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    • 92. 发明申请
    • パターン品質管理チャート、パターン品質管理方法およびパターン形成方法
    • 模式质量管理图,模式质量管理方法和模式形成方法
    • WO2015045511A1
    • 2015-04-02
    • PCT/JP2014/065930
    • 2014-06-16
    • 富士フイルム株式会社
    • 龍田 岳一
    • H01L21/288B05C11/10H01L21/28H05K3/00
    • H05K1/0269B41J11/0015H05K3/1208H05K3/125H05K2203/1173H05K2203/163
    •  パターン品質管理チャートは、パターン形成のための機能性の液に対して所定の親和性を有する第1の領域と所定の親和性よりも低い親和性を有する第2の領域とによりパターニングされた基材と同一の材料からなるチャート用基材と、チャート用基材の表面上に形成された少なくとも1つの単位領域グループとを備え、単位領域グループが、周囲を第2の領域により囲まれた第1の領域からなる少なくとも1つの単位領域を含み、単位領域は、単位領域内に所定の供給量範囲内の機能性の液を所定の供給条件で供給したときには、機能性の液が周囲の第2の領域にあふれることなく且つ単位領域内がすべて機能性の液で満たされ、単位領域内に所定の供給量範囲より少ない供給量の機能性の液を所定の供給条件で供給したときには、単位領域内の一部が機能性の液で満たされなくなり、単位領域内に所定の供給量範囲より多い供給量の機能性の液を所定の供給条件で供給したときには、機能性の液の一部が周囲の第2の領域にあふれるような形状および大きさを有している。
    • 图案质量管理图提供有:图表使用基板,其包括与基板相同的材料,其由具有对于用于图案化的功能液体具有预定亲合力的第一区域图案化,以及具有低于预定亲和力的亲和力的第二区域; 以及形成在图表使用基板的表面上的至少一个单位区域组。 单位区域组包括至少一个单位面积,其包括由第二区域围绕的第一区域,其中单位面积具有形状和尺寸,使得当预定供给量范围内的功能液体在预定供应条件下被供给时 进入单位区域,功能液体不会溢出到周围的第二区域,并且单位面积的整体填充有功能液体; 当在规定的供给条件下供给小于预定供给量范围的供给量的功能液供给单位面积时,单位面积的一部分未填充有功能液; 并且当在预定供应条件下供应大于预定供应量范围的供应量的功能液体进入单元区域时,功能液体的一部分溢出到周围的第二区域中。