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1. 发明申请

WO2003060409A1 CONTINUOUS PROCESS FURNACE 审中-公开
标题翻译：连续加工炉
公开(公告)号：WO2003060409A1
公开(公告)日：2003-07-24
申请号：PCT/US2002/041317
申请日：2002-12-26
申请人： MRL INDUSTRIES
发明人： MCENTIRE, William, D. , PECK, Kevin, B. , SOLIDAY, Michael, D. , SANCHES, James
IPC分类号： F27D11/00
CPC分类号： F27B9/063 , F27B9/084 , F27D11/02 , H01L21/67109
摘要： A furnace (100) which heat treats substrates (132) including a heating section (102) and working components. The heating section (102) includes heating coils (142) having spacers (143) disposed within the heating coils (142) where a mass of the heating coils (142) and a mass of the spacers (143) contributes to a mass of the heating section (102). The working components include a processing chamber (134) and a transport mechanism (106). The processing chambers (134) facilitates passage of a substrate (132) through the heating section (102). The transport mechanism (106) transports the substrate through the heating section (102) and into the exit assembly (117). The heating section (102) mass exceeds a combined mass of the processing chamber (134), the transport mechanism (106) and the substrate (132) within the heating section (102).
摘要翻译：一种热处理包括加热部分（102）和工作部件的基板（132）的炉（100）。加热部分（102）包括加热线圈（142），其具有设置在加热线圈（142）内的间隔物（143），其中加热线圈（142）的质量和间隔物（143）的质量有助于加热部（102）。工作部件包括处理室（134）和输送机构（106）。处理室（134）促进衬底（132）通过加热部分（102）的通过。输送机构（106）将基板输送通过加热部分（102）并进入出口组件（117）。加热部（102）质量超过加热部（102）内的处理室（134），输送机构（106）和基板（132）的组合质量。

2. 发明申请

WO2003091462A1 竪型マッフル式熱処理炉审中-公开
标题翻译：垂直类型热处理炉
公开(公告)号：WO2003091462A1
公开(公告)日：2003-11-06
申请号：PCT/JP2003/001996
申请日：2003-02-24
申请人：中外炉工業株式会社
发明人：永田真人
IPC分类号： C21D9/56
CPC分类号： F27D99/0073 , C21D9/0043 , C21D9/565 , C21D9/573 , C21D9/66 , F27B9/084 , F27B9/142 , F27B9/28
摘要：金属ストリップが内部において上から下に導かれる縦方向に配置されたマッフルと、マッフルの外側からマッフル内部を通過する金属ストリップを加熱する加熱帯と、マッフルより金属ストリップの移動方向下流側において金属ストリップを冷却させる冷却帯とを備えた竪型マッフル式熱処理炉において、マッフルの上端側を固定させると共に、マッフルの下端部と冷却帯との間を密閉状態にした伸縮自在なマッフル伸び調整帯を設けた。
摘要翻译：一种立式马弗炉式热处理炉，包括垂直布置的马弗炉，允许金属带从上侧到下侧被引导，用于加热的加热区，从马弗管的外部穿过通过内侧的金属条马弗管，用于在金属条的移动方向上冷却马弗炉下游侧的金属条的冷却区，以及可延伸的马弗炉延伸调节区，用于固定马弗管的上端侧，并使下部马弗炉的末端部分和密封状态的冷却区域。

3. 发明申请

WO02032831A1 BURNING FURNACE, BURNT BODY PRODUCING METHOD, AND BURNT BODY 审中-公开
标题翻译： BURNING FURNACE，BURNT BODY PRODUCY METHOD AND AND BURNT BODY
公开(公告)号：WO02032831A1
公开(公告)日：2002-04-25
申请号：PCT/JP2001/000620
申请日：2001-01-31
IPC分类号： C04B33/32 , C04B35/185 , C04B35/64 , F27B5/00 , F27B5/08 , F27B5/14 , F27B5/16 , F27B9/06 , F27B9/08 , F27B9/16 , F27B9/24 , F27B9/36 , F27B21/00 , F27D99/00 , F27D11/12
CPC分类号： C04B33/32 , B32B2315/02 , C04B33/36 , C04B35/10 , C04B35/185 , C04B35/64 , C04B2235/3272 , C04B2235/5224 , C04B2235/667 , C04B2235/77 , C04B2235/9607 , C04B2237/341 , C04B2237/343 , F27B5/00 , F27B5/08 , F27B5/14 , F27B9/062 , F27B9/084 , F27B9/16 , F27B9/2407 , F27B9/36 , F27B21/00 , F27B2005/166 , F27D99/0006 , F27D2099/0028 , Y02P40/65
摘要： A burning furnace and a method of producing burnt bodies, wherein a burning-subject formed of ceramic material, fine ceramic material or the like is burnt to produce a burnt body. A heat insulation wall (28) and an inner shell (25) define a burning chamber (16) for burning a burning-subject (10). Thermal equilibrium is maintained between the inner shell (25) and the burning-subject (10), and the burning-subject (10) is quasi perfectly heat-insulated, so that more uniform, low-energy burning can be attained. Further, the thickness of the heat insulation wall (28) is gradually increased from an inlet (20) toward an outlet (21). By means of a carriage furnished to the burning furnace, the burning-subject (10) is transferred within the burning chamber (16) from the inlet (20) to the outlet (21). This allows a temperature distribution corresponding to a plurality of processing steps to be formed easily in a single furnace, making it possible to burn the burning-subject (10) continuously in the same furnace.
摘要翻译：燃烧炉和烧制体的制造方法，其中由陶瓷材料，细陶瓷材料等形成的燃烧对象被烧焦以产生烧焦体。绝热壁（28）和内壳（25）限定燃烧室（10）的燃烧室（16）。内壳25与燃烧对象（10）之间保持热平衡，燃烧对象（10）完全绝热，从而能够实现更均匀，低能量的燃烧。此外，绝热壁（28）的厚度从入口（20）朝向出口（21）逐渐增加。通过装备到燃烧炉的滑架，燃烧物（10）在燃烧室（16）内从入口（20）传送到出口（21）。这允许在单个炉中容易地形成对应于多个处理步骤的温度分布，使得可以在同一炉中连续燃烧燃烧物（10）。

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