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11. 发明申请

WO2010122030A3 GUIDING DEVICES AND METHODS FOR CONTACTLESS GUIDING OF A WEB IN A WEB COATING PROCESS 审中-公开
公开(公告)号：WO2010122030A3
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/EP2010/055212
申请日：2010-04-20
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HEIN, Stefan , HERZOG, Andre , SKUK, Peter , BUSCH, John D.
发明人： HEIN, Stefan , HERZOG, Andre , SKUK, Peter , BUSCH, John D.
IPC分类号： B65H23/32 , B65H23/24 , B65H27/00
摘要： According to embodiments described herein, a guiding device for contactless guiding of a web (1) in a web coating process application under vacuum conditions is provided. The guiding device (111) includes a curved surface (110) for facing the web, and a group of gas outlets (112) disposed in the curved surface and adapted for giving off a gas flow to form a hover cushion between the curved surface and the web. The guiding device further includes a gas distribution system for selectively providing the gas flow to a first subgroup of the gas outlets (240, 242, 244) and for preventing the gas from flowing to a second subgroup (114) of the gas outlets. The curved surface comprises a web guiding region. The first subgroup of the gas outlets consists of at least one gas outlet in the web guiding region. The second subgroup of gas outlets consists of at least one gas outlet outside of the web guiding region in the web guiding direction.

12. 发明申请

WO2007012342A1 VORRICHTUNG ZUM EINSPANNEN UND POSITIONIEREN EINES VERDAMPFERSCHIFFCHENS 审中-公开
标题翻译：设备夹紧和定位蒸发器
公开(公告)号：WO2007012342A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：PCT/EP2005/008154
申请日：2005-07-27
申请人： APPLIED FILMS GMBH & CO. KG , HEIN, Stefan , KLEIN, Wolfgang
发明人： HEIN, Stefan , KLEIN, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/26
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumbehandlungsanlage mit einem Verdampfer (1) für Vakuumbeschichtungsanlagen. Der erfindungsgemäße Verdampfer (1) umfasst eine Vorrichtung zum Führen einer in einer Einspannrichtung (A) verschiebbaren Zuleitung (4) zum Einspannen und Positionieren eines Verdampferschiffchens (3) mit einer Basis (22) sowie zwei Abstandselemente (18, 19), die die verschiebbare Zuleitung (4) beweglich mit der Basis (22) verbindet, wobei die Abstandselemente (18, 19) an jeweils einer Seite mit der verschiebbaren Zuleitung (4) und mit der jeweils anderen Seite an der Basis (22) angeordnet sind und so eine zwangsweise Führung der ersten Zuleitung (4) ermöglichen und wobei die Abstandselemente (18, 19) eine solche Länge und Anordnung zwischen der ersten Zuleitung (4) und der Basis (22) aufweisen, dass zumindest über einen kleinen Auslenkungsbereich der Abstandselemente (18, 19) die Führungsrichtung (B) im wesentlichen parallel zur Einspannrichtung (A) ist.
摘要翻译：本发明涉及一种具有用于真空镀膜装置的蒸发器（1）的真空处理系统。根据本发明的蒸发器（1）包括一装置用于在夹紧方向上执行（A）可移动的电源线（4），用于夹紧和定位的蒸发器的船（3）具有基部（22）和两个间隔元件（18，19）的滑动供应管线（4）可动与所述基部（22），其中所述隔离器元件（18，19）在每一侧上与所述可动供应管线（4）和与所述底座上的另一侧（22）被布置和这样的强制允许第一电源线（4）的传送，并且其中这样的长度和构型之间的所述的间隔元件（18，19）的第一电源线（4）和基座（22），该至少的一小偏转范围，所述间隔件（18，19）是引导方向（B）基本平行于所述夹持方向（A）。

13. 发明申请

WO2005116289A1 BANDBEHANDLUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：带钢处理厂
公开(公告)号：WO2005116289A1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：PCT/EP2004/005618
申请日：2004-05-25
申请人： APPLIED FILMS GMBH & CO. KG , HEIN, Stefan
发明人： HEIN, Stefan
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/562
摘要： In einer Durchlaufbehandlungsanlage zum Bearbeiten von durchlaufenden flexiblen Substraten (17S), die zwei Wickelstationen (10; l0') zum Ab- und zum Aufwickeln des Substrats, mindestens eine im Durchlauf des Substrats zwischen diesen beiden Stationen angeordnete Behandlungsstation (B), und jeweils zwischen einer Wickelstation (10; 10') und der mindestens einen Behandlungsstation angeordnete Schleusenventile (18) zum Erhalten unterschiedlicher Druckniveaus in den Wickelstationen und der mindestens einen Behandlungsstation, wobei die Wickelstationen auf einer Basis (11) angeordnet und z. B. zum Wechsel des Substrats ausfahrbar sind, sind erfindungsgemäss, die Wickelstationen (10; 10') und die Behandlungsstation (B) in oder auf unterschiedlichen, relativ zueinander bewegbaren Basen angeordnet, wobei die Basis der Behandlungsstation fest und als Teil eines die Behandlungsstation (B) und im Betriebszustand auch die Wickelstationen (10, 10') umschliessenden und die Ventile (18) enthaltenden Gehäuses (1) ausgeführt ist, die Wickelstationen (10; 10') in einem ihre gemeinsame Basis (11) umfassenden und von den Ventilen (18) absperrbare Öffnungen aufweisenden Gestell (12) angeordnet, welches im Betriebszustand innerhalb des Gehäuses (1) der Behandlungsstation aufgenommen ist, wobei bei geöffneten Ventilen (18) die Behandlungsstation (B) und die Wickelstationen (10; l0') gemeinsam evakuierbar und im Schliesszustand der Ventile (18) die Wickelstationen unabhängig von der Behandlungsstation belüftbar sind.
摘要翻译：在用于处理连续的柔性基板（17S）的连续处理厂，在两个卷绕工位;用于断开和用于卷起衬底（10 10“），至少一个被布置在这两个站处理站（B）之间的基板的通路，并且在之间分别一个卷绕工位（10; 10“）和所述至少一个处理台设置闸门阀（18），用于在卷绕站和所述至少一个处理台获得不同的压力水平，被布置在基座（11）和z上的卷绕站。 B.可延伸以改变基板，根据本发明是绕线工位（10; 10“）和设置在上或不同的可相对移动的碱基的处理站（B），其中，所述处理台的基地检测并（作为处理站的一部分在全面一个（它们的共基极11）和所述阀的）; B）和在工作状态下的卷绕站（10，10“10包含壳体（1）包围）和所述阀（18）中进行，在卷绕站（10” （18）可封闭的开口被布置在具有框架（12），其在操作条件掺入的壳体（1）内的处理站，用开阀（18），处理站（B）和所述卷绕工位（10; 10“）共同抽真空并在关闭阀（18）的，卷绕站被独立地处理台的通风。

14. 发明申请

WO1992003706A2 MASS FLOW PICKUP 审中-公开
标题翻译：大流量撷取
公开(公告)号：WO1992003706A2
公开(公告)日：1992-03-05
申请号：PCT/DE1991000670
申请日：1991-08-21
申请人： HYDAC TECHNOLOGY GMBH , HEIN, Stefan
发明人： HYDAC TECHNOLOGY GMBH
IPC分类号： G01F01/20
CPC分类号： G01F1/20 , G01F1/05 , G01F1/075 , G01F1/28 , G01F1/72
摘要： The invention relates to a mass flow pickup (1b) having a thin, disc-shaped pulse detector (25b) with through-flow apertures (40b) floating in a fluid in a working chamber. The pulse detector (25b) is suited in weight and flow properties to the characteristic of the fluid. Counterpoise components (77, 78) can be coupled to the pulse detector (25b). In addition, at least one induction coil (11b) and a magnetic region (45b) acting on said induction coil (11b) is allocated to the pulse detector (25b). Furthermore, there are sensors (17b, 18b) which record movements of the pulse detector (25b). Sensors to measure pressure and temperature may be fitted in the working chamber (46b). The pulse detector (25b) can be guided in the longitudinal direction of the working chamber (46b). It can, however, also be rotated with the suitable adaptation of the working chamber, its guide, the induction coil, the magnetic region and the sensors.
摘要翻译：本发明涉及一种具有薄的盘形脉冲检测器（25b）的质量流量拾取器（1b），其具有漂浮在工作室中的流体中的通流孔（40b）。脉冲检测器（25b）适合流体特性的重量和流动特性。平衡部件（77,78）可以耦合到脉冲检测器（25b）。此外，作用在所述感应线圈（11b）上的至少一个感应线圈（11b）和磁性区域（45b）被分配给脉冲检测器（25b）。此外，存在记录脉冲检测器（25b）的运动的传感器（17b，18b）。用于测量压力和温度的传感器可以安装在工作室（46b）中。可以在工作室（46b）的纵向方向上引导脉冲检测器（25b）。然而，它也可以随着工作室，其引导件，感应线圈，磁性区域和传感器的适当调整而旋转。

15. 发明申请

WO2017207053A1 GUIDING DEVICES AND WEB COATING PROCESS 审中-公开
标题翻译：指导设备和网涂工艺
公开(公告)号：WO2017207053A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/EP2016/062539
申请日：2016-06-02
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , METT, Valerius , DEPPISCH, Thomas , WHITE, John M. , HEIN, Stefan , BUSCHBECK, Wolfgang
发明人： METT, Valerius , DEPPISCH, Thomas , WHITE, John M. , HEIN, Stefan , BUSCHBECK, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/56 , B65H23/00
CPC分类号： C23C14/562 , B65H20/14 , B65H2406/361 , B65H2801/87
摘要： A roller device (100) for guiding a web (200) and for controlling the temperature of the web (200) in contact with the roller device in a web coating process under vacuum conditions is described. The roller device includes a curved surface (101) of the roller device (100) for contacting the web (200), wherein the curved surface (101) includes a web guiding region (103). The roller device further includes a group of gas outlets (104) in the curved surface (101) and a gas distribution system (105) for selectively providing the gas flow to a first subgroup of gas outlets (104) and for selectively preventing the gas from flowing to a second subgroup of the gas outlets (104). The roller device further includes a driving unit (110) for rotating the curved surface (101), wherein the curved surface (101) is adapted for inducing a movement of the web (200) upon rotation of the curved surface.
摘要翻译：描述了用于在真空条件下在幅材涂布工艺中引导幅材（200）并且用于控制幅材（200）与辊子设备接触的温度的辊子装置（100）。滚轮装置包括用于接触腹板（200）的滚轮装置（100）的弯曲表面（101），其中弯曲表面（101）包括腹板引导区域（103）。该滚轮装置还包括在弯曲表面（101）中的一组气体出口（104）和用于选择性地将气流提供给第一组气体出口（104）并用于选择性地防止气体从流动到气体出口（104）的第二子组。所述滚轮装置还包括用于旋转所述弯曲表面（101）的驱动单元（110），其中所述弯曲表面（101）适于在所述弯曲表面旋转时引起所述腹板（200）的移动。

16. 发明申请

WO2011101308A1 CONTACTS MEANS FOR ATTACHING AN END OF A SCHIELDED CABLE 审中-公开
标题翻译：连接电缆连接的联系方式
公开(公告)号：WO2011101308A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/EP2011/052116
申请日：2011-02-14
申请人： TYCO ELECTRONICS AMP GMBH , HEIN, Stefan , SZELAG, Martin , HESS, Karl-Heinz , SCHMITT, Marcel , FELDMANN, Dennis , SCHENK, Hermann , PFEFFER, Achim , GERLACH, Thomas , THIRUNAVUKKARASU, Niranjan
发明人： HEIN, Stefan , SZELAG, Martin , HESS, Karl-Heinz , SCHMITT, Marcel , FELDMANN, Dennis , SCHENK, Hermann , PFEFFER, Achim , GERLACH, Thomas , THIRUNAVUKKARASU, Niranjan
IPC分类号： H01R13/58 , H01R9/03
CPC分类号： H01R13/5812 , H01R4/64 , H01R9/034 , H01R9/037 , H01R12/716 , H01R13/434 , H01R13/447 , H01R13/512 , H01R13/5825 , H01R13/595 , H01R13/658 , H01R13/6593 , H01R2201/10
摘要： The invention relates to a contact means (100) for attaching an end of a cable (110). The contact means (100) has a casing (300) with an inner chamber (320) for receiving a section of the cable (110) in the region of the cable end, and a pull relief element (200, 201, 202, 203) which can be fastened to the casing (300) in the inner chamber (320), with a pull relief section (220, 221, 222, 223) and at least one contacting section (240, 241). The pull relief section (220, 221, 222, 223) is formed to fix a cable sheath (120) of the cable (110). The contacting section (240, 241) is formed to contact a shield (130) of the cable (110).
摘要翻译：本发明涉及一种用于连接电缆（110）的端部的接触装置（100）。接触装置（100）具有壳体（300），其具有内室（320），用于在电缆端部的区域中容纳电缆（110）的一部分，以及拉动释放元件（200,201,202,203 ），其可以用拉动释放部分（220,221,222,223）和至少一个接触部分（240,241）紧固到内室（320）中的壳体（300）。拉出释放部分（220,221,222,223）形成为固定电缆（110）的电缆护套（120）。接触部分（240,241）形成为接触电缆（110）的屏蔽（130）。

17. 发明申请

WO2010063728A1 TOOLLESSLY ACTUABLE SPRING CLAMP WITH A PLURALITY OF CLAMPING ARMS FOR A PLURALITY OF ELECTRICAL CONDUCTORS 审中-公开
标题翻译：适用于多种电动导体的多功能钳夹式手动弹簧夹
公开(公告)号：WO2010063728A1
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：PCT/EP2009/066164
申请日：2009-12-01
申请人： TYCO ELECTRONICS AMP GMBH , ERGEL, Turhan , HEIN, Stefan , SCHAARSCHMIDT, Manfred
发明人： ERGEL, Turhan , HEIN, Stefan , SCHAARSCHMIDT, Manfred
IPC分类号： H01R4/48
CPC分类号： H01R4/4845
摘要： The present invention relates to a terminal clamping device for electrically connecting a plurality of conductors (26-1, 26-2) to a mating contact (22). The terminal clamping device according to the invention comprises a clamping spring (21) and a lever (24) which is responsible for actuating the clamping spring and can be operated without tools. The lever is in this case designed in such a way that it does not protrude laterally from the terminal clamping device, and thus decreases the space necessary for the device. The lever is also mounted on an indentation of the clamping spring, thus lengthening the useful life of the terminal clamping device. The three-legged clamping spring has a plurality of clamping arms (21-1, 21-2), with corresponding conductor insertion openings through which conductors can be inserted and electrically connected to a contact. The conductors may in this case be of the same or different conductor cross sections, as the clamping arms exert independently of one another a maximum clamping force on the inserted conductor. A plurality of conductors can be electrically connected to a contact by the clamping spring.
摘要翻译：本发明涉及一种用于将多个导体（26-1,26-2）电连接到配合触头（22）的端子夹紧装置。根据本发明的端子夹紧装置包括夹紧弹簧（21）和杠杆（24），该杆（24）负责致动夹紧弹簧并且可在没有工具的情况下操作。在这种情况下，杠杆以这样的方式设计成不会从端子夹紧装置横向伸出，因此减小了装置所需的空间。杠杆还安装在夹紧弹簧的压痕上，从而延长了端子夹紧装置的使用寿命。三脚夹持弹簧具有多个夹持臂（21-1,21-2），其具有相应的导体插入开口，导体可以通过该插入孔插入并电连接到触点。在这种情况下，导体可以具有相同或不同的导体横截面，因为夹持臂彼此独立地施加在插入的导体上的最大夹紧力。多个导体可以通过夹持弹簧与接触件电连接。

18. 发明申请

WO2010035130A2 EVAPORATOR FOR ORGANIC MATERIALS 审中-公开
标题翻译：有机材料蒸发器
公开(公告)号：WO2010035130A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/IB2009/006990
申请日：2009-09-29
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HEIN, Stefan , HOFFMANN, Gerd
发明人： HEIN, Stefan , HOFFMANN, Gerd
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： B01B1/005 , B05D1/60 , B05D2252/02 , C23C14/12 , C23C14/243
摘要： An evaporator for vaporizing organic material is described. The evaporator includes a first chamber having a nozzle adapted to be directed to a substrate to be coated; at least one second chamber for vaporizing the organic material; at least one vapour channel for guiding vaporized organic material from the at least one second chamber to the first chamber; wherein the first chamber is adapted to provide vaporized organic material to the nozzle corresponding to a first virtual sublimation surface, and the at least one second chamber being adapted to provide during operation a second sublimation surface area, wherein the second sublimation surface area corresponds to at least 70 percent of the first virtual sublimation surface.
摘要翻译：描述了蒸发有机材料的蒸发器。蒸发器包括具有适于被引导到待涂覆的基底的喷嘴的第一腔室; 至少一个用于汽化有机材料的第二室; 用于将蒸发的有机材料从所述至少一个第二室引导到所述第一室的至少一个蒸气通道; 其中所述第一室适合于向所述喷嘴提供对应于第一虚拟升华表面的蒸发的有机材料，并且所述至少一个第二室适于在操作期间提供第二升华表面积，其中所述第二升华表面积对应于至少70％的第一个虚拟升华表面。

19. 发明申请

WO2019096375A1 APPARATUS FOR HEAT TREATMENT OF A SUBSTRATE, APPARATUS FOR TRANSPORTING A FLEXIBLE SUBSTRATE, AND METHOD FOR HEAT TREATMENT OF A SUBSTRATE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019096375A1
公开(公告)日：2019-05-23
申请号：PCT/EP2017/079288
申请日：2017-11-15
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , SCHNAPPENBERGER, Frank , BUSCHBECK, Wolfgang , HEIN, Stefan
发明人： SCHNAPPENBERGER, Frank , BUSCHBECK, Wolfgang , HEIN, Stefan
IPC分类号： C23C14/54 , C23C14/56 , C23C16/46 , C23C16/48 , C23C16/54 , G05D23/27 , H01K1/32 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/46 , C23C14/541 , C23C14/562 , C23C16/481 , C23C16/545 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H01L21/67253
摘要： According to a first aspect, the present disclosure provides an apparatus for heat treatment of a substrate comprising at least one heating element, and at least one shield, wherein the at least one shield is moveable between a first position and a second position between the substrate and the at least one heating element, and the at least one shield comprises at least one reflective surface. According to a further aspect, the present disclosure provides an apparatus for transporting a flexible substrate comprising the apparatus for heat treatment of a substrate according to the first aspect, a substrate transport controller, and a sensor, wherein the substrate is transported past the apparatus for heat treatment of a substrate. According to a further aspect, the present disclosure provides a method for heat treatment of a substrate comprising emitting radiation towards the substrate, and temporarily reflecting the radiation to restrict the heating of the substrate.

20. 发明申请

WO2018228683A1 DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018228683A1
公开(公告)日：2018-12-20
申请号：PCT/EP2017/064545
申请日：2017-06-14
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , DEPPISCH, Thomas , ULRICH, Jürgen , SCHLÄFER, Susanne , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , WENDELMUTH, Walter , STICKSEL-WEIS, Björn , HACKER, Volker , DIETER, Torsten Bruno , MORRISON, Neil , HERMANNS, Uwe , WAGNER, Dirk , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , METT, Valerius
发明人： DEPPISCH, Thomas , ULRICH, Jürgen , SCHLÄFER, Susanne , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , WENDELMUTH, Walter , STICKSEL-WEIS, Björn , HACKER, Volker , DIETER, Torsten Bruno , MORRISON, Neil , HERMANNS, Uwe , WAGNER, Dirk , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , METT, Valerius
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , C23C16/54 , C23C16/458 , C23C16/44 , C23C16/46 , C23C14/54 , B65H23/24
CPC分类号： C23C14/562 , B65H20/02 , B65H2301/51145 , B65H2406/111 , C23C14/505 , C23C14/541 , C23C14/564 , C23C16/4409 , C23C16/458 , C23C16/466 , C23C16/545
摘要： A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) with a stack of layers is described. The deposition apparatus comprises: a first spool chamber (110) housing a storage spool for providing the flexible substrate; a deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber and comprising a coating drum (122) for guiding the flexible substrate past a plurality of deposition units (121); a second spool chamber arranged downstream from the deposition chamber (120) and housing a wind-up spool for winding the flexible substrate thereon after deposition; and a roller assembly configured to transport the flexible substrate (10) along a partially convex and partially concave substrate transportation path from the first spool chamber to the second spool chamber. Further, a method of coating a flexible substrate, particularly with the described deposition apparatus, is described.

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