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    • 16. 发明申请
    • PLASMAERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND PLASMAERZEUGUNGSVERFAHREN
    • 等离子发生装置及电浆生产工艺
    • WO2007017271A2
    • 2007-02-15
    • PCT/EP2006/007889
    • 2006-08-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V:EICHLER, MarkoTHOMAS, MichaelSCHLITTENHARDT, Eugen
    • EICHLER, MarkoTHOMAS, MichaelSCHLITTENHARDT, Eugen
    • H05H1/24
    • H05H1/2406H05H2001/2418
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einer ersten und einer zweiten Elektrode (3, 4), die voneinander beabstandet sind, zur Erzeugung eines Plasmas (13) zwischen den beiden Elektroden (3, 4), einem Dielektrikum (8), das zwischen den beiden Elektroden (3, 4) angeordnet ist, einem Gaseinlass (10) in dem Raum zwischen den beiden Elektroden (3, 4) zur Zufuhr eines plasmaerzeugenden Gases (12), wobei eine der beiden Elektroden (3, 4) mindestens eine Öffnung (5) als Gasauslass aus dem Raum zwischen den beiden Elektroden (3,4) aufweist, durch den das zwischen den beiden Elektroden (3, 4) erzeugbare Plasma (13) parallel zur Richtung des von den beiden Elektroden (3, 4) zwischen den beiden Elektroden (3, 4) erzeugbaren elektrischen Feldes austreibbar ist, wobei über den Querschnitt der mindestens einen Öffnung (5) ein Gitter, Netz und/oder Gewebe (1) angeordnet ist.
    • 本发明涉及一种具有第一和第二电极的等离子体产生装置(3,4),它们彼此间隔开,用于产生两个电极之间的等离子体(13)(3,4),一个在夹持电介质(8) 两个电极(3,4)在两个电极之间的空间布置,气体入口(10)(3,4),用于提供等离子体生成气体(12),其中所述两个电极中的一个(3,4)的至少一个开口( 5)(如从两个电极3,4)之间的空间中,气体出口,通过该两个电极(3之间,4可以被生成)等离子体(13)平行于(在之间的两个电极3,4)的方向 两个电极(3,4)可产生的电场可被排出,其特征在于,一个网格,网格和/或组织(1)被布置在所述至少一个开口的横截面(5)。