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11. 发明申请

WO2004109913A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT及其制备方法
公开(公告)号：WO2004109913A1
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/EP2004/004177
申请日：2004-04-20
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02228 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein elektroakustisches Bauelement, das ein zwischen zwei Substraten angeordnetes Schichtsystem umfaßt, das elektroakustische Strukturen zur Anregung einer geführten akustischen Volumenwelle aufweist, wobei über den elektroakustischen Strukturen keine Hohlräume vorgesehen sind. Das Schichtsystem umfaßt eine piezoelektrische Schicht, zumindest eine Metallschicht und eine Planarisierungsschicht, die zu dem direkt über ihr angeordneten Substrat hin eine planare Grenzfläche aufweist. Ein solches Bauelement kann kostengünstig durch Direct Wafer Bonding zweier Wafer erzeugt werden. Die elektroakustischen Bauelement-Strukturen sind elektrisch durch vertikale elektrische Verbindungen mit Außenkontakten des Bauelements verbunden.
摘要翻译：本发明涉及一种包括设置在两个基底的层系统，其包括用于引导的声波的激励，其中没有空腔设置在所述电声结构电声结构之间的阀的电声装置。所述层系统包括压电层，至少一个金属层和具有直接设置在其上方朝向衬底的平面界面的平坦化层。这样的装置可以通过直接晶片接合两个晶片被廉价地制造。电声器件结构是由该组件的外部触点垂直电连接电连接。

12. 发明申请

WO2016026625A1 MIT AKUSTISCHEN OBERFLÄCHENWELLEN ARBEITENDER EINTORRESONATOR 审中-公开
标题翻译：与弹性表面波经营端口谐振器
公开(公告)号：WO2016026625A1
公开(公告)日：2016-02-25
申请号：PCT/EP2015/066333
申请日：2015-07-16
申请人： EPCOS AG
发明人： RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner , BERGMANN, Andreas , MEISTER, Veit
IPC分类号： H03H9/145
CPC分类号： H03H9/25 , H03H9/14517 , H03H9/1457
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Eintorresonator (1), der einen Interdigitalwandler (2) mit einer ersten Stromschiene (6), einer zweiten Stromschiene (7) und Elektrodenfingern (8) aufweist, wobei in einem Anregungsbereich (10) des Interdigitalwandlers (2) die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind, wobei der Interdigitalwandler (2) einen ersten umgeklappten Bereich (11) aufweist, in dem die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließt, und wobei der in longitudinaler Richtung (L) unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließende Elektrodenfinger (118) des ersten umgeklappten Bereichs (11) und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger (108) des Anregungsbereichs (10) mit der gleichen Stromschiene (6, 7) verbunden sind.
摘要翻译：本发明涉及一种工作表面声波单口谐振器（1），具有一个叉指式换能器（2）到第一电源导轨（6），第二导电轨（7）和电极指（8），其特征在于，在叉指式换能器的激励区域（10）（2）在纵向方向（L）的电极指（8）交替地与第一导体轨（6）和第二汇流条（7）连接，其中，所述叉指式换能器（2）具有第一折叠部（11），其中在纵向方向（L）的电极指（8）被交替地连接到第一导电轨（6）和第二汇流条（7）和直接到激励区域（10）连接，并且其中所述（L）直接连接到在纵向方向上激励区域（10），第一折叠部分（11）的电极指（118）邻接且紧邻ANRE的该电极指（108）供给区域（10）具有相同的汇流条（6,7）连接。

13. 发明申请

WO2012076517A1 ELEKTROAKUSTISCHER WANDLER MIT VERRINGERTEN VERLUSTEN DURCH TRANSVERSALE EMISSION UND VERBESSERTER PERFORMANCE DURCH UNTERDRÜCKUNG TRANSVERSALER MODEN 审中-公开
标题翻译：与减亏通过横向排放和改进的性能抑制性横向FASHIONS电声转换
公开(公告)号：WO2012076517A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/EP2011/071900
申请日：2011-12-06
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , RIHA, Gerd , EGGS, Christoph
发明人： RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , RIHA, Gerd , EGGS, Christoph
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/145
CPC分类号： H01L41/047 , H03H9/0222 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/02992 , H03H9/14532 , H03H9/14552 , H03H9/1457
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen elektroakustischen Wandler, der in einer akustischen Spur (AS) und auf einem piezoelektrischen Substrat (11) angeordnet ist und der zwei auf dem Substrat (11) angeordnete Elektroden (1, 2) aufweist, die ineinander greifende Elektrodenfinger (3, 4) zur Anregung von akustischen Wellen aufweisen. Die Elektrodenfinger (3, 4) einer Elektrode (1, 2) sind miteinander verschaltet. Der Wandler weist ferner Mittel zur Erhöhung der Massenbelegung in einem zentralen Anregungsbereich (ZAB), der parallel zur akustischen Spur (AS) verläuft, auf, und die Massenbelegung in dem zentralen Anregungsbereich (ZAB) ist höher als in einem Randbereich (RB), der sich von beiden Seiten an den zentralen Anregungsbereich (ZAB) anschließt.
摘要翻译：本发明涉及在声轨（AS）的电声换能器和在压电基板上（11）被布置和所述衬底（11）的电极（1,2），该叉指式电极指上设置在两个（3 包括，4）用于声波的激发。电极的电极指（3,4）（1,2）相互连接。所述换能器还包括用于在中央激发范围增加质量密度的装置（ZAB）平行延伸的声轨迹（AS），并且在中央激励范围中的质量密度（ZAB）比在边缘区域（RB）越大，是（ZAB）在两侧连接到中央激励区域。

14. 发明申请

WO2007059733A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT
公开(公告)号：WO2007059733A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/DE2006/002005
申请日：2006-11-15
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0222
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem zur Führung von GBAW geeigneten Schichtsystem (3), einem Trägersubstrat (2) und einem Piezosubstrat (1) angegeben. Das Schichtsystem (3) ist zwischen den beiden Substraten (2, 1) angeordnet. Die Dicke des Piezosubstrats (1) beträgt in einer ersten bevorzugten Ausführungsform maximal die Hälfte der Dicke des Trägersubstrats (2). Gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform weist das Piezosubstrat (1) eine monokristalline Struktur auf und ist dabei maximal 50 dick, wobei die Wellenlänge der GBAW bei der Mittenfrequenz des angegebenen Bauelements ist. Gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform ist das Piezosubstrat (1) in einem mechanischen Verfahren abgedünnt.
摘要翻译：它与合适的指定用于引导GBAW层系统（3），载体衬底（2）和一个压电基片（1）的电声装置。在两个衬底之间的层系统（3）（2，1）。在压电基片（1）的厚度是在第一优选实施例在载体衬底的一半以上的厚度（2）。根据本发明的第二优选实施例中，压电基片（1），单晶结构，并且最大为50厚时，GBAW的在指定的组件的中心频率的波长为。根据本发明的第三优选实施例中，在压电基片（1）通过机械方法变薄。

15. 发明申请

WO2006058579A1 MIT AKUSTISCHEN OBERFLÄCHENWELLEN ARBEITENDES BAUELEMENT MIT HOHER BANDBREITE 审中-公开
标题翻译：与具有高带宽型声表面波工作相关的部分
公开(公告)号：WO2006058579A1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/EP2005/011310
申请日：2005-10-20
申请人： EPCOS AG , MEISTER, Veit , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
发明人： MEISTER, Veit , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/14541 , H03H9/02929
摘要： Die Erfindung betrifft den Schichtaufbau von Elektrodenstrukturen eines mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelements. Die Elektrodenstrukturen sind dabei durch eine dielektrische Schicht (4) mit einer akustischen Impedanz Z a,d bedeckt. Der Schichtaufbau der Elektrodenstrukturen umfasst ein erstes Schichtsystem, das aus mindestens einer ersten Schicht (31, 32) aus einem ersten Material besteht, in dem die akustische Impedanz kleiner als 2Z a,d ist, sowie ein zweites Schichtsystem, das aus mindestens einer zweiten Schicht (21, 22, 23) aus einem zweiten Material besteht, in dem die akustische Impedanz den Wert 2Z a,d übersteigt. Der relative Anteil der Gesamtdicke des zweiten Schichtsystems bezogen auf die Gesamthöhe des Mehrschichtaufbaus beträgt zwischen 15% und 85%.
摘要翻译：本发明涉及一种工作表面声波器件的电极结构的层结构。电极结构是由介电层（4），其具有的声阻抗Z _{A D 覆盖。电极结构的层结构包括第一层系统，由至少一个第一层（31，32）的由第一材料，其中，所述声阻抗小于2Z _{A D 是，和第二层系统的由第二材料制成的至少一个第二层（21，22，23），其中，所述声阻抗超过2Z _{A D 的值。所述第二层系统的总厚度的相对于多层结构的总高度的相对比例为15％和85％之间。}}}

16. 发明申请

WO2015162025A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT UND KRISTALLSCHNITTE FÜR ELEKTROAKUSTISCHE BAUELEMENTE 审中-公开
标题翻译：声电器成分和晶体削减声电器组件
公开(公告)号：WO2015162025A1
公开(公告)日：2015-10-29
申请号：PCT/EP2015/057951
申请日：2015-04-13
申请人： EPCOS AG
发明人： JÄGER, Philipp Michael , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0296 , H03H9/02015 , H03H9/02543
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement angegeben, das weitergehende Optimierungen bezüglich des elektroakustischen Kopplungskoeffizienten und der Temperaturabhängigkeit der charakteristischen Frequenzen ermöglicht. Dazu sind Kombinationen aus vorteilhaften Euler-Winkeln, Metallisierungsverhältnisse und Höhen von Elektrodenfingern angegeben.
摘要翻译：本发明提供一种电声装置，其使得能够进一步优化相对于所述电耦合系数和特征频率的温度依赖性。有益的欧拉角，金属化比和电极指的高度的这些组合被示出。

17. 发明申请

WO2008110576A1 MIT GEFÜHRTEN AKUSTISCHEN VOLUMENWELLEN ARBEITENDES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：带有OUT声体积波工作有关COMPONENT
公开(公告)号：WO2008110576A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/EP2008/052955
申请日：2008-03-12
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0222 , H03H9/02834 , H03H9/14541
摘要： Es wird ein mit geführten akustischen Volumenwellen arbeitendes Bauelement mit mindestens einem Substrat (1) und einem mit diesem verbundenen, zur Wellenleitung geeigneten Schichtsystem (3) angegeben. Das Schichtsystem umfasst eine Metallisierungsschicht (33), eine erste dielektrische Schicht (31) und eine zweite dielektrische Schicht (32). Die Geschwindigkeit der akustischen Welle ist in der zweiten dielektrischen Schicht (32) größer als in der ersten dielektrischen Schicht (31). Mindestens eine der dielektrischen Schichten enthält TeO 2 .
摘要翻译：本发明提供与具有被引导体声波分量的操作至少一个衬底（1）和于此，适用于波导层系统（3）连接。所述层系统包括金属化层（33），第一介电层（31）和一第二介质层（32）。声波的速度是第二电介质层（32）是比所述第一电介质层（31）在更大英寸至少在介电层中的一个包含的TeO _{2 。}

18. 发明申请

WO2007059741A1 MIT GEFÜHRTEN AKUSTISCHEN WELLEN ARBEITENDES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：被引导的声波工作相关的部分
公开(公告)号：WO2007059741A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/DE2006/002034
申请日：2006-11-20
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , HAUSER, Markus , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , HAUSER, Markus , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0222 , H03H3/02
摘要： Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement angegeben, das ein zur Wellenleitung geeignetes Schichtsystem (9) umfasst. Das Schichtsystem (9) umfasst eine piezoelektrische Schicht (1), darauf angeordnete Elektroden (3) und eine dielektrische Schicht (2), die eine relativ niedrige akustische Impedanz Z a0 aufweist. Das Schichtsystem (9) umfasst zudem eine Einstellschicht (32, 51) mit einer relativ hohen akustischen Impedanz Z a2 mit Z a2 /Z a0 > 1,5, die in mindestens einem Abstandsbereich (55) von der piezoelektrischen Schicht (1) beabstandet ist.
摘要翻译：提供一种与引导声波，其中包括一个合适的波导层系统（9）的操作。所述层系统（9）包括：（1），设置在其上的电极的压电体层（3）和一个介电层（2）中，A0 具有相对低的声阻抗Z _{。所述层系统（9）还包括具有相对高的声阻抗Z _{A2 到Z _{的调节层（32，51）A2 / Z _{A0 > 1.5，这是在压电体层（1）中的至少一个间隔部分（55）间隔开。}}}}

19. 发明申请

WO2006136282A1 SAW-STRUKTUR MIT STUMMELFINGERN 审中-公开
标题翻译：与残指声波装置
公开(公告)号：WO2006136282A1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：PCT/EP2006/005375
申请日：2006-06-06
申请人： EPCOS AG , HAUSER, Markus , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
发明人： HAUSER, Markus , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/145
CPC分类号： H03H9/02881 , H03H9/14517
摘要： Eine SAW-Strukturweist im seriellen Signalpfad zwischen Ein- und Ausgangstor eine seriellen Resonator () (Rs) mit Stummelf ingern (SF) auf, die eine Stummelfingerlänge vfom Vier- bis Achtfachen der periode p des Wandlers aufweisen. Die SAW-Struktur kann einen in einem abzweigendem parallelen Pfad angeordneten parellelen resonator (Rp) aufweisen, der Stummelfinger besitztt, deren Länge das Vier- bis Sechsfache der Periodep des Wandlers beträgt.
摘要翻译：的SAW结构具有在串联谐振器（的输入和输出端口之间的串联信号路径）（RS）与Stummelf ingern（SF），其中有一个短截线长度手指VFOM换能器的周期p四到八倍。的SAW结构可以具有布置在平行路径abzweigendem并行数据谐振器（RP），存根手指besitztt，其长度是换能器的Periodep四到六倍。

20. 发明申请

WO2006032335A1 SAW-BAUELEMENT MIT REDUZIERTEM TEMPERATURGANG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：具有产生降低温度的过渡和方法SAW COMPONENT
公开(公告)号：WO2006032335A1
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：PCT/EP2005/008964
申请日：2005-08-18
申请人： EPCOS AG , HAUSER, Markus , KNAUER, Ulrich , LEIDL, Anton , RIHA, Evelyn , RIHA, Gerd , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner , RUPPEL, Clemens , SCHOLL, Gerd , WOLFF, Ulrich
发明人： HAUSER, Markus , KNAUER, Ulrich , LEIDL, Anton , RIHA, Evelyn , RIHA, Gerd , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner , RUPPEL, Clemens , SCHOLL, Gerd , WOLFF, Ulrich
IPC分类号： H03H3/10
CPC分类号： H03H9/08 , H03H3/10 , H03H9/02574 , H03H9/02834 , H03H9/02984
摘要： Es wird ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement vorgeschlagen, welches verschiedene Maßnahmen zur Absenkung des Temperaturgangs insbesondere der Resonanzfrequenz kombiniert. Das Bauelement weist ein piezoelektrisches Substrat (PS) auf, das eine relativ geringe Dicke (dp) im Bereich vom 5 bis 50-fachen der im Material ausbreitungsfähigen Wellenlänge aufweist. Auf der Oberseite sind elektrisch leitende Bauelementstrukturen (BES) vorgesehen, auf der Unterseite ist eine Kompensationsschicht (Ks) mechanisch fest so mit dem Substrat verbunden, dass eine mechanische Verspannung entsteht, oder dass bei Temperaturänderung sich eine Verspannung aufbaut. Über den Bauelementstrukturen (BES) ist eine SiO 2 -Schicht in einer Dicke von 5 bis 20 % der in ihr ausbreitungsfähigen akustischen Welle angeordnet.
摘要翻译：所以建议利用声波工作，它结合了各种措施，以降低在特定的谐振频率的温度响应。该装置包括具有从5至50倍，在材料的波长中传播的范围内的相对小的厚度（DP）的压电基片（PS）。在顶部导电部件结构是设置在底机械牢固地与基板，补偿层（KS）连接，该机械应力被创建，或当温度变化时，一个应力积聚（BES）。关于组件结构（BES）是由SiO <子

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