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    • 92. 发明申请
    • レジスト下層膜形成組成物用添加剤及び該添加剤を含むレジスト下層膜形成組成物
    • 含有添加剂的抗蚀剂下层膜形成用组合物和抗蚀剂下层膜形成用组合物用添加剂
    • WO2017086213A1
    • 2017-05-26
    • PCT/JP2016/083116
    • 2016-11-08
    • 日産化学工業株式会社
    • 西田 登喜雄坂本 力丸
    • G03F7/11C08F220/24C08F220/26C08F220/36C08F220/38
    • C08F220/24C08F220/26C08F220/36C08F220/38G03F7/11
    • 【課題】 新規なレジスト下層膜形成組成物用添加剤、及び当該添加剤を含むレジスト下層膜形成組成物を提供する。 【解決手段】 下記式(1)乃至式(3)で表される構造単位を有する共重合体を含むレジスト下層膜形成組成物用添加剤。前記添加剤、前記共重合体とは異なる樹脂、有機酸、架橋剤及び溶剤を含み、前記共重合体の含有量は前記樹脂100質量部に対し3質量部乃至40質量部である、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。(式中、R 1 はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、R 2 は炭素原子数1乃至3のアルキレン基を表し、Aは保護基を表し、R 3 は4員環乃至7員環のラクトン骨格、アダマンタン骨格、トリシクロデカン骨格又はノルボルナン骨格を有する有機基を表し、R 4 は少なくとも1つの水素原子がフルオロ基で置換され更に置換基として少なくとも1つのヒドロキシ基を有してもよい、炭素原子数1乃至12の直鎖状、分岐鎖状又は環状の有機基を表す。)
    • 提供新型抗蚀剂下层膜形成用组合物用添加剂和含有该添加剂的抗蚀剂下层膜形成用组合物。 一种抗蚀剂下层膜形成用组合物用添加剂,其含有具有下述式(1)〜(3)所示的结构单元的共聚物。 所述添加剂,所述共聚物从树脂不同,有机酸包含交联剂和溶剂,所述共聚物的含量为3头重量份至40质量份,相对于树脂100重量份,为光刻 抗蚀剂下层膜形成用组合物。 (式表示R 1各自独立地为氢原子或甲基,R 2 表示具有1至3个碳原子的亚烷基,A是受保护的 表示的基团,R 3 是具有4元环或7元环内酯骨架,金刚烷骨架,三环癸烷骨架或降冰片烷骨架,R 4 表示具有1至12个碳原子的直链,支链或环状有机基团,其中至少一个氢原子被氟基取代并且可以进一步具有至少一个羟基作为取代基 。)
    • 98. 发明申请
    • パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
    • 图案形成方法,抗紫外线敏感性或辐射敏感性树脂组合物,电阻膜,制造电子器件的方法和电子器件
    • WO2014002679A1
    • 2014-01-03
    • PCT/JP2013/065110
    • 2013-05-30
    • 富士フイルム株式会社
    • 高橋 秀知
    • G03F7/32C08F20/36C08F20/38G03F7/004G03F7/038H01L21/027
    • G03F7/004C08F220/36C08F220/38G03F7/0045G03F7/0046G03F7/0397G03F7/20G03F7/325
    •  露光ラチチュード、及び、局所的なパターン寸法の均一性に優れるパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイスを提供する。 (ア)環状構造と下記一般式(I)、(II-1)又は(II-2)で表される部分構造とを有する繰り返し単位(a)、及び、酸の作用により分解し、極性基を生じる基を有する繰り返し単位(b)を有する樹脂(P)、並びに、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、及び(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を含む、パターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイス。式中、A 1 及びA 2 は、各々独立に、-CO-又は-SO 2 -を表す。 R 1 及びR 2 は、各々独立に、水素原子又はアルキル基を表す。R 1 とR 2 とが互いに結合して環を形成してもよい。 R 3 は、水素原子、又は、アルキル基を表す。 *は、結合手を表す。ただし、上記一般式(II-1)における部分構造の2つの結合手は、前記環状構造の環に直接又は間接的に結合し、上記一般式(II-2)における部分構造の3つの結合手の内の2つ以上は、前記環状構造の環に直接又は間接的に結合する。
    • 提供曝光宽容度和局部图案尺寸均匀性优异的图案形成方法,由此使用的光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物,抗蚀剂膜,电子器件的制造方法和电子器件。 一种图案形成方法,包括:(1)使用包含具有循环结构的重复单元(a)和由通式(I)表示的部分结构的光化射线敏感或辐射敏感性树脂组合物形成膜的步骤, (II-1)或(II-2)和在酸的作用下溶解并具有产生极性基团的重复单元(b)的树脂(P)以及化合物 (B)通过光化射线或辐射的照射产生酸; (2)曝光胶片的步骤; (3)和使用包含有机溶剂的显影剂流体形成阴图案,由此使用的光化射线敏感或辐射敏感性树脂组合物的膜显影的步骤,抗蚀剂膜,电子器件的制造方法, 和电子设备。 (式(I),(II-1)和(II-2)中,A1和A2各自独立地表示-CO-或-SO2-,R1和R2各自独立地表示氢原子或烷基,R1和 R2可以彼此键合形成环,R3表示氢原子或烷基,星号(*)表示原子键,上述式(II-1)中的部分结构中的两个原子键直接或间接 结合到环状结构的环上,上述式(II-2)中的部分结构中的三个原子键中的两个或更多个直接或间接地键合到环状结构的环上。