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11. 发明申请

WO2009071465A1 VERFAHREN ZUM THERMISCHEN FÜGEN ODER ZUM BESCHICHTEN VON BAUTEILEN AUS HOCHKIESELSÄUREHALTIGEM WERKSTOFF, SOWIE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS 审中-公开
标题翻译： METHOD FOR THERMAL加入或对于组件从用于实施过程的高二氧化硅材料和装置涂层
公开(公告)号：WO2009071465A1
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：PCT/EP2008/066135
申请日：2008-11-25
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WEBER, Jürgen , TRAEGER, Norbert , BRAEMER, Thilo , WERDECKER, Waltraud , KARA, Maximilian
发明人： WEBER, Jürgen , TRAEGER, Norbert , BRAEMER, Thilo , WERDECKER, Waltraud , KARA, Maximilian
IPC分类号： C03B23/20 , C03C17/02 , B05B7/20
CPC分类号： C03B23/20 , B05B7/203 , C03C17/001 , C03C17/02 , C03C27/06 , C03C2217/00
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zum thermischen Fügen oder zum Beschichten von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff ist vorgesehen, dass ein Zusatzmaterial aus Quarzglas bereitgestellt, einer Ablagerungsfläche kontinuierlich zugeführt und darauf aufgeschmolzen wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren zum thermischen Fügen von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff bei Einsatz eines Zusatzwerkstoffs anzugeben, mit dem eine hochfeste und homogene Schweißnaht zwischen den zu verbindenden Bauteilen hergestellt werden kann, und das außerdem zur Herstellung einer fehlerarmen, gleichmäßigen Beschichtung aus dem Zusatzwerkstoff auf einem Bauteil aus hochkieselsäu- rehaltigem Werkstoff geeignet ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Zusatzmaterial in einer Brennerflamme eines Heizbrenners aufgeschmolzen wird, wobei das Zusatzmaterial der Brennerflamme in Form einer Quarzglasfaser mit einem Außendurchmesser von maximal 400 μm zugeführt wird. Eine einfache, zuverlässige und kostengünstige Vorrichtung zur Durchführung des Verfahren umfasst einen einen Brennermund aufweisenden Heizbrenner, mittels dem eine Brennerflamme erzeugt wird, und eine Zuführvorrichtung, mittels der dem Heizbrenner eine Quarzglasfaser mit einem Außendurchmesser von maximal 400 μm derart zuführbar ist, dass sie aus dem Brennermund kontinuierlich in die Brennerflamme austritt.
摘要翻译：在热接合或用于制成高硅材料制成的部件的涂层的公知的方法提供了石英玻璃的附加材料设置在沉积表面被连续地供给，并与其稠合。为了此基础上提供用于热接合用与待连接的部件之间的高强度和均匀的焊缝可以制造的填充材料时由高二氧化硅材料，的部件的方法，并且还用于在生产所述添加剂材料的断层差，均匀的涂层成分制成hochkieselsäu-rehaltigem材料是合适的，本发明提出的是，额外的材料在加热燃烧器，其中在石英玻璃纤维形式的燃烧器火焰的所述另外的材料是不超过400微米的外直径提供的燃烧器的火焰熔化。用于实施该方法的简单，可靠和廉价的装置包括借助于一个具有燃烧器嘴加热燃烧器的生成的燃烧器的火焰，一个供给装置由具有最大为400微米的外直径被如此供给到加热燃烧器的石英玻璃纤维的装置，它从燃烧器嘴不断泄漏到燃烧器火焰。

12. 发明申请

WO2009071441A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ERHABENEN MARKIERUNG AUF EINEM GLASGEGENSTAND 审中-公开
标题翻译：一种用于生产SUBLIME MARK ON的玻璃物品
公开(公告)号：WO2009071441A1
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：PCT/EP2008/065724
申请日：2008-11-18
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG , Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. , WEBER, Juergen , TRAEGER, Norbert , BRAEMER, Thilo , WERDECKER, Waltraud , KARA, Maximilian
发明人： WEBER, Juergen , TRAEGER, Norbert , BRAEMER, Thilo , WERDECKER, Waltraud , KARA, Maximilian
IPC分类号： C03C17/00 , C03C17/04 , B41M7/00 , B41M1/34
CPC分类号： C03C17/001 , B41M1/12 , B41M1/34 , B41M3/003 , C03C17/04 , C03C2218/11
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung einer erhabenen Markierung auf einem Glasgegenstand wird eine SiO 2 -Teilchen enthaltende Suspension auf einer Oberfläche des Glasgegenstandes als Muster aufgetragen, und das Muster unter Bildung der Markierung verdichtet. Um hiervon ausgehend eine kostengünstige Herstellung einer optisch ansprechenden und einheitlichen Markierung auf einem Gegenstand aus Quarzglas zu ermöglichen, die auch für Anwendungen bei hoher Temperatur oder in verunreinigungssensitiver Umgebung - wie etwa bei der Solarzellen- und Halbleiterherstellung - geeignet ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass zur Erzeugung einer Markierung auf einem Quarzglas-Gegenstand eine bindemittelfreie Suspension eingesetzt wird, die eine Dispersionsflüssigkeit und amorphe SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen bis maximal 500 μm enthält, davon zwischen 0,2 Gew.-% und 15 Gew.-% SiO 2 -Nanoteilchen mit Teilchengrößen von weniger als 100 nm, und deren Feststoffgehalt - das ist der Gewichtsanteil der SiO 2 -Teilchen und der SiO 2 -Nanoteilchen zusammen - im Bereich zwischen 60 und 90 % liegt.
摘要翻译：在对包含悬浮颗粒的SiO 2的玻璃制品的制造凸起的标记的公知的方法施加在玻璃制品作为图案，图案的表面上，并压缩以形成所述标记。到开始其便宜地生产用于在高温下或在污染物敏感的环境中的应用由石英玻璃构成的对象上的视觉吸引力和均匀标记的许可证 - 诸如太阳能电池和半导体制造 - 是合适的，本发明提出的是，为了标记形成不含粘合剂的悬浮液在包含分散液和无定形SiO 2颗粒具有高达500微米，其具有在0.2和15之间重量％重量％的SiO 2纳米粒子的颗粒尺寸的颗粒尺寸的石英玻璃制品中使用小于100纳米，固体含量 - 其由按重量计SiO 2颗粒和SiO 2纳米颗粒的含量的 - 该范围介于60和90％。

13. 发明申请

WO2008098708A1 QUARZGLAS-BAUTEIL ALS LEITUNGSEINHEIT FÜR EIN UV-ENTKEIMUNGSGERÄT 审中-公开
标题翻译：石英玻璃部件AS线路单元用于UV处理系统，
公开(公告)号：WO2008098708A1
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：PCT/EP2008/000973
申请日：2008-02-08
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO. LTD. , WEBER, Jürgen , KARA, Maximilian , TRAEGER, Norbert , WERDECKER, Waltraud
发明人： WEBER, Jürgen , KARA, Maximilian , TRAEGER, Norbert , WERDECKER, Waltraud
IPC分类号： A61L2/10 , C02F1/32 , C03C17/02
CPC分类号： A61L2/10 , C02F1/325 , C02F2201/3224 , C03C17/23 , C03C27/06 , C03C2217/213 , C03C2217/24
摘要： Es sind Quarzglas-Bauteile als Leitungseinheit für UV-Gerät zur Entkeimung von flüssigen Medien bekannt, die einen rohrförmigen Basiskörper aus Quarzglas aufweisen, dessen Innenoberfläche mindestens teilweise mit einer strukturierten Funktionsschicht in Form einer Aluminium-Reflektorschicht versehen ist. Um hiervon ausgehend ein verbessertes Bauteil, insbesondere hinsichtlich der Vermeidung von Fremdmaterial und in Bezug auf eine optimale Entkeimungswirkung auch bei geringer Leistung der UV-Strahlungsquelle für das gesamte Durchströmungsvolumen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die strukturierte Funktionsschicht und eine im Hohlvolumen des rohrförmige Basiskörpers angeordnete und mit diesem verbundene Innenstruktur aus hochkieselsäurehaltigem Material gebildet wird.
摘要翻译：存在具有石英玻璃制的管状基体被称为线单元，用于UV装置用于消毒液体介质的石英玻璃部件，所述内表面至少部分地在具有图案化的功能层的铝反射器层的形式提供。一种改进的部件，特别是关于防止异物和相对于甚至在整个流量其起始低功率UV辐射源的最佳消毒效果，提出了用本发明所述结构化功能层和在该管状基体的中空体积布置在一个与形成在其上的高二氧化硅材料的内部结构相连接。

14. 发明申请

WO2005054139A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LASERAKTIVEM QUARZGLAS UND VERWENDUNG DESSELBEN 审中-公开
标题翻译：用于生产激光有效的石英玻璃等使用相同的
公开(公告)号：WO2005054139A1
公开(公告)日：2005-06-16
申请号：PCT/EP2004/013544
申请日：2004-11-30
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO. LTD. , KÖPPLER, Rainer , KÜHN, Bodo , WERDECKER, Waltraud , KIRST, Ulrich , LEHMANN, Walter
发明人： KÖPPLER, Rainer , KÜHN, Bodo , WERDECKER, Waltraud , KIRST, Ulrich , LEHMANN, Walter
IPC分类号： C03B19/10
CPC分类号： C03C4/0071 , C03B19/06 , C03B19/063 , C03B19/066 , C03B19/1005 , C03B19/1065 , C03B19/108 , C03B19/1095 , C03B20/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/34 , C03C1/026 , C03C3/06 , C03C2201/23 , C03C2201/3411 , C03C2201/3435 , C03C2201/3488 , C03C2201/36 , C03C2203/22 , C03C2203/30 , C03C2203/44 , C03C2203/52
摘要： Es wird ein Verfahren angegeben, das die wirtschaftliche Herstellung eines Rohlings für ein Bauteil aus laseraktivem Quarzglas in beliebiger Form und Abmessung ermöglicht. Das Verfahren umfasst die folgenden Verfahrensschritte: a) Bereitstellen einer Dispersion mit einem Feststoffgehalt von mindestens 40 Gew.-%, die Si0 2 -Nanopulver sowie Dotierstoffe umfassend ein Kation der Seltenerdmetalle und der Übergangsmetalle in einer Flüssigkeit enthält, b) Granulation durch Bewegen der Dispersion unter Entzug von Feuchtigkeit bis zur Bildung eines dotierten Si0 2 -Granulats aus sphärischen, porösen Granulatkörnern mit einem Feuchtigkeitsgehalt von weniger als 35 Gew.-% und mit einer Dichte von mindestens 0,95 g/cm 3 , c) Trocknen und Reinigen des Si0 2 -Granulats durch Aufheizen auf eine Temperatur von mindestens 1000 °C unter Bildung einer dotierten, porösen Si0 2 Körnung mit einem OH-Gehalt von weniger als 10 ppm; und d) Sintern oder Erschmelzen der dotierten SiO 2 -Körnung in einer reduzierend wirkenden Atmosphäre unter Bildung des Rohlings aus dotiertem Quarzglas.
摘要翻译：本发明提供这使得经济地生产的坯件的用于在任何期望的形状和尺寸的激光活性石英玻璃部件的方法。该方法包括以下步骤：a）提供具有至少40重量％的固体含量的分散体，所述的SiO 2纳米粉末和掺杂剂，包括含有由与移动分散体中的稀土类金属的阳离子和在液体中的过渡金属，B）造粒湿气的撤回，直到其具有小于35重量％的水分含量，并且具有的SiO 2的至少0.95克/厘米<3>，c）干燥的密度和清洁的球形多孔粒状颗粒的掺杂的SiO 2-颗粒的形成颗粒通过加热到至少1000℃的温度下，以形成一个掺杂的多孔Si02Körnung具有小于10 ppm的OH含量; 以及d）烧结或在还原气氛中熔化掺杂的SiO 2颗粒尺寸，以形成掺杂的石英玻璃的坯料。

15. 发明申请

WO2011067275A1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG EINES TIEGELS AUS QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚
公开(公告)号：WO2011067275A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/EP2010/068613
申请日：2010-12-01
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , WERDECKER, Waltraud , OBERLE, Burkhard , LEIST, Johann , GOEBEL, Rolf , GUENTHER, Paul
发明人： WERDECKER, Waltraud , OBERLE, Burkhard , LEIST, Johann , GOEBEL, Rolf , GUENTHER, Paul
IPC分类号： C03B19/09
CPC分类号： C03B19/095
摘要： Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines Tiegels aus Quarzglas mit einem in einem Polygon angeordneten und mit einem ebenen Boden (18) verbundenen Seitenwänden (19) bekannt, wobei die Seitenwände erzeugt werden, indem aus SiO2 -Körnung in einer rotierenden Schmelzform (1) eine Körnungsschicht (15) um ein Formwerkzeug (13) gebildet und diese nach Entnahme des Formwerkzeugs (13) mittels einer Heizquelle (5, 6, 12) bereichsweise erschmolzen wird. Um hiervon ausgehend die Herstellung preiswerter Tiegel, insbesondere Solartiegel aus Quarzglas, mit hoher Masshaltigkeit zu ermöglichen, wird erf indungsgemäss vorgeschlagen, dass der Boden (18) erzeugt wird, indem aus SiO2 -Körnung eine Körnungsschicht (11, 22) gebildet, diese thermisch oder mechanisch zu einer Bodenplatte (17, 27) verfestigt, und die verfestigte Bodenplatte (17, 27) in der Schmelzform (1) mit den Seitenwänden (19) versehen wird.
摘要翻译：它是一种用于在多边形布置有连接具有平坦底部（18）的侧壁（19）的石英玻璃坩埚的制备方法是已知的，其特征在于，所述侧壁由二氧化硅颗粒创建在一个旋转模具（1）通过热源（5,6，12）的装置砂砾层（15）的模具（13）形成，并且，去除所述模具（13）的后部分熔化。为了制造更便宜的坩埚中，在由石英玻璃制成的特定太阳能坩埚，以使高尺寸精度此基础上，提出ERFindungsgemäss，所述底部（18）的SiO 2形成的颗粒的颗粒层（11，22）形成的，这些热或机械到一个底部板（17，27）被固化，并在熔体形式的固化底板（17，27）（1）与所述侧壁（19）设置。

16. 发明申请

WO2010010036A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIT STICKSTOFF DOTIERTEM QUARZGLAS SOWIE ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETE QUARZGLASKÖRNUNG 审中-公开
标题翻译：生产氮化石英玻璃和实施石英玻璃分级方法
公开(公告)号：WO2010010036A2
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/EP2009/059141
申请日：2009-07-16
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , WEBER, Juergen , WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , LEBER, Helmut
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , WEBER, Juergen , WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , LEBER, Helmut
IPC分类号： C03B17/04 , C03B19/01 , C03B19/04 , C03B19/09 , C03B20/00 , C03B19/06
CPC分类号： C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung von mit Stickstoff dotiertem Quarzglas wird ein SiO 2 -Basisprodukt in Form von SiO 2 -Körnung oder eines aus der SiO 2 -Körnung erzeugten, porösen Halbzeugs bereitgestellt und das SiO 2 -Basisprodukt in einem Heißprozess in einer ein stickstoffhaltiges Reaktionsgas enthaltenden Atmosphäre zu dem Quarzglas mit darin chemisch gebundenem Stickstoff verarbeitet. Hiervon ausgehend ist ein Verfahren anzugeben, mittels dem in Quarzglas eine Stickstoffdotierung mit einem möglichst hohen Anteil an chemisch gebundenem Stickstoff erreichbar ist. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass als stickstoffhaltiges Reaktionsgas ein Stickoxid eingesetzt wird, und dass ein SiO 2 -Basisprodukt eingesetzt wird, das beim Heißprozess eine Konzentration an Sauerstoffmangeldefekten von mindestens 2 x 10 15 cm -3 aufweist, wobei das SiO 2 -Basisprodukt aus SiO 2 -Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße im Bereich von 200 nm bis 300 μm besteht (D 50 -Wert).
摘要翻译：在已知的用于生产氮掺杂石英玻璃的方法中，以SiO 2簇或SiO 2形式的SiO 2亚-2基产物由SiO 2子结构制备的SiO 2子结构和SiO 2子基产物在含有含氮反应气体石英玻璃用其中化学结合的氮进行处理。在此基础上，将规定一种方法，借助于该方法可以在石英玻璃中实现具有最大化学键合氮的氮掺杂。该目的根据本发明来实现。其特征在于凝胶＆ouml; ST，作为含氮的反应气体，氮氧化物被使用，并且由SiO <子> 2 -Basisprodukt采用，当开平＆的大街过程具有至少2×10 ^{15氧缺乏缺陷浓度< 其中SiO 2基本产物由平均粒径在该范围内的SiO 2颗粒组成从200nm到300μm（D 50值）。}

17. 发明申请

WO2009121763A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产合成石英玻璃
公开(公告)号：WO2009121763A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/EP2009/053480
申请日：2009-03-25
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , WERDECKER, Waltraud
发明人： WERDECKER, Waltraud
IPC分类号： C03B19/01 , C03B19/14
CPC分类号： C03B19/01 , C03B19/1415 , Y02P40/57
摘要： Bei einem bekannten Außenabscheideverfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas werden einer Reaktionszone (12) amorphe Quarzglaspulverteilchen (13) zugeführt, die Quarzglaspulverteilchen in der Reaktionszone (12) erhitzt und auf der Außenseite eines um einer Rotationsachse rotierenden Trägers (10) niedergeschlagen. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das sich durch eine hohe Abscheide-Effizienz auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Reaktionszone (12) amorphe Quarzglaspulverteilchen mit einer Teilchengröße von mindestens 3 μm zusammen mit einer siliziumhaltigen Ausgangssubstanz (14) zugeführt werden, wobei die siliziumhaltige Ausgangssubstanz (14) in der Reaktionszone zu SiO 2 -Partikeln umgesetzt wird, und die SiO 2 -Partikel in Co-Abscheidung mit den Quarzglaspulverteilchen auf dem Träger unter Bildung einer SiO 2 -haltigen Schicht (11) niedergeschlagen werden, in der die Quarzglaspulverteilchen (13) einen Gewichtsanteil an SiO 2 im Bereich von 30% bis 95% ausmachen.
摘要翻译：在已知的Außenabscheideverfahren用于生产的反应区（12）的合成石英玻璃的饲喂无定形Quarzglaspulverteilchen（13），加热Quarzglaspulverteilchen在反应区（12）和上一个围绕旋转载体的轴的外侧（10）被沉积。要指定此基础上，为特征的高沉积效率的方法，它是根据反应区非晶Quarzglaspulverteilchen与至少3微米的颗粒尺寸提供本发明所提出，与含硅的原料（14）（12），一起，其中，所述含有硅的起始原料（14）在反应区中反应以SiO 2个颗粒和SiO 2颗粒沉积在共沉积与Quarzglaspulverteilchen在载体上，以形成含SiO 2的层（11），其中Quarzglaspulverteilchen（13）一在30％至95％的范围内的SiO 2重量的。

18. 发明申请

WO2008040615A1 SiO2-SCHLICKER FÜR DIE HERSTELLUNG VON QUARZGLAS SOWIE VERWENDUNG DES SCHLICKERS 审中-公开
标题翻译：二氧化硅SCHLICKER滑差的石英玻璃的生产和使用
公开(公告)号：WO2008040615A1
公开(公告)日：2008-04-10
申请号：PCT/EP2007/059565
申请日：2007-09-12
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , WEBER, Juergen
发明人： WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , WEBER, Juergen
IPC分类号： C03B19/06 , G02B5/02 , C03C17/02 , H05B3/00
CPC分类号： C03C17/02 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C2218/11
摘要： Ein bekannter SiO 2 -Schlicker zur Herstellung von Quarzglas enthält eine Dispersionsflüssigkeit und amorphe SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen bis maximal 500 µm, wobei SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich zwischen 1 µm und 60 µm den größten Volumenanteil ausmachen, sowie außerdem SiO 2 -Nanoteilchen mit Teilchengrößen von weniger als 100 nm im Bereich zwischen 0,2 Gew.-% und 15 Gew.-% (bezogen auf den gesamten Feststoffgehalt). Um hiervon ausgehend einen Schlicker bereit zu stellen, dessen Fließverhalten insbesondere im Hinblick auf eine Verarbeitung durch Abziehen oder Gießen der Schlickermasse und in Bezug auf ein rissfreies Trocknen und Sintern optimiert ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiO 2 -Teilchen eine mehrmodale Teilchengrößenverteilung mit einem ersten Maximum der Größenverteilung im Bereich von 1 und 3 µm und einem zweiten Maximum im Bereich von 5 bis 50 µm aufweisen, und dass der Feststoffgehalt (Gewichtsanteil der SiO 2 -Teilchen und der SiO 2 -Nanoteilchen zusammen) im Bereich zwischen 83 und 90 % liegt.
摘要翻译：一个众所周知的SiO _{2 -Schlicker用于容纳液体和无定形的SiO _{的分散体的生产熔融二氧化硅的2 高达500微米的颗粒尺寸，颗粒，其中的SiO _{2 在1微米和60微米之间的范围内的粒径的粒子构成的最大体积分数，并且还二氧化硅_{2 与颗粒重量的纳米颗粒尺寸小于100nm的范围内之间.- 0.2重量％和15 .-％（基于总固体含量）。为了此基础上提供制备浆液，其流动特性，特别适合与通过去除或在相对于无裂纹的干燥和烧结的浆料的浇注以便处理时，本发明提出，在SiO _{2 颗粒具有在1个3微米的范围内，并在5至50微米具有范围内的第二最大尺寸分布的第一最大值的多峰粒度分布，且其固体含量（按重量计的比例_{的SiO 2 颗粒和所述_{的SiO 2 纳米颗粒）是一起在范围83-90％。}}}}}}}

19. 发明申请

WO2006108766A1 HALTER AUS QUARZGLAS FÜR DIE PROZESSIERUNG VON HALBLEITERWAFERN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES HALTERS 审中-公开
标题翻译： HOLDER QUARZGLAS用于加工半导体晶片和制造方法的持有者
公开(公告)号：WO2006108766A1
公开(公告)日：2006-10-19
申请号：PCT/EP2006/061192
申请日：2006-03-30
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WEBER, Juergen , POGGE, Tobias , TROMMER, Martin , KUEHN, Bodo , KIRST, Ulrich , WERDECKER, Waltraud
发明人： WEBER, Juergen , POGGE, Tobias , TROMMER, Martin , KUEHN, Bodo , KIRST, Ulrich , WERDECKER, Waltraud
IPC分类号： C03C3/06 , C03B19/14 , H01L21/00
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
摘要： Ein ideales Quarzglas für einen Wafer-Halter zum Einsatz in ätzend wirkender Umgebung zeichnet sich sowohl durch hohe Reinheit als auch durch eine hohe Trockenätzbeständigkeit aus. Um ein Quarzglas anzugeben, das diese Anforde rungen weitgehend erfüllt, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Quarz glas mindestens in einem oberflächennahen Bereich mit Stickstoff dotiert ist, einen mittleren Gehalt an metastabilen Hydroxylgruppen von weniger als 30 Gew.-ppm aufweist, und dass seine fiktive Temperatur unterhalb von 1250 °C und seine Vis kosität bei einer Temperatur von 1200°C mindestens 1013 dPas betragen. Ein wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung eines derartigen Quarzglases umfasst folgende Verfahrensschritte: Erschmelzen eines SiO2-Rohstoffs zu einem Quarz- glas-Rohling, wobei der SiO2-Rohstoff oder der Quarzglas-Rohling einer Entwäs serungsmaßnahme unterzogen werden, ein Erhitzen des SiO2-Rohstoffs oder des Quarzglas-Rohlings auf eine Nitridierungstemperatur im Bereich zwischen 1050°C und 1850 °C unter einer Ammoniak enthaltenden Atmosphäre, eine Temperatur behandlung, mittels der das Quarzglas des Quarzglas-Rohlings auf eine fiktive Temperatur von 1250 °C oder weniger eingestellt wird, und eine Oberflächenbe handlung des Quarzglas-Rohlings unter Bildung des Quarzglas-Halters.
摘要翻译：用于在腐蚀性环境中使用的晶片保持器的理想的石英玻璃的演技由两个高纯度和高耐干蚀性区分。为了提供一个石英玻璃，其支柱很大程度上满足这些Anforde，本发明提出的是，石英玻璃至少与氮的近表面区域掺杂，具有按重量计小于30ppm的亚稳定羟基的平均含量，且其虚拟以下1250℃，粘度温度由显示是在1200℃的温度下为至少1013 dPa·s相当。用于制造这样的石英玻璃的经济的方法包括下列步骤：形成SiO 2原料的熔融，以获得石英玻璃坯料中，SiO 2原材料或石英玻璃坯料的Entwässerungsmaßnahme进行SiO 2的原料的加热或石英玻璃 Döhring添加包含在氨气氛下1050℃和1850℃之间的范围内的氮化温度下，通过该石英玻璃坯料中石英玻璃被设置为1250℃或更低的温度处理的假想温度的装置，和一个治疗Oberflächenbe 该石英玻璃坯料与形成在石英玻璃夹具的。

20. 发明申请

WO2006024440A1 FÜGEMITTEL ZUM VERBINDEN VON BAUTEILEN, VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON BAUTEILEN AUS HOCHKIESELSÄUREHALTIGEM WERKSTOFF UNTER EINSATZ DES FÜGEMITTELS, SOWIE NACH DEM VERFAHREN ERHALTENER BAUTEIL-VERBUND 审中-公开
标题翻译：连接装置FOR连接部件，METHOD FOR连接部件由高二氧化硅材料使用的接合装置，以及在过程GOT组分复合
公开(公告)号：WO2006024440A1
公开(公告)日：2006-03-09
申请号：PCT/EP2005/009127
申请日：2005-08-24
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , MAUL, Armin , HERBERT, Thorsten , WEBER, Jürgen , WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf
发明人： MAUL, Armin , HERBERT, Thorsten , WEBER, Jürgen , WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf
IPC分类号： C03C27/06
CPC分类号： C03C27/10
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff durch stoffschlüssiges Fügen wird zwischen Verbindungsflächen der Bauteile eine Si0 2 -haltige Verbindungsmasse ausgebildet, die eine chemische Zusammensetzung aufweist, die arteigen in Bezug auf den hochkieselsäurehaltigen Werkstoff ist. Um hiervon ausgehend eine kostengünstige Herstellung eines thermisch stabilen Verbundes zu ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Ausbilden der Si0 2 -haltigen Verbindungsmasse folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines wässrigen Schlickers, der amorphe Si0 2 -Teilchen enthält, (b) Ausbilden einer Schlickermasse zwischen den zueinander fixierten Verbindungsflächen, (c) Trocknen der Schlickermasse, und (d) Verfestigen der Schlickermasse durch Erhitzen unter Bildung der Si0 2 -haltigen Verbindungsmasse. Ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellter Bauteil-Verbund zeigt eine hohe Temperaturfestigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit und ist auch für kontaminationsempfindliche Anwendungen einsetzbar. Dieser zeichnet sich dadurch aus, dass eine Si0 2 -haltige Verbindungsmasse vorgesehen ist, die hergestellt ist aus amorphen, gesinterten oder verglasten Si0 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich bis 500 µm, wobei amorphe Si0 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich zwischen 1 µm und 50 µm den größten Volumenanteil ausmachen.
摘要翻译：在用于接合由高二氧化硅材料强度物质的添加的SiO _{成分的公知的方法是2 形成含组分的接合表面之间的连接材料具有被arteigen相对于所述高硅材料的化学组成。到开始它们的低成本生产热稳定的网络的许可，本发明提出的是，形成的SiO _{2 的含化合物的质量以下的方法，包括步骤：（a）提供包含无定形的SiO含水浆料_{2 <浆料/ SUB>包含颗粒，（b）形成的相互固定连接面之间的浆料的质量，（c）干燥，并通过加热的浆料的（d）中固化，以形成的SiO _{2 含化合物的质量。通过该新方法构件复合制备的制品显示出高的高温强度和耐热冲击性，并且还可以用于污染敏感的应用。这是其特征在于：一个的SiO _{含化合物2质量设置，它是由无定形的烧结的或玻璃化的SiO _{2 与粒度的颗粒范围为最高达500微米其中的无定形的SiO _{2 在1微米和50微米占最大体积分数之间的范围内的颗粒尺寸的颗粒。}}}}}}}

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