廓模式压电装置包括具有第一表面和第二表面并被悬浮以使其与基底间隔开的压电膜。轮廓模式压电器件还包括分别设置在压电膜的第一和第二表面上的第一和第二图案化电极，第一和第二图案化电极中的至少一个沿其长度具有可变的宽度。

28. 发明申请

WO2009079188A1 MEMS RESONATOR STRUCTURE AND METHOD FOR USE IN ASSOCIATION WITH THE RESONATOR STRUCTURE 审中-公开
标题翻译： MEMS谐振器结构和使用与谐振器结构相关联的方法
公开(公告)号：WO2009079188A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/US2008084946
申请日：2008-11-26
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LUTZ MARKUS , PAN ZHIYU , PARTRIDGE AARON
发明人： LUTZ MARKUS , PAN ZHIYU , PARTRIDGE AARON
IPC分类号： H03H3/007 , B81B3/00 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： A microelectromechanical resonator may include one or more resonator masses that oscillates in a bulk mode and that includes a first plurality of regions each having a density, and a second plurality of regions each having a density, the density of each of the second plurality of regions differing from the density of each of the first plurality of regions. The second plurality of regions may be disposed in a non-uniform arrangement. The oscillation may include a first state in which the resonator mass is contracted, at least in part, in a first and/or a second direction, and expanded, at least in part, in a third and/or a fourth direction, the second direction being opposite the first direction, the fourth direction being opposite the third direction.
摘要翻译：微机电谐振器可以包括以体模式振荡的一个或多个谐振器质量块，并且其包括每个具有密度的第一多个区域和每个具有密度的第二多个区域，第二多个区域中的每个第二多个区域的密度不同于第一多个区域中的每一个的密度。第二多个区域可以以非均匀布置的方式设置。振荡可以包括其中谐振器质量至少部分地以第一和/或第二方向收缩并且至少部分地在第三和/或第四方向上膨胀的第一状态，第二状态方向与第一方向相反，第四方向与第三方向相反。

29. 发明申请

WO2007030268A1 BREATH-MODE RING RESONATOR STRUCTURE, AND METHOD OF DESIGNING, OPERATING AND USING SAME 审中-公开
标题翻译：环境模式环谐振器结构及其设计，操作和使用方法
公开(公告)号：WO2007030268A1
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：PCT/US2006/031454
申请日：2006-08-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PAN, Zhiyu , LUTZ, Markus , PARTRIDGE, Aaron
发明人： PAN, Zhiyu , LUTZ, Markus , PARTRIDGE, Aaron
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H3/0077 , H03H9/0023 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02527
摘要： The present invention is directed to one or more microelectromechanical ring resonator structures having a substantially circular outer surface and a substantially circular inner surface. The microelectromechanical ring resonator (s) include an anchor support element (26) having an impedance matching structure (28) coupled to at least one substrate anchor (30) . The impedance matching structure may be a beam, having a predetermined length, which couples the ring resonator (s) to substrate anchor. In one embodiment, the impedance matching structure operates in a bulk-elongation mode . In another embodiment, the impedance matching structure operates in a flexure mode. In operation, when induced, the microelectromechanical ring resonator structure oscillates in an elongating/compressing or breathing mode (or in a primarily or substantially elongating or breathing mode) . In this regard, the ring resonator structure exhibits an elongating/compressing-like or breathing-like motion.
摘要翻译：本发明涉及一种或多种具有基本圆形的外表面和基本上圆形的内表面的微机电环谐振器结构。微机电环谐振器包括具有耦合到至少一个衬底锚（30）的阻抗匹配结构（28）的锚支撑元件（26）。阻抗匹配结构可以是具有预定长度的光束，其将环形谐振器耦合到衬底锚固件。在一个实施例中，阻抗匹配结构以体伸长模式工作。在另一个实施例中，阻抗匹配结构以弯曲模式工作。在操作中，当感应时，微机电环谐振器结构以伸长/压缩或呼吸模式（或主要或基本上延长或呼吸模式）振荡。在这方面，环形谐振器结构呈现伸长/压缩状或呼吸状运动。

30. 发明申请

WO2005015735A3 MICROMECHANICAL RESONATOR DEVICE AND METHOD OF MAKING THE MICROMECHANICAL RESONATOR DEVICE 审中-公开
标题翻译：微机电谐振器装置及制造微机电谐振器装置的方法
公开(公告)号：WO2005015735A3
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：PCT/US0340334
申请日：2003-12-17
申请人： UNIV MICHIGAN , NGUYEN CLARK T C , ABDELMONEUM MOHAMED A
发明人： NGUYEN CLARK T C , ABDELMONEUM MOHAMED A
IPC分类号： H03H7/24 , H03H3/007 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02338 , H03H3/0072 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H2009/02354 , H03H2009/02503
摘要： A micromechanical resonator device and a method of making the micromechanical resonator device, as well as other extensional mode devices are provided wherein anchor losses are minimized by anchoring at one or more side nodal points of the resonator device. Lower damping forces are experienced by the resonator device when operated in air.
摘要翻译：提供微机械谐振器装置和制造微机械谐振器装置的方法以及其它拉伸模式装置，其中锚固损耗通过锚定在谐振器装置的一个或多个侧节点处被最小化。当在空气中操作时，谐振器装置经历较低的阻尼力。

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