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    • 14. 发明申请
    • CIGS 박막 제조방법
    • 制造薄膜薄膜的方法
    • WO2011111889A1
    • 2011-09-15
    • PCT/KR2010/001544
    • 2010-03-12
    • 주식회사 메카로닉스장혁규김현창이주영
    • 장혁규김현창이주영
    • H01L31/042
    • H01L31/0322C23C16/18C23C16/305C23C16/45531Y02E10/541Y02P70/521
    • 본 발명은 각 전구체를 챔버 내부에 동시 공급 또는 순차 공급하면서 화학기상 증착법 또는 원자층 증착법을 이용하여 CIGS 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는 진공 챔버 내에 장착된 기판상에 구리(Cu) 전구체, 인듐(In) 전구체, 갈륨(Ga) 전구체, 및 셀레늄(Se) 전구체를 동시에 또는 이들 중 2가지 이상의 조합으로 공급하면서 화학기상 증착법을 이용하여 박막을 제조하거나, 1) 진공 챔버 내부에 기판을 위치시키고, 상기 기판을 특정한 반응 온도로 유지하는 단계; 2) 진공 챔버 내부로 구리 전구체를 공급하고 반응시키는 단계; 3) 미반응 물질 및 부산물을 제거하는 제1 퍼징 단계; 4) 진공 챔버 내부로 인듐 전구체를 공급하고 반응시키는 단계; 5) 미반응 물질 및 부산물을 제거하는 제2 퍼징 단계; 6) 진공 챔버 내부로 갈륨 전구체를 공급하고 반응시키는 단계; 7) 미반응 물질 및 부산물을 제거하는 제3 퍼징 단계; 8) 진공 챔버 내부로 셀레늄 전구체를 공급하고 반응시키는 단계; 및 9) 미반응 물질 및 부산물을 제거하는 제4 퍼징 단계;를 포함하고, 원자층 증착법을 이용하여 기판상에 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 제조시간이 짧고, 생산성이 높으며, 제조단가가 낮고, 막질이 우수한 대면적 박막을 제공할 수 있다.
    • 本发明涉及使用化学气相沉积或原子层沉积制造CIGS薄膜的方法,该方法是通过同时或顺序地将各种前体进料到室中。 更具体地说,本发明涉及一种使用化学气相沉积制造CIGS薄膜的方法,该方法是通过同时供给铜(Cu)前体,铟(In)前体,镓(Ga)前体和硒(Se) 或者通过馈送至少两种前体的组合,或者涉及通过使用原子层沉积在衬底上制造CIGS薄膜的方法,其中该方法包括以下步骤: 1)将基板定位在真空室中并将基板保持在特定的反应温度; 2)将铜前体进料到真空室中,并允许铜前体与基底反应; 3)进行第一吹扫以除去未反应的物质和副产物; 4)将铟前体进料到真空室中并使铟前体与基底反应; 5)进行第二吹扫以去除未反应的物质和副产物; 6)将镓前体进料到真空室中并使镓前体与基底反应; 7)进行第三吹扫以除去未反应的物质和副产物; 8)将硒前体供应到真空室中并使硒前体与基底反应; 和9)进行第四吹扫以除去未反应的物质和副产物。 根据本发明,可以提供大面积的薄膜,其制造时间短,生产率高,制造成本低,膜质优异。