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    • 12. 发明申请
    • 研磨システム
    • WO2022075251A1
    • 2022-04-14
    • PCT/JP2021/036597
    • 2021-10-04
    • ユアサ化成株式会社
    • 湯浅 健司五十嵐 孝之
    • B24B47/20B24B7/10B24B21/00B24B21/12B24B41/06
    • 本発明は、研磨対象物の表面のうち一平面を成す領域の一部のみを研磨可能であり、少数の研磨対象物を研磨できる研磨システムを提供する。本発明の一実施形態に係る研磨システム1は、y軸方向に並べて配置された複数の研磨装置11と、研磨装置11の各々の砥面に接するように角形セル9を保持するホルダ13を備える。研磨装置11の砥面はx軸方向移動装置12によりx軸方向に移動できる。ホルダ13は、z軸移動回転装置14により、z軸方向に移動できる。ホルダ13及びz軸移動回転装置14は、y軸方向移動装置15によりy軸方向に移動できる。ホルダ13は、角形セル9の凹部に収容された状態で角形セル9を保持する。研磨装置11がx軸方向に移動し、角形セル9に研磨装置11の砥面が押し当てられ、研磨が行われている間、z軸移動回転装置14とy軸方向移動装置15は角形セル9をz軸方向及びy軸方向に移動する。