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    • 12. 发明申请
    • METHOD AND APPARATUS FOR STRESS PULSED RELEASE AND ACTUATION OF MICROMECHANICAL STRUCTURES
    • 应力脉冲释放的方法与装置及微观结构的启动
    • WO00075068A2
    • 2000-12-14
    • PCT/US2000/014940
    • 2000-06-01
    • B81B3/00B81C1/00G02B6/35H01L41/09B81C3/00
    • G02B6/3578B81C1/00968G02B6/3512G02B6/3518G02B6/3546G02B6/357G02B6/3584G02B6/359H02N2/028H02N2/10
    • Micromechanical parts are freed from a surface of a substrate to which the parts are stiction bonded by applying a pulse stress wave to the substrate that propagates through the substrate and is reflected at the surface to which the micropart is stiction bonded, breaking the bond between the micropart and the substrate surface by a spalling action at the surface. A piezoelectric transducer may be secured to the bottom surface of the substrate such that a voltage pulse supplied to the piezoelectric transducer deforms the piezoelectric element and the substrate to which it is secured to provide a pulse stress wave that propagates through the substrate to the top surface. For microparts that are in contact with but not stiction bonded to the substrate top surface, a pulse stress wave can be applied to the substrate to drive the microparts away from the surface by the rapid displacement of that surface as the pulse stress wave is reflected at the surface. Microparts that are attached to the surface in a way to permit rotation or a translation of movement may be activated by applying a pulse stress wave to the substrate to drive such parts away from contact with the surface into their erected positions.
    • 通过向穿过衬底传播的衬底施加脉冲应力波而将微机械部件从衬底的表面上释放,通过施加脉冲应力波,并在微粘结的表面上反射微细机械部件, 微粒和衬底表面通过剥落作用在表面。 压电换能器可以被固定到基板的底表面,使得提供给压电换能器的电压脉冲使压电元件和其所固定的基板变形,以提供脉冲应力波,该脉冲应力波通过基板传播到顶表面 。 对于与衬底顶表面接触而不是粘结的微型组件,可以将脉冲应力波施加到衬底上,以通过该表面的快速位移来驱动微组件远离表面,因为脉冲应力波被反射在 表面。 以允许旋转或运动平移的方式附接到表面的微孔可以通过向基板施加脉冲应力波来驱动这些部件远离与表面接触到其竖立位置。
    • 13. 发明申请
    • LINEAR MOTOR
    • 线性电动机
    • WO2016134749A1
    • 2016-09-01
    • PCT/EP2015/053811
    • 2015-02-24
    • ABB SCHWEIZ AG
    • PRICE, AaronMECHLER, GüntherBREISCH, SebastianSTENGEL, Gregor
    • H01L41/09H01L41/083H02N2/02
    • H02N2/021H01L41/083H01L41/0833H02N2/028
    • The invention is related to a Linear motor (80), comprising at least one motor module (32, 34, 50, 70, 82, 84, 88) with at least three column-like multilayer stacks (44, 52, 72, 74, 76, 90) of electroactive polymer (EAP) elements (40), which are arranged side by side on a substratum (46, 58) within a plain area (56), wherein the stacks are extending perpendicular thereto, wherein each stack (44, 52, 72, 74, 76, 90) comprises at least a first and a second group of electrical parallel plain layer electrodes (16, 18, 36, 38, 106, 124) in between the stacked EAP elements (40), which are arranged alternating by layer and wherein the stacks (44, 52, 72, 74, 76, 90) of EAP elements (40) are designed in that way, that they contract (14) themselves longitudinal to their extension and expand transversal thereto dependent on an applied voltage in between the at least two groups of electrodes (16, 18, 36, 38, 106, 124). Voltage supply means are foreseen to apply respective periodical voltage signals to each of the at least three stacks (44, 52, 72, 74, 76, 90) of EAP elements (40), wherein the respective periodical voltage signals have an increasing and a decreasing flange and are identical except a different phase angle, wherein the phase angle difference of applied voltage signals between two neighboring stacks amounts 360° divided by the number of stacks (44, 52, 72, 74, 76, 90), so that those stacks (44, 52, 72, 74, 76, 90) which are currently neighbored on one side by a stack with an applied falling voltage signal and on the other side by a stack with an applied increasing voltage signal are shifted in direction of the stack with the applied falling voltage signal and vice versa.
    • 本发明涉及一种线性电动机(80),其包括至少一个具有至少三个柱状多层堆叠(44,52,72,74)的电动机模块(32,34,50,70,82,84,88) ,76,90)的电活性聚合物(EAP)元件(40),它们并排布置在平坦区域(56)内的基底(46,58)上,其中所述叠层垂直于其延伸,其中每个叠层 44,52,72,74,76,90)包括位于所述堆叠的EAP元件(40)之间的至少第一组和第二组电平行平面层电极(16,18,36,38,106,124) 它们以层交替布置,并且其中EAP元件(40)的堆叠(44,52,72,74,76,90)以这种方式设计,使得它们本身纵向收缩(14)至其延伸并横向扩展 取决于所述至少两组电极(16,18,36,38,106,124)之间的施加电压。 电压供应装置预计将相应的周期性电压信号施加到EAP元件(40)的至少三个堆叠(44,452,72,74,76,90)中的每一个,其中各个周期性电压信号具有增加和 减小法兰并且除了不同的相位角之外是相同的,其中两个相邻叠层之间的施加电压信号的相位角差除以堆叠数(44,52,72,74,76,90)的360°,使得那些 在一侧由堆叠施加施加的降压信号的叠层(44,52,72,74,76,90),并且另一侧由具有施加的增加电压信号的堆叠移位, 与施加的降压信号叠加,反之亦然。
    • 14. 发明申请
    • SCANNING MICROSCOPE
    • 扫描显微镜
    • WO2014007633A1
    • 2014-01-09
    • PCT/NL2013/050503
    • 2013-07-05
    • NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
    • KUIPER, Stefan
    • G01Q10/04G02B21/26
    • G01Q10/04G02B21/26G11B9/1436G12B5/00H02N2/028
    • A scanning probe microscope comprises a base, a positioning stage mounted on the base, a platform mounted on the positioning stage and a probe tip on the platform, the positioning stage comprising - a first and second linear displacement actuator, each having a main direction of displacement, the main directions of displacement of the first and second linear displacement actuator being oriented substantially parallel to each other, - a first and second strut or struts coupled directly or indirectly between the platform and ends of the first and second actuators where the first and second actuators terminate in the main direction of displacement respectively, at least the first strut or struts being directed at an oblique angle to the main direction of displacement of the actuators.
    • 扫描探针显微镜包括基座,安装在基座上的定位台,安装在定位台上的平台和平台上的探针尖端,定位台包括:第一和第二线性位移致动器,每个具有主要方向 位移,第一和第二线性位移致动器的主要取向方向基本上彼此平行;第一和第二支柱或支柱,其直接或间接地连接在第一和第二致动器的平台和端部之间, 第二执行器分别终止于主要位移方向,至少第一支柱或支柱与致动器的主移动方向成倾斜的角度。
    • 16. 发明申请
    • NANOPOSITIONIERER
    • 纳米定位
    • WO2011069476A1
    • 2011-06-16
    • PCT/DE2010/001316
    • 2010-11-10
    • FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBHCHEREPANOV, VasilyVOIGTLÄNDER, BertCOENEN, Peter
    • CHEREPANOV, VasilyVOIGTLÄNDER, BertCOENEN, Peter
    • H01L41/09G01Q10/04
    • H02N2/006H02N2/025H02N2/028
    • Die Erfindung betrifft einen Nanopositionierer. Dieser Nanopositionierer umfasst mindestens ein Stellglied mit mindestens einer durch Auslenkung des Stellglieds bewegbaren Auflage für das zu bewegende Objekt sowie ein Federelement, welches das zu bewegende Objekt mit einer zwischen dem Objekt und der Auflage wirkenden Normalkraft zu beaufschlagen vermag. Erfindungsgemäß ist das Federelement derart mit der Auflage verbunden, dass der Spannungszustand des Federelements unabhängig von der Position des zu bewegenden Objekts ist. Auf Grund dieser Maßnahme wirkt unabhängig von der konkreten Position des Objekts eine reine Normalkraft zwischen Objekt und Auflage. Es wirkt keine Lateralkraft, die der Bewegung des Objekts durch das Stellglied entgegen wirkt und sie somit einschränkt oder unreproduzierbar macht. Dies ist besonders wichtig in Slip-Stick-Antrieben, in denen das Objekt sich immer abwechselnd in Haft- und Gleitreibung zur Auflage befindet. Die Reibverhältnisse werden hier maßgeblich durch die erfindungsgemäß definiert ausgeübte Normalkraft bestimmt.
    • 本发明涉及一种纳米定位。 此纳米定位包括所述致动器中的至少一个致动器的至少一个偏转以用于要移动的对象和一个弹簧元件,其能够在与所述对象和所述接触法向力移动物体之间的力作用在可动支承。 根据本发明,弹簧元件是这样连接到该弹簧元件的张力的状态是独立的物体的位置的被移动的状态。 由于这种措施是独立的对象的对象和所述支撑件之间的纯法向力的实际位置的。 它的工作原理抵消由致动器计数器中的物体的运动,从而限制或使不可再现没有侧向力。 这是粘滑驱动器,其中对象总是静摩擦和滑动摩擦之间交替休息尤为重要。 摩擦条件主要是在这里所限定的本发明确定所施加的法向力。
    • 18. 发明申请
    • MESO-SCALE PARALLEL-KINEMATICS NANO-POSITIONING XY FLEXURE STAGE
    • MESO-SCALE并行动力纳米定位XY柔性阶段
    • WO2007100749A2
    • 2007-09-07
    • PCT/US2007/004890
    • 2007-02-23
    • THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOISFERREIRA, Placid, M.YAO, Qing
    • FERREIRA, Placid, M.YAO, Qing
    • H02N2/028H02N1/006Y10T74/20594
    • In one embodiment, a flexure subsystem (26) comprises a base (30), a stage (34), a positioning mechanism (40), and a control device (22). The base (30) and stage (34) have first and second portions that are spaced apart from each other. The positioning mechanism (40) is coupled between the base (30) and the stage (34). The positioning mechanism (40) includes an actuator (42a, 42b) and a flexure structure engaged by the actuator (42a, 42b). The flexure structure includes base links (62) coupled to the first base portion, stage links (64) coupled to the first stage portion, and an intermediate member (58) coupled to both the base and stage links (62, 64). All structures are coupled by flexure hinges (56). The control device (22) generates a control signal to change position of the stage (34) by sending a control signal to the actuator (42a, 42b) which provides a force to elastically deform the flexure structure and correspondingly move the stage (34).
    • 在一个实施例中,柔性子系统(26)包括基座(30),平台(34),定位机构(40)和控制装置(22)。 基部(30)和台(34)具有彼此间隔开的第一和第二部分。 定位机构(40)联接在基座(30)和平台(34)之间。 定位机构(40)包括致动器(42a,42b)和由致动器(42a,42b)接合的挠曲构件。 弯曲结构包括联接到第一基部的基部连杆(62),联接到第一平台部分的平台连杆(64)和联接到基座和平台连杆(62,64)的中间构件(58)。 所有结构通过弯曲铰链(56)联接。 控制装置(22)通过向致动器(42a,42b)发送控制信号来产生用于改变载物台(34)的位置的控制信号,该致动器(42a,42b)提供用于使挠曲构件弹性变形的力并相应地使载物台(34)移动, 。
    • 19. 发明申请
    • 精密位置決め装置
    • 精密定位装置
    • WO2006098010A1
    • 2006-09-21
    • PCT/JP2005/004608
    • 2005-03-16
    • 平田機工株式会社大田黒 徹典
    • 大田黒 徹典
    • G12B5/00H01L41/09H02N2/00
    • G12B5/00H02N2/028
    • 【課題】 構造が簡単で、位置決め対象物を多次元空間内で多軸方向に精密に位置決めすることが可能な精密位置決め装置を提供する。 【解決手段】 多軸方向に自由度を持った精密位置決め装置1が、1個の一体構造物2と、複数個の伸縮アクチュエータ4a、4b、4cとを備え、位置決め対象物の各軸方向の移動が、位置決め対象物をその方向にのみ移動させるように変形する一体構造物2の弾性変形によって行われ、該弾性変形を生じさせる力が、一体構造物2に組み込まれた伸縮アクチュエータ4a、4b、4cの伸縮に基づくものとされている。伸縮アクチュエータ4a、4b、4cは、ピエゾ圧電素子から成るものとすることができる。                                    
    • 本发明提供一种简单地形成并且能够在多维空间中将定位对象精确地定位在多轴方向上的精密定位装置。 解决问题的手段具有多轴向自由度的精密定位装置(1)包括一体结构(2)和多个可延伸致动器(4a),(4b)和(4c)。 定位对象在轴向方向上的运动通过一体化结构(2)的这种弹性变形来执行,使得定位的物体仅在轴向方向上移动。 引起弹性变形的力通过组装在一体结构(2)中的可伸展致动器(4a),(4b)和(4c)的伸缩来产生。 可延伸致动器(4a),(4b)和(4c)可以由压电元件形成。