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11. 发明申请

WO2015119380A1 시인성이 향상된 태양 전지 및 그의 제조 방법 审中-公开
标题翻译：具有改进的可见性的太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2015119380A1
公开(公告)日：2015-08-13
申请号：PCT/KR2015/000152
申请日：2015-01-07
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 편승철 , 홍용규
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/0468 , H01L31/02168 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/046 , H01L31/0512 , H02S20/22 , H02S40/42 , Y02B10/10 , Y02E10/50
摘要： 본 발명은 광전 변환 효율을 개선하면서 건축물의 유리창 또는 차량 등의 이동 수단의 조망창에 적용 가능하도록 시인성이 향상된 태양 전지 및 그의 제조 방법을 제공하는 것으로, 본 발명에 따른 태양 전지는 투명 기판; 상기 투명 기판의 일면 상에 형성된 투명 전극; 상기 투명 전극 상에 형성된 제 1 전극과 상기 제 1 전극 상에 형성된 광전 변환부 및 상기 광전 변환부 상에 형성된 제 2 전극을 포함하는 복수의 태양 전지 셀; 및 상기 인접한 태양 전지 셀 사이에 마련된 분리부를 포함하며, 상기 분리부는 입사되는 태양광에 상기 투명 전극을 노출시키는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明提供一种具有提高的可见度的太阳能电池，其提高光电转换效率并且可以应用于建筑物的玻璃窗或诸如车辆的运输装置的视窗; 以及太阳能电池的制造方法。根据本发明的太阳能电池包括：透明基板; 形成在透明基板一侧的透明电极; 多个太阳能电池，包括形成在所述透明电极上的第一电极，形成在所述第一电极上的光电转换部分和形成在所述光电转换部分上的第二电极; 以及插入在彼此相邻的太阳能电池之间的分离部，其中所述分离部将所述透明电极暴露于所述入射的太阳光。

12. 发明申请

WO2023277539A1 캐니스터 온도 제어 방법 및 원료 공급 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023277539A1
公开(公告)日：2023-01-05
申请号：PCT/KR2022/009246
申请日：2022-06-28
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 임병관 , 권상교 , 김용현 , 김진현 , 김홍은 , 박일흥 , 박창균 , 백인우 , 오원주 , 이동환 , 이용현 , 이준석 , 조승현 , 허정
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 본 발명은, 캐니스터 내의 원료물질 기화시키는 단계, 기화된 원료물질을 배출하는 단계, 캐니스터의 내부온도를 측정하는 단계, 내부온도를 이용하여 계산온도를 산출하는 단계, 캐니스터에 구비된 가열부를 계산온도로 가열하여 내부온도의 변화를 보상하는 단계를 포함하는 원료 공급 방법과, 이에 적용되는 원료 처리 장치로서, 기화된 원료물질을 처리공간으로 안정적으로 공급할 수 있는 원료 공급 방법 및 장치가 제시된다.

13. 发明申请

WO2021002605A1 기판처리장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2021002605A1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：PCT/KR2020/007614
申请日：2020-06-11
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이재완 , 김용현 , 김윤정 , 김윤회 , 박창균 , 정구현 , 김기범 , 사승엽
IPC分类号： H01L21/67 , C23C16/509 , C23C16/455 , H01J37/32
摘要： 본 발명은 열팽창율의 차이를 고려하여 제1 전극과 제2 전극의 위치를 미리 조정함으로써 공정이 진행되어 제1 전극 및 제2 전극의 열팽창이 발생하더라도 상기 제1 전극과 제2 전극이 접촉되어 쇼트가 일어나는 것을 방지할 수 있도록 한 기판처리장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판처리장치에 의하면, 공정 진행중 온도 상승으로 인해 제1 전극 및 제2 전극이 열팽창이 일어나더라도 상기 제1 전극과 제2 전극간의 쇼트를 방지할 수 있고, 대면적 기판 처리 장치에서 박막의 균일도를 유지할 수 있는 효과가 있다.

14. 发明申请

WO2021002590A1 기판처리장치용 가스공급장치 및 기판처리장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2021002590A1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：PCT/KR2020/006743
申请日：2020-05-25
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이재완 , 김용현 , 김윤정 , 김윤회 , 박창균
IPC分类号： H01L21/67 , C23C16/44
摘要： 본 발명은 기판에 대한 공정공간을 제공하는 챔버에 제1가스를 공급하기 위한 제1가스공급부; 상기 제1가스에 비해 더 큰 증기압(Vapor Pressure)을 갖는 제2가스를 상기 챔버에 공급하기 위한 제2가스공급부; 상기 제1가스의 유동력이 증가되도록 상기 제1가스공급부에 제1캐리어가스를 공급하는 제1캐리어공급부; 및 상기 제2가스의 유동력이 증가되도록 상기 제2가스공급부에 제2캐리어가스를 공급하는 제2캐리어공급부를 포함하는 기판처리장치용 가스공급장치 및 기판처리장치에 관한 것이다.

15. 发明申请

WO2018038478A1 태양전지 및 그 제조 방법 审中-公开
标题翻译：太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2018038478A1
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：PCT/KR2017/009075
申请日：2017-08-21
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 서정호 , 권순범 , 김기덕 , 김종인 , 박창균 , 신원석 , 임경진 , 진법종
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L31/0224 , H01L31/0445 , H01L31/04
摘要： 본 발명은 반도체 웨이퍼의 상면 상에 제1 반도체층을 형성하고, 상기 반도체 웨이퍼의 하면 상에 상기 제1 반도체층과 상이한 극성을 갖는 제2 반도체층을 형성하는 공정; 상기 제1 반도체층의 일 부분을 외부로 노출시키면서 상기 제1 반도체층의 상면 상에 제1 투명 도전층을 형성하고, 상기 제2 반도체층의 일 부분을 외부로 노출시키면서 상기 제2 반도체층의 하면 상에 제2 투명 도전층을 형성하는 공정; 및 상기 제1 투명 도전층 및 상기 제2 투명 도전층 중 적어도 하나에 대한 플라즈마 처리 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 플라즈마 처리 공정은 상기 외부로 노출된 상기 제1 반도체층의 일 부분 및 상기 제2 반도체층의 일 부분을 제거하는 공정을 포함하여 이루어진 태양전지의 제조 방법을 제공한다.
摘要翻译：
本发明是一种形成在半导体晶片的下表面上具有不同的极性，并且所述第一半导体层以在半导体晶片的上表面上形成第一半导体层的第二半导体层的步骤，。而同时暴露半导体层的一部分向外部以暴露第二半导体层的部分中，在第一半导体层的外部的上表面上形成第一透明导电层，所述第一第二半导体层在下表面上形成第二透明导电层; 和第一透明导电层和由所述第二透明导电，包括用于至少一个层中的等离子体处理步骤中，等离子体处理步骤是使部分和所述第一半导体层暴露于外部的第二以及去除一部分半导体层的步骤。

16. 发明申请

WO2017195933A1 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치 审中-公开
标题翻译：基板支架和使用其的基板处理装置
公开(公告)号：WO2017195933A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/KR2016/007562
申请日：2016-07-12
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 마창수 , 민경인
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치는, 기판지지홀더의 와이어로 기판을 지지하여, 로봇의 아암에 탑재된 기판을 서셉터에 탑재한 다음, 기판을 처리한다. 그런데, 와이어의 직경을 적절한 범위로 형성하므로, 기판의 처리시, 기판이 와이어의 영향을 받지 않는다. 그러므로, 기판의 전체 부위가 균일하게 처리되므로, 기판에 대한 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다. 즉, 기판의 처리시, 기판과 서셉터가 0.1㎜~3.0㎜의 간격을 가지면, 기판의 전체 부위가 균일하게 처리되므로, 기판에 대한 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.
摘要翻译：公开了一种衬底支撑保持件和使用该保持件的衬底处理设备。根据本发明的使用基板保持器的基板保持器和基板处理设备利用基板保持器的导线支撑基板，将安装在机器人的臂上的基板安装在基座上并处理基板。但是，由于导线的直径被设定在适当的范围内，所以在处理基板期间基板不会受到导线的影响。因此，由于基板的整个部分被均匀处理，因此可以提高基板的可靠性。也就是说，如果基板和基座在处理基板时具有0.1mm至3.0mm的间隔，则基板的整个部分被均匀处理，从而可以提高基板的可靠性。

17. 发明申请

WO2016200216A1 박막형 태양전지와 그의 제조방법 审中-公开
标题翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2016200216A1
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：PCT/KR2016/006207
申请日：2016-06-10
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 민경인 , 최상수
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67 , H01L31/0224 , H01L31/0445 , H01L31/18 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 본 발명의 실시예는 분리부에 형성된 부산물에 의해 제1 전극과 제2 전극 간에 단락이 발생하는 것을 방지함으로써 출력 감소를 방지할 수 있는 박막형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판; 상기 기판 상에서 제1 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에서 상기 제1 분리부를 통해 상기 기판과 접하고, 콘택부 및 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 반도체층; 및 상기 반도체층 상에서 상기 콘택부를 통해 상기 제2 전극과 접속되고, 상기 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극을 포함하고, 상기 제2 분리부에 형성된 부산물의 높이는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明的一个实施例涉及一种薄膜型太阳能电池，其能够通过防止由于在分离部件上形成的毛刺而在第一电极和第二电极之间的短路而防止功率降低。根据本发明实施例的薄膜型太阳能电池包括：基板; 第一电极在衬底上间隔开，其间具有第一分离部分; 在第一电极上通过第一分离部分与基板接触并与其间的接触部分和第二分离部分隔开的半导体层; 以及通过所述接触部分与所述第二电极接触并且与所述第二分离部分间隔开的所述半导体层上的第一电极，其中所述第二分离部分中的毛刺高度低于所述第一电极之间的高度和第二电极。

18. 发明申请

WO2015093868A1 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법 审中-公开
标题翻译：用于制造触控面板的装置，系统和方法
公开(公告)号：WO2015093868A1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：PCT/KR2014/012528
申请日：2014-12-18
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김선명 , 박창균 , 김영기 , 민경인 , 박일흥
IPC分类号： G06F3/041
CPC分类号： G06F3/041 , C23C16/40 , C23C16/44 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111
摘要： 본 발명은 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 전도성을 가진 투명한 제1산화물을 이용하여 브릿지를 형성하고, 고온 및 고습에 강한 제2산화물을 상기 브릿지 상단에 형성시키는, 터치패널 제조 장치, 시스템 및 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 터치패널 제조 방법은, 기판의 표시영역에 전극부들을 형성하는 단계; 상기 기판의 비표시영역에 차광층을 형성하는 단계; 상기 차광층 상에 전극라인을 형성하는 단계; 전도성을 가진 투명한 제1산화물을 이용하여, 상기 전극부와 상기 전극라인을 연결하는 라인브릿지를 형성하는 단계; 및 상기 제1산화물을 보호하기 위한, 제2산화물을, 상기 제1산화물 상에 형성시키는 단계를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造触摸屏的装置，系统和方法，具体而言，本发明的技术目的是提供一种用于制造触摸面板的装置，系统和方法，其中，使用具有导电性的透明第一氧化物形成桥，并且在桥的上端形成具有高耐高温和高湿度的第二氧化物。为此，根据本发明的触摸面板的制造方法包括以下步骤：在基板的显示区域中形成电极部; 在所述基板的非显示区域中形成遮光层; 在所述遮光层上形成电极线; 形成使用具有导电性的透明第一氧化物连接所述电极部和所述电极线的线桥; 以及在所述第一氧化物上形成用于保护所述第一氧化物的第二氧化物。

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