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21. 发明申请

WO2007103082A3 INTERFEROMETRY SYSTEMS AND METHODS OF USING INTERFEROMETRY SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：干涉系统和使用干涉系统的方法
公开(公告)号：WO2007103082A3
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/US2007005172
申请日：2007-02-28
申请人： ZYGO CORP , WOMACK GARY , HILL HENRY A
发明人： WOMACK GARY , HILL HENRY A
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02 , G03F7/20
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02018 , G01B9/02027 , G01B9/02058 , G01B9/02059 , G01B9/02061 , G01B9/0207 , G01B9/02072 , G01B9/02084 , G01B2290/15 , G01B2290/70 , G03F7/70775 , G03F9/7034 , G03F9/7049
摘要： In one aspect, the invention features a method that includes interferometrically monitoring a distance between an interferometry assembly and a measurement object along each of three different measurement axes while moving the measurement object relative to the interferometry assembly, monitoring an orientation angle of the measurement object with respect to a rotation axis non-parallel to the measurement axes, determining values of a parameter for different positions of the measurement object, wherein for a given position the parameter is based on the distances of the measurement object along each of the three measurement axes, and deriving information about a surface figure profile of the measurement object from a frequency transform of at least the parameter values. Deriving the information includes correcting the orientation angle for errors based on predetermined information and accounting for variations of the monitored orientation angle during the measurement object's motion.
摘要翻译：在一个方面，本发明的特征在于一种方法，其包括在三个不同测量轴中的每一个上干涉测量干涉测量组件和测量对象之间的距离，同时相对于干涉测量组件移动测量对象，监测测量对象的定向角度，相对于与测量轴不平行的旋转轴，确定测量对象的不同位置的参数值，其中对于给定位置，参数基于测量对象沿着三个测量轴中的每一个的距离，以及从至少参数值的频率变换得出关于测量对象的表面图形的信息。导出信息包括基于预定信息校正错误的取向角，并且考虑在测量对象运动期间所监视的取向角的变化。

22. 发明申请

WO2008051237A1 COMPENSATION OF EFFECTS OF ATMOSPHERIC PERTURBATIONS IN OPTICAL METROLOGY 审中-公开
标题翻译：大气波动对光学计量的影响的补偿
公开(公告)号：WO2008051237A1
公开(公告)日：2008-05-02
申请号：PCT/US2006/044350
申请日：2006-11-15
申请人： ZYGO CORPORATION , HILL, Henry A.
发明人： HILL, Henry A.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02007 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02059 , G01B9/02084 , G01B11/02 , G01B2290/70
摘要： In general, in a first aspect, the invention features a method that includes using an interferometry assembly (100) to provide three different output beams (181-183, 191-193), each output beam including an interferometric phase related to an optical path difference between a corresponding first beam and a corresponding second beam, each first beam contacting a measurement object (120) at least once, monitoring the interferometric phases for each of the three different output beams, and deriving information about variations in the optical properties of a gas in the first beam paths from the three monitored phases.
摘要翻译：通常，在第一方面，本发明的特征在于一种方法，其包括使用干涉测量组件（100）提供三个不同的输出光束（181-183,191-193），每个输出光束包括与光路相关的干涉测量相位相应的第一光束和对应的第二光束之间的差异，每个第一光束接触测量对象（120）至少一次，监测三个不同输出光束中的每一个的干涉测量相位，以及导出有关光学特性的变化的信息来自三个监控阶段的第一个光束路径中的气体。

23. 发明申请

WO2007060441A1 APPARATUS FOR AND A METHOD OF DETERMINING SURFACE CHARACTERISTICS 审中-公开
标题翻译：装置和方法确定表面特性
公开(公告)号：WO2007060441A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/GB2006/004391
申请日：2006-11-22
申请人： TAYLOR HOBSON LIMITED , MANSFIELD, Daniel, Ian
发明人： MANSFIELD, Daniel, Ian
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/04
CPC分类号： G01B9/02084 , G01B9/02057 , G01B9/02089 , G01B9/0209 , G01B9/04 , Y10T29/49124
摘要： A coherence scanning interferometer (2) carries out: a coherence scanning measurement operation on a surface area (81 ) carrying a structure using a low numeric aperture objective so that the pitch of the surface structure elements (82) is much less that the spread of the point spread function at the surface (7) to obtain structure surface intensity data; and a coherence scanning measurement operation on a non-structure surface area (83), which may be part of the same sample or a different sample, to obtain non-structure surface intensity data. A frequency transform ratio determiner (105) determines a frequency transform ratio (the HCF function) related to the ratio between the structure surface intensity data and the non-structure surface intensity data. A structure provider (109) sets that frequency transform ratio equal to an expression which represents the electric field at the image plane of the coherence scanning interferometer in terms of surface structure element size (height or depth) and width-to-pitch ratio and derives the surface structure element size and width-to-pitch ratio using the frequency transform ratio. The structure provider (109) may also extract the surface structure element width, if the pitch is independently known.
摘要翻译：相干扫描干涉仪（2）执行：在表面区域（81）上进行相干扫描测量操作，所述表面区域（81）承载使用低数值孔径物镜的结构，使得表面结构元件（82）的间距远小于表面上的点扩散函数（7）获得结构表面强度数据; 以及在可以是相同样品或不同样品的一部分的非结构表面积（83）上进行相干扫描测量操作，以获得非结构表面强度数据。变频比确定器（105）确定与结构表面强度数据和非结构表面强度数据之间的比率相关的频率变换比（HCF功能）。结构提供者（109）根据表面结构元素尺寸（高度或深度）和宽度与间距比将该变换率设置为等于相干扫描干涉仪的像面处的电场的表达式，并导出使用频率变换比的表面结构元件尺寸和宽度与间距比。如果音调是独立已知的，则结构提供者（109）还可以提取表面结构元素宽度。

24. 发明申请

WO2006125131A3 ANALYZING LOW-COHERENCE INTERFEROMETRY SIGNALS FOR THIN FILM STRUCTURES 审中-公开
标题翻译：分析薄膜结构的低相干干涉信号
公开(公告)号：WO2006125131A3
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/US2006019350
申请日：2006-05-18
申请人： ZYGO CORP , DE GROOT PETER
发明人： DE GROOT PETER
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01N21/8422
摘要： Methods and systems are disclosed for analyzing a scanning interferometry signal. Steps include: providing a scanning interferometry signal produced by a scanning interferometer for a first location of a test object (e.g., a sample having a thin film); providing a model function of the scanning interferometry signal produced by the scanning interferometer, wherein the model function is parametrized by one or more parameter values; fitting the model function to the scanning interferometry signal for each of a series of shifts in scan position between the model function and the scanning interferometry signal by varying the parameter values; and determining information about the test object (e.g., a surface height or height profile, and/or a thickness or thickness profile for a thin film in the test object) at the first location based on the fitting.
摘要翻译：公开了用于分析扫描干涉测量信号的方法和系统。步骤包括：提供由扫描干涉仪产生的用于测试对象（例如，具有薄膜的样本）的第一位置的扫描干涉测量信号; 提供由扫描干涉仪产生的扫描干涉测量信号的模型函数，其中模型函数由一个或多个参数值参数化; 通过改变参数值，在模型函数和扫描干涉测量信号之间的扫描位置的一系列移位中的每一个对拟合扫描干涉测量信号拟合模型函数; 以及基于所述拟合来确定关于所述第一位置处的所述测试对象的信息（例如，表面高度或高度分布，以及/或所述测试对象中的薄膜的厚度或厚度分布）。

25. 发明申请

WO2007044821A1 SYSTEMS AND METHOD FOR ENDOSCOPIC ANGLE-RESOLVED LOW COHERENCE INTERFEROMETRY 审中-公开
标题翻译：内镜角解决低相干干涉的系统和方法
公开(公告)号：WO2007044821A1
公开(公告)日：2007-04-19
申请号：PCT/US2006/039771
申请日：2006-10-11
申请人： DUKE UNIVERSITY
发明人： WAX, Adam , PYHTILA, John, W.
IPC分类号： G01J3/44 , G01J3/453 , G01N21/47 , G01N15/02
CPC分类号： G01J3/4412 , A61B5/0066 , A61B5/0075 , A61B5/0084 , A61B5/7257 , G01B9/02044 , G01B9/02084 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01J3/4531 , G01N21/31 , G01N21/4795 , G01N2021/4704 , G01N2021/4709 , G01N2021/4735 , G01N2201/08
摘要： Fourier domain a/LCI (faLCI) system and method which enables in vivo data acquisition at rapid rates using a single scan. Angle-resolved and depth-resolved spectra information is obtained with one scan. The reference arm can remain fixed with respect to the sample due to only one scan required. A reference signal and a reflected sample signal are cross-correlated and dispersed at a multitude of reflected angles off of the sample, thereby representing reflections from a multitude of points on the sample at the same time in parallel. Information about all depths of the sample at each of the multitude of different points on the sample can be obtained with one scan on the order of approximately 40 milliseconds. From the spatial, cross-correlated reference signal, structural (size) information can also be obtained using techniques that allow size information of scatterers to be obtained from angle-resolved data.
摘要翻译：傅里叶域a / LCI（faLCI）系统和方法，使用单次扫描能够以快速的速率进行体内数据采集。通过一次扫描获得角度分辨和深度分辨的光谱信息。由于仅需要一次扫描，参考臂可以相对于样品保持固定。参考信号和反射的采样信号以相对于样本的多个反射角度相互相关并分散，从而同时并行地表示来自样品上的多个点的反射。可以通过大约40毫秒量级的一次扫描获得关于样本上多个不同点的每个样本的所有深度的信息。从空间相互关联的参考信号，也可以使用允许从角度分辨数据获得散射体的尺寸信息的技术来获得结构（尺寸）信息。

26. 发明申请

WO2006068217A1 三次元形状計測装置审中-公开
标题翻译：三维形状测量仪器
公开(公告)号：WO2006068217A1
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：PCT/JP2005/023586
申请日：2005-12-22
申请人：国立大学法人電気通信大学 , 武田光夫 , パヴロフスキーミハルエマニュエル , 坂野洋平
发明人：武田光夫 , パヴロフスキーミハルエマニュエル , 坂野洋平
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02027 , G01B9/0207 , G01B9/02084 , G01B9/0209
摘要：　白色干渉縞を用いて被計測物の三次元形状を計測する三次元形状計測装置（白色干渉計測装置）において、演算に要する処理時間を短縮化しつつ、白色干渉縞の振幅が最大となる位置を高精度で特定することができるようにする。白色干渉計測装置において、まず、参照鏡（６）からの戻り光と被計測物体（７）からの戻り光との干渉によって生ずる白色干渉縞について振幅の包絡線分布を求め、この包絡線分布を用いて白色干渉縞のコントラストが最大となるおおよその位置を求めておく。次に、白色干渉縞に含まれる少なくとも二以上の互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞を抽出し、白色干渉縞のコントラストが最大となるおおよその位置の近傍において互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞の位相が互いに等しい値をとる位置を求める。
摘要翻译：用于通过使用白色干涉条纹来测量被测物体的三维形状的三维形状测量仪器（白色干涉仪），该白色干涉条纹检测白色干涉条纹的幅度以高精度获得最大值的位置一个很短的计算处理时间。确定由来自参考反射镜（6）的返回光与来自待测物体（7）的返回光之间的干涉产生的白色干涉条纹的幅度的包络分布，以及近似位置白色干涉条纹是使用该包络分布确定的最高的。提取包括在白色干涉条纹中的两个或更多个不同频谱分量的干涉条纹，并且靠近所确定的近似位置的位置和不同频谱分量的干涉条纹的相位处于相同值确定。

27. 发明申请

WO2005106383A2 INTERFEROMETRY SYSTEMS AND METHODS OF USING INTERFEROMETRY SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：干涉系统和使用干涉系统的方法
公开(公告)号：WO2005106383A2
公开(公告)日：2005-11-10
申请号：PCT/US2005/013711
申请日：2005-04-22
申请人： ZYGO CORPORATION , HILL, Henry, A. , WOMACK, Gary
发明人： HILL, Henry, A. , WOMACK, Gary
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02061 , G01B9/02018 , G01B9/02027 , G01B9/02059 , G01B9/02072 , G01B9/02084 , G01B2290/15 , G01B2290/70 , G01J2009/0261 , G03F7/70775
摘要： In general, in one aspect, the invention features methods that include interferometrically monitoring a distance between an interferometry assembly and a measurement object along each of three different measurement axes while moving the measurement object relative to the interferometry assembly, determining values of a first parameter and a second parameter for different positions of the measurement object from the monitored distances, wherein for a given position the first parameter is based on the monitored distances of the measurement object along each of the three different measurement axes at the given position, and for a given position the second parameter is based on the monitored distance of the measurement object along each of two of the measurement axes at the given position, and deriving information about a surface figure profile of the measurement object from the first and second parameter values.
摘要翻译：通常，在一个方面，本发明的特征在于，包括在沿着三个不同测量轴中的每一个干涉测量组件和测量对象之间进行干涉测量同时相对于干涉测量组件移动测量对象的干涉测量方法，确定第一参数的值，测量对象与监测距离的不同位置的第二参数，其中对于给定位置，第一参数基于测量对象沿给定位置处的三个不同测量轴中的每一个的监测距离，以及对于给定位置位置第二参数是基于测量对象沿着给定位置处的两个测量轴中的每一个的监测距离，以及从第一和第二参数值导出关于测量对象的表面图形的信息。

28. 发明申请

WO2005045361A3 SCANNING INTERFEROMETRY FOR THIN FILM THICKNESS AND SURFACE MEASUREMENTS 审中-公开
标题翻译：用于薄膜厚度和表面测量的扫描干涉测量
公开(公告)号：WO2005045361A3
公开(公告)日：2005-08-18
申请号：PCT/US2004035704
申请日：2004-10-27
申请人： ZYGO CORP , DE GROOT PETER J , DE LEGA XAVIER COLONNA
发明人： DE GROOT PETER J , DE LEGA XAVIER COLONNA
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , G02F1/1333 , G02F1/1339
CPC分类号： G01B11/0675 , G01B9/02057 , G01B9/0207 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B2290/50 , G01B2290/70 , G01N21/8422 , G02F1/13392 , G02F2001/133354
摘要： A method including: providing a low coherence scanning interferometry data for at least one spatial location of a sample having multiple interfaces, wherein the data is collected using a low coherence scanning interferometer having an illumination geometry and an illumination frequency spectrum, and wherein the data comprises a low coherence scanning interferometry signal having multiple regions of fringe contrast corresponding to the multiple interfaces; and determining a distance between at least one pair of interfaces based on a distance between the corresponding regions of fringe contrast and information about the illumination geometry.
摘要翻译：一种方法，包括：为具有多个界面的样本的至少一个空间位置提供低相干扫描干涉测量数据，其中使用具有照明几何结构和照明频谱的低相干扫描干涉仪来收集数据，并且其中所述数据包括低相干扫描干涉测量信号，其具有对应于所述多个界面的多个条纹对比区域; 以及基于对应的条纹对比区域之间的距离和关于照明几何结构的信息来确定至少一对界面之间的距离。

29. 发明申请

WO2004079294A2 PROFILING COMPLEX SURFACE STRUCTURES USING SCANNING INTERFEROMETRY 审中-公开
标题翻译：使用扫描干涉法绘制复杂的表面结构
公开(公告)号：WO2004079294A2
公开(公告)日：2004-09-16
申请号：PCT/US2004/007014
申请日：2004-03-08
申请人： ZYGO CORPORATION , DE GROOT, Peter, J. , STONER, Robert , DE LEGA, Xavier, Colonna
发明人： DE GROOT, Peter, J. , STONER, Robert , DE LEGA, Xavier, Colonna
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0201 , G01B9/02057 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B2290/70
摘要： A method including comparing information derivable from a scanning interferometry signal for a first surface location of a test object to information corresponding to multiple models of the test objects, wherein the multiple models are parametrized by a series of characteristics for the test object. The information corresponding to the multiple models may include information about at least one amplitude component of a transform of a scanning interferometry signal corresponding to each of the models of the test object.
摘要翻译：一种方法，包括将来自测试对象的第一表面位置的扫描干涉测量信号的信息与对应于测试对象的多个模型的信息进行比较，其中所述多个模型由测试对象的一系列特征参数化。对应于多个模型的信息可以包括关于与测试对象的每个模型相对应的扫描干涉测量信号的变换的至少一个幅度分量的信息。

30. 发明申请

WO2004023069A1 MEASUREMENT AND COMPENSATION OF ERRORS IN INTERFEROMETRS 审中-公开
标题翻译：干扰物中的误差的测量和补偿
公开(公告)号：WO2004023069A1
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：PCT/US2003/028587
申请日：2003-09-09
申请人： ZYGO CORPORATION , HILL, Henry, A.
发明人： HILL, Henry, A.
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02021 , G01B9/0207 , G01B9/02084 , G01B11/306 , G01B2290/45 , G03F7/70775
摘要： In general, in one aspect, the invention features a method for determining the location of an alignment mark on a stage including measuring a location, x 1 , of a stage along a first measurement axis using an interferometer, measuring a location, x 2 , of the stage along a second measurement axis substantially parallel to the first measurement axis, and determining a location of the alignment mark along a third axis substantially parallel to the first measurement axis based on x 1 , x 2 , and a correction term, Ψ 3, calculated from predetermined information including information characterizing imperfections in the interferometer.
摘要翻译：通常，在一个方面，本发明的特征在于一种用于确定舞台上的对准标记的位置的方法，包括使用干涉仪测量沿着第一测量轴的舞台的位置x1，测量位置x2的位置x2 基于与第一测量轴基本平行的第二测量轴，并且基于基于x1，x2的基本上平行于第一测量轴的第三轴和从预定信息计算的校正项Psi3来确定对准标记的位置包括表征干涉仪缺陷的信息。

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