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91. 发明申请

WO2011051051A3 METHOD FOR DETERMINING AT LEAST ONE MATERIAL PROPERTY OF A ZINC OXIDE LAYER AND METHOD FOR PRODUCING AT LEAST ONE SOLAR CELL 审中-公开
标题翻译：用于确定至少一种材料的方法特征的氧化锌及其制备方法至少一个太阳能电池
公开(公告)号：WO2011051051A3
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：PCT/EP2010063711
申请日：2010-09-17
申请人： SCHUECO TF GMBH & CO KG , RING SVEN , SAEUBERLICH FRANK
发明人： RING SVEN , SAEUBERLICH FRANK
IPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0296
CPC分类号： H01L31/0296 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01N21/9501 , H01L31/022483 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , Y02E10/50
摘要： The invention relates to a method for determining at least one material property of a zinc oxide layer (112) comprising providing the zinc oxide layer (112) which has a band gap. According to the invention, a surface (113) of the zinc oxide layer is irradiated by means of a radiation (103). An intensity of a reflection (104; 105) of the radiation on the surface (113) is determined at least in one reflection frequency range (104; 105) wherein the reflection (104; 105) has an energy which is larger than the band gap. The at least one material property is determined in dependence on the intensity of the reflection (104; 105). The invention also relates to a method for producing at least one solar cell comprising said method for determining at least one material property.
摘要翻译：一种用于确定氧化锌层（112）中的至少一种材料性质的方法包括提供具有一个带隙的氧化锌层（112）。所述氧化锌层的表面（113）照射放射线（103）。的反射（104; 105）的强度的辐射的表面（113）上，至少在一个频率范围内反射（104; 105），其中，所述反射（104; 105）具有比带隙更大的能量来确定，所述至少一种材料的属性是反射（104; 105）的强度的函数来确定。一种用于产生至少一个太阳能电池的方法包括用于确定至少一种材料性质这样的方法。

92. 发明申请

WO2012039099A1 μ－ＰＣＤ法を用いた薄膜半導体の結晶性評価装置审中-公开
标题翻译：薄膜半导体晶体结构评估装置，使用？-PCD方法
公开(公告)号：WO2012039099A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/JP2011/004911
申请日：2011-09-01
申请人：株式会社神戸製鋼所 , 株式会社コベルコ科研 , 迫田尚和 , 高枩弘行 , 乾昌広 , 尾嶋太
发明人：迫田　尚和 , 高枩　弘行 , 乾　昌広 , 尾嶋　太
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01T1/16 , G01N21/63 , G01N21/8422 , G01N22/00 , H01L22/12
摘要：　本発明にかかる薄膜半導体の結晶性評価装置１および結晶性評価方法では、薄膜半導体２ａの試料２の測定部位に、励起光および電磁波が照射され、試料２からの反射電磁波の強度を検出することで、試料２の結晶性が評価される。そして、試料２の薄膜半導体２ａは、導電性膜２ｂ上に形成されており、試料２と電磁波が放射される導波管１３との間には、励起光に対して透明である誘電体３がさらに配置される。このため、このような構成の薄膜半導体の結晶性評価装置１および該方法は、上述のような半導体薄膜２ａ下に導電性膜２ｂが形成されている場合でもその結晶性の評価を行うことができる。
摘要翻译：在本发明的结晶度评价装置（1）和薄膜半导体的结晶度评价方法中，将激发光和电磁波照射在薄膜半导体（2a）的样品（2）的测量部分上），并且通过检测来自样品（2）的反射电磁波的强度来评估样品（2）的结晶度。样品（2）的薄膜半导体（2a）形成在导电膜（2b）上，此外，在样品（2）和波导管（2）之间配置有表现出对激发光的透过性的电介质（3） 13），其中电磁波将被辐射。通过使薄膜半导体结晶性评价装置（1）及其方法这样构成，即使在薄膜半导体（2a）的下方形成导电膜（2b）的情况下，也可以评价结晶性，如上所述以上。

93. 发明申请

WO2012013604A1 MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES EINE ELEKTRISCHE EIGENSCHAFT EINER DÜNNSCHICHT AUF EINEM TRÄGER BESCHREIBENDEN ERSTEN PARAMETER 审中-公开
标题翻译：测量装置和一种用于确定薄膜的性能的电动载描述所述第一参数
公开(公告)号：WO2012013604A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/EP2011/062672
申请日：2011-07-22
申请人： CARL ZEISS AG , TOTZECK, Michael , WEGENDT, Holger , KARTAL, Ersun , WIDULLE, Frank
发明人： TOTZECK, Michael , WEGENDT, Holger , KARTAL, Ersun , WIDULLE, Frank
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01N21/553 , G01N21/211 , G01N21/8422
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines eine elektrische Eigenschaft einer Dünnschicht (3) auf einem Träger (1) beschreibenden ersten Parameter, wobei die Dünnschicht (3) zumindest bereichsweise über ihre Fläche (4) beleuchtet wird, wobei das Beleuchtungslicht (18) wellenlängespezifisch unter einem derartigen Winkel (ß) auf die Dünnschicht (3) eingestrahlt wird, dass innerhalb der Dünnschicht (3) zumindest eine optische Resonanzbedingung (7) auftritt, und das unter dieser Resonanzbedingung (7) von der Dünnschicht (3) abgestrahlte Licht (21) und ein dadurch erzeugtes Streufeld (21) erfasst und ausgewertet wird, wobei abhängig von Änderungen im Streufeld Änderungen des ersten Parameters erkannt werden. Die Erfindung betrifft auch eine Messvorrichtung (11) zum Bestimmen eines eine elektrische Eigenschaft einer Dünnschicht (3) auf einem Träger beschreibenden Parameter.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在载体上确定的薄膜（3）的电特性（1）描述第一参数，其中所述薄膜（3）至少在在其表面上的区域（4）被照亮时，其特征在于，所述照明光（18）波长特异性以这样的角度（SS）到膜（3）照射，该至少一个光学谐振条件（7）的薄膜（3）内发生，和从薄层（3）的光该共振条件（7）下照射（21 检测）和所产生的，从而杂散场（21）和评价，响应于在所述第一参数的杂散场的变化而变化所识别。本发明还涉及一种用于确定的薄膜（3）在载体上的描述性参数的电性能的测量设备（11）。

94. 发明申请

WO2012006611A2 REAL-TIME TEMPERATURE, OPTICAL BAND GAP, FILM THICKNESS, AND SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT FOR THIN FILMS APPLIED TO TRANSPARENT SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译：实时温度，光学带隙，薄膜厚度和表面粗糙度测量适用于透明基板的薄膜
公开(公告)号：WO2012006611A2
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：PCT/US2011/043507
申请日：2011-07-11
申请人： K-SPACE ASSOCIATES, INC. , BARLETT, Darryl , TAYLOR, Charles, A., II , WISSMAN, Barry, D.
发明人： BARLETT, Darryl , TAYLOR, Charles, A., II , WISSMAN, Barry, D.
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/958
CPC分类号： G01B11/0625 , G01B11/0616 , G01B11/303 , G01N21/47 , G01N21/8422
摘要： A method and apparatus (20) used in connection with the manufacture of thin film semiconductor materials (26) deposited on generally transparent substrates (28), such as photovoltaic cells, for monitoring a property of the thin film (26), such as its temperature, surface roughness, thickness and/or optical absorption properties. A spectral curve (44) derived from diffusely scattered light (34, 34') emanating from the film (26) reveals a characteristic optical absorption (Urbach) edge. Among other things, the absorption edge is useful to assess relative surface roughness conditions between discrete material samples (22) or different locations within the same material sample (22). By comparing the absorption edge qualities of two or more spectral curves, a qualitative assessment can be made to determine whether the surface roughness of the film (26) may be considered of good or poor quality.
摘要翻译：用于制造薄膜半导体材料（26）的方法和装置（20），该薄膜半导体材料沉积在诸如光伏电池的大体透明的基板（28）上，用于监测薄膜（26）的性质，例如其温度，表面粗糙度，厚度和/或光学吸收性能。衍射自从薄膜（26）发出的漫散射光（34,34'）的光谱曲线（44）显示特征光学吸收（Urbach）边缘。除其他之外，吸收边缘可用于评估在相同材料样品（22）内的离散材料样品（22）或不同位置之间的相对表面粗糙度条件。通过比较两个或更多个光谱曲线的吸收边缘质量，可以进行定性评估，以确定膜（26）的表面粗糙度是否可以被认为是好的或差的质量。

95. 发明申请

WO2011088011A1 FIBER-BASED OPTICAL PROBE WITH DECREASED SAMPLE-POSITIONING SENSITIVITY 审中-公开
标题翻译：基于光纤的光学探头具有降低的取样灵敏度
公开(公告)号：WO2011088011A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：PCT/US2011/020761
申请日：2011-01-11
申请人： FILMETRICS, INC. , CHALMERS, Scott, A.
发明人： CHALMERS, Scott, A.
IPC分类号： G01J3/28
CPC分类号： G01B11/0625 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0237 , G01J3/024 , G01J3/0278 , G01N21/474 , G01N21/8422 , G01N2021/213
摘要： Reflectance systems and methods are described that under-fill the collection fiber of a host spectrometer both spatially and angularly. The under- filled collection fiber produces a response of fiber-based spectrometers that is relatively insensitive to sample shape and position.
摘要翻译：描述了反射系统和方法，其在空间上和角度上填充了主谱光谱仪的收集纤维。未充分收集的纤维产生对样品形状和位置相对不敏感的基于光纤的光谱仪的响应。

96. 发明申请

WO2010110926A3 METHOD AND APPARATUS FOR PHASE-COMPENSATED SENSITIVITY-ENHANCED SPECTROSCOPY (PCSES) 审中-公开
标题翻译：相位敏感度增强光谱（PCSES）的方法和装置
公开(公告)号：WO2010110926A3
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/US2010000930
申请日：2010-03-26
申请人： N & K TECHNOLOGY INC , LI GUOGUANG
发明人： LI GUOGUANG
IPC分类号： G01B11/06 , G01J3/36 , G01J3/447 , G01N21/25 , G01N21/41
CPC分类号： G01B11/0641 , G01J3/447 , G01N21/211 , G01N21/8422 , G01N2021/213
摘要： A method and apparatus for convolving spectroscopic data with certain phase information for practicing phase- compensated sensitivity-enhanced spectroscopy (PCSES). PCSES uses a beam of radiation in a polarization state PSP from a source emitting at a plurality of wavelengths, and places in the beam a compensator capable of altering polarization state PSP by applying a delimited phase shift ? between two orthogonal polarization axes of the radiation to restrict a finely-vibrating spectrum. A sample disposed in the beam after the compensator generates a response beam by reflection, transmission or even both. A polarization state PSa of the response beam is passed to a detector to determine a spectrum of the response beam. A first spectrum is collected when polarization states PSP, PSa and the compensator are in a first polarization-altering configuration and a second spectrum is collected when polarization states PSP, PSa and the compensator are in a second polarization-altering configuration. A phase-compensated spectrum is then derived from just the first and second spectra thereby allowing the user to undertake optical characterization, including the measurement of film thickness t and complex indices of refraction n, k of the sample with as few as just two polarization-altering configurations.
摘要翻译：一种用于实现相位补偿灵敏度增强光谱（PCSES）的具有某些相位信息的光谱数据卷积的方法和装置。 PCSES使用来自发射多个波长的源的偏振状态PSP中的辐射束，并且通过施加限定的相移θ将能够改变偏振状态PSP的补偿器放置在光束中。在辐射的两个正交偏振轴之间限制细振动光谱。在补偿器之后设置在光束中的样品通过反射，透射或甚至两者产生响应光束。响应光束的偏振态PSa被传递到检测器以确定响应光束的光谱。当极化状态PSP，PSa和补偿器处于第一偏振改变配置时收集第一光谱，并且当偏振态PSP，PSa和补偿器处于第二偏振改变配置时收集第二光谱。然后，仅从第一和第二光谱导出相位补偿光谱，从而允许用户进行光学表征，包括测量膜厚度t和样品的复数折射率n，k，其中仅具有两个极化 - 改变配置

97. 发明申请

WO2010149885A1 GRANULOMETRE PERFECTIONNE 审中-公开
标题翻译：改进的颗粒尺寸分析仪
公开(公告)号：WO2010149885A1
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：PCT/FR2010/000470
申请日：2010-06-24
申请人： IFP ENERGIES NOUVELLES , CORDOUAN TECHNOLOGIES , FROT, Didier , JACOB, David
发明人： FROT, Didier , JACOB, David
IPC分类号： G01N15/02 , G01N21/49
CPC分类号： G01N21/53 , G01N21/4738 , G01N21/8422
摘要： La présente invention concerne un dispositif pour mesurer l'intensité de la lumière diffusée par un film mince d'un milieu colloïdal comprenant: une source lumineuse monochromatique; un système optique convergent focalisant ladite source sur le film mince à analyser et comprenant un élément dioptrique (7) dont une des faces constitue une première paroi délimitant le film mince; au moins un détecteur photosensible réagissant à la lumière diffusée ou rétro diffusée par le film mince; des moyens de traitement du signal issu du photo détecteur. Selon le dispositif, l'autre deuxième paroi est formée par une surface plane (3) à l'extrémité d'un barreau (2).
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量由胶体介质的薄膜散射的光的强度的装置，包括：单色光源; 聚光光学系统，将所述光源聚焦在要分析的薄膜上，并包括一个折射元件（7），其中一个面构成了限定薄膜的第一壁; 至少一个光敏检测器对由薄膜散射或反向散射的光线反应; 以及用于处理来自光电探测器的信号的装置。根据该装置，另一个第二壁由杆（2）的端部上的平面（3）形成。

98. 发明申请

WO2010118328A1 INTERACTIVE COATINGS, SURFACES & MATERIALS 审中-公开
标题翻译：交互式涂料，表面和材料
公开(公告)号：WO2010118328A1
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：PCT/US2010/030549
申请日：2010-04-09
申请人： THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION , WOLFE, Douglas E. , KELLY, Matthew , GABRIEL, Brian M.
发明人： WOLFE, Douglas E. , KELLY, Matthew , GABRIEL, Brian M.
IPC分类号： G01N21/84 , G01N21/91
CPC分类号： G01N21/8422 , Y10T428/31504
摘要： The present invention provides in-situ health monitoring and non-destructive evaluation and early detection of corrosion, damage, failure, flaws, defects, and subsurface inspection by the generation of electromagnetic responsive surfaces, coatings and coating systems.
摘要翻译：本发明通过产生电磁响应表面，涂层和涂层系统提供了原位健康监测和非破坏性评估和早期检测腐蚀，损伤，破坏，缺陷，缺陷和地下检查。

99. 发明申请

WO2010106533A2 A METHOD AND APPARATUS FOR ACCURATE DETERMINATION OF PARAMETERS OF A STACK OF THIN FILMS 审中-公开
标题翻译：准确确定薄膜叠层参数的方法和设备
公开(公告)号：WO2010106533A2
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/IL2010/000174
申请日：2010-03-03
申请人： BRIGHTVIEW SYSTEMS LTD. , FINAROV, Moshe
发明人： FINAROV, Moshe
IPC分类号： G01B9/08
CPC分类号： G01B11/0625 , G01B11/303 , G01N21/55 , G01N21/8422
摘要： A method for accurate determination of optical parameters of a stack of thin films with at least one of the films being an opaque film. The method includes measurement of the reflected or transmitted through the stack illumination and mutual correlation of the determined thin film parameters.
摘要翻译：用于精确确定薄膜堆叠的光学参数的方法，其中至少一个薄膜是不透明薄膜。该方法包括测量通过堆叠照明的反射或透射以及所确定的薄膜参数的相互关联。

100. 发明申请

WO2010097971A1 薄膜の検査装置及び検査方法审中-公开
标题翻译：用于检查薄膜的装置和方法
公开(公告)号：WO2010097971A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2009/062118
申请日：2009-07-02
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , 川添浩平 , 山口賢剛 , ▼高▲野暁巳
发明人：坂井　智嗣 , 川添　浩平 , 山口　賢剛 , ▼高▲野　暁巳
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/59 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要：　薄膜の基板面内における膜厚変動の影響を低減でき、計測精度の向上を図ることを目的とする。ガラス基板上に薄膜が製膜された被検査基板（Ｗ）に、該ガラス基板側から単波長の光を照射する光源と、光源から射出された照明光の光軸に対して所定の傾斜角度で受光軸が交差するように配置され、被検査基板Ｗを透過した拡散透過光を受光する受光素子と、受光素子によって受光された光の強度に基づいて薄膜のヘイズ率を求めるコンピュータ（７）とを備える。コンピュータ（７）は、ヘイズ率と拡散透過光の光強度とが関連付けられたヘイズ率特性を有しており、該ヘイズ率特性と前記受光素子によって受光された光強度とを用いてヘイズ率を求める。
摘要翻译：用于检查形成在玻璃基板上的薄膜的装置和方法能够减少薄膜厚度的变化的影响，并提高测量精度。该装置包括：用于从玻璃基板侧照射具有单一波长的光的被检查玻璃基板（W）的光源，受光轴的光接收轴线以相对于相对于从光源发射的照射光的光轴，并且其接收通过基板（W）的透射和漫射光;以及计算机（7），用于根据所述光源的强度来确定薄膜的雾度由光接收元件接收光。计算机（7）具有使雾化率和透射光和漫射光的强度彼此相关联的雾度率特性，并且根据雾度特性和接收光的强度确定雾度率。

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