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    • 12. 发明申请
    • 不良率予測方法、不良率予測プログラム、半導体製造装置の管理方法、および半導体装置の製造方法
    • 预测缺陷的方法,预测缺陷的程序,控制半导体制造装置的方法和制造半导体器件的方法
    • WO2010032631A1
    • 2010-03-25
    • PCT/JP2009/065478
    • 2009-09-04
    • 株式会社ルネサステクノロジ松本 千鶴濱村 有一角田 義幸津国 和之
    • 松本 千鶴濱村 有一角田 義幸津国 和之
    • H01L21/82G01R31/28H01L21/00
    • G11C29/006G06F17/5018G06F2217/10G11C29/54G11C29/56004
    •  ウエハごとの特性不良率と工程別の異物不良率を高精度に予測する予測方法とプログラム、および、この特性不良と工程別の異物不良の発生率の違いに基づいて原因を究明する半導体製造装置の管理方法とこれを用いた半導体装置の製造方法を提供するために、半導体製造装置の管理システムにおいて、特性不良・工程別異物不良率予測部121は、フェイルビットモードごとの実績不良率と工程ごとフェイルビットモードごとのクリティカルエリアとを取得し、任意のフェイルビットモードを除いたフェイルビットモードごとの実績不良率と工程ごとフェイルビットモードごとのクリティカルエリアとを用いて工程ごとの異物数を算出し、この異物数を用いて工程ごとの異物不良率ならびにフェイルビットモードごとの異物不良率を算出し、このフェイルビットモードごとの異物不良率と実績不良率とに基づいて任意のフェイルビットモードの特性不良率を算出する。
    • 提供了一种以高精度预测基于晶片的特征部分缺陷和基于工艺的异物部分缺陷的方法和程序,以及一种基于速率差异的半导体制造装置的控制方法,该半导体制造装置根据 基于晶片的特征缺陷和基于工艺的异物缺陷之间的发生,以及使用半导体制造装置制造半导体器件的方法。 在一种用于控制半导体制造装置的系统中,特征缺陷/基于处理的异物部分缺陷预测部分(121)获取基于失效位模式的实际部分缺陷和每个基于过程的故障位模式的临界区域, 除了任意故障位模式之外,通过使用基于故障位模式的实际部分缺陷和每个基于过程的故障位模式的临界区域的基于过程的异物的数量,计算基于过程的异物分数有缺陷和故障位 基于基于过程的异物的数量的基于模式的异物比例不合格,并且基于基于失效位模式的异物分数有缺陷和实际部分有缺陷来计算任意故障位模式的特征部分不良。
    • 13. 发明申请
    • ポンプの押下ヘッド
    • PUMP PUSH-DOWN HEAD
    • WO2003047765A1
    • 2003-06-12
    • PCT/JP2002/006585
    • 2002-06-28
    • 株式会社 吉野工業所桑原 和仁水嶋 博後藤 孝之角田 義幸
    • 桑原 和仁水嶋 博後藤 孝之角田 義幸
    • B05B11/00
    • B05B11/3004B05B11/3053
    • A pump push−down head with improved sealing of a nozzle and excellent liquid cut−off property. The head comprises a fitting cylindrical member (3) with a slidable cylinder (9) communicating with a stem (2), a main body (4) having a valve chamber (A) with a nozzle (12) opened at its tip above a fitting cylinder (11) fitted to the outer circumference of the slidable cylinder, and arranged so as to be pushed down with respect to the fitting cylindrical member, a valve member (5) which closes the nozzle in a forwardly urged state and defines a flow passage leading to the nozzle from a communication port (19) communicating with a cylinder, and a lever member (6) of special configuration which is interlocked with the valve member to open the valve when the head is pushed down. The push−down resistance of the main body against the stem is set to be smaller than the push−down resistance of the stem itself.
    • 具有改进的喷嘴密封性和优异的液体截止性能的泵下推头。 头部包括具有与杆(2)连通的可滑动气缸(9)的装配圆柱形构件(3),具有阀室(A)的主体(4),其具有在其尖端上方开口的喷嘴(12) 装配筒体(11),其安装在可滑动缸体的外周,并相对于配合圆柱形构件被向下推压;阀构件(5),其以向前推动状态封闭喷嘴并限定流动 从与气缸连通的连通口(19)通向喷嘴的通道,以及当阀头被压下时与阀构件互锁以打开阀的特殊构造的杆构件(6)。 主体抵靠杆的下推阻力设定为小于杆本身的下推阻力。
    • 14. 发明申请
    • 混合注出装置
    • 混频器/ EXTRACTOR
    • WO2003002426A1
    • 2003-01-09
    • PCT/JP2002/000753
    • 2002-01-31
    • カネボウ株式会社株式会社 吉野工業所神保 圭治濱田 知実石川 桂子青木 芳恵角田 義幸當麻 徹
    • 神保 圭治濱田 知実石川 桂子青木 芳恵角田 義幸當麻 徹
    • B65D83/14
    • B65D83/285B65D83/68
    • A mixer/extractor in which a pair of extraction nozzles of a container body are pushed down simultaneously by the finger operation of one hand grasping the container body and extracted to the outside while mixing. The mixer/extractor comprises a fixing body (26) being fixed to the upper end part of the container body (33), and a cap body (8) comprising a passage block body (17), being secured removably to the extraction nozzle (35), having a pair of stepped holes (23) for inserting the extraction nozzles (35) tightly on the opposite sides of the lower surface, an extraction tube (19) standing in the center of the upper surface and an internal extraction passage (21) interconnecting the extraction opening of the extraction tube (19) and the stepped holes (23). A pair of operating pieces (55) are pressed laterally so that a pull down force acts on the cap body (8) and the pair of extraction nozzles are pushed down simultaneously.
    • 一种混合器/提取器,其中通过一只手抓住容器主体的手指操作同时将容器主体的一对抽出嘴按下并在混合时抽出到外部。 混合器/抽出器包括固定到容器主体(33)的上端部的固定体(26),以及包括通道块主体(17)的盖主体(8),可移除地固定到抽出喷嘴 35),具有用于将抽吸喷嘴(35)紧紧地插入下表面的相对侧上的一对台阶孔(23),位于上表面中心的抽出管(19)和内部抽出通道 将抽出管(19)的抽出开口和阶梯孔(23)相互连接。 一对操作件(55)被横向按压,使得下拉力作用在盖体(8)上,并且一对抽出喷嘴同时被推下。